研究開発向け　真空機器【ドライスクロールポンプ・ロータリベーンポンプ・ターボ分子ポンプ】

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Page 2:科学への貢献実験室および研究開発用途向けの完全な真空ソリューション。Edwards では、研究プロセスおよびそのすべての段階で真空が果たす役割について深い理解を得ています。この経験と、革新的な技術および共同エンジニアリングを組み合わせることで、幅広い科学用途においてパフォーマンスを向上させる、総合的な真空ソリューションを提供することができます。学校の小規模な研究室から、世界的な研究開発プロジェクトまで、当社の製品と用途のノウハウは、世界中で教育の開発と科学の革新を促進していますこのカタログには典型的な研究開発および実験室施設向けの最も一般的なエドワーズ製品を掲載しております。その他、多数の製品をご用意しています。製品カタログおよびウェブサイトをご覧いただくか、営業担当者にお問い合わせください。

Page 3:04 主要な用途向けの真空製品 実験室用途向けに設計された真空製品とアクセサリ42 測定器 圧力測定とディスプレイ オプション46 部品とハードウェア 真空システムを構成するための真空部品とハードウェア52 サービスおよびサポート エキスパートによる費用対効果の高いサポートとサービス54 リファレンス ガイド 一般的な変換率やアウトガス率などのクイック リファレンス ガイドCONTENTS

Page 4:Page 4Edwards の真空製品Edwards では、ドライおよびオイルシールの両方の一次ポンプを幅広く提供しており、優れた信頼性、性能、および保守性によって業界標準となっています。高真空が必要な用途では、ハイブリッド軸受けおよび磁気浮上式ターボ分子ポンプが、42 ∼ 4300ℓ/s の排気速度で提供されています。セットになった真空ポンプソリューションが必要な場合には、バッキングポンプ、ターボ分子ポンプ、コントローラを組み合わせたコンパクトなパッケージの幅広いターボ分子ポンプを提供しています。あるいは、独自の排気機構が導入されている EXPドライポンプでは、1 台で大気圧から 10-4Pa までの運転が可能です。UHV および XHV が関係する用途の場合、幅広い回収ポンプを提供しています。これには、イオン ポンプ、チタン サブリメーション ポンプ、非蒸発性ゲッター ポンプが含まれ、10-9Pa 以下の圧力が可能です。

Page 5:5 ページ主要な用途向けの真空製品nXDS/XDSドライスクロールポンプEM/RVロータリベーンポンプnEXTターボ分子ポンプターボ分子ポンプステーションSTP磁気浮上式ターボ分子ポンプEPX高真空一次ポンプIGPイオンゲッターポンプTSPチタンサブリメーションポンプNEG非蒸発型ゲッターポンプ計測および制御部品とハードウェアページ番号 6 14 22 26 30 34 36 38 39 42 46用途拡散ポンプの粗引き ● ● ● ●ターボ分子ポンプの粗引き ● ● ● ● ● ●遠心濃縮 ● ● ● ●コーティング ● ● ● ● ● ● ● ●蒸留抽出装置 ● ● ● ●電子顕微鏡 ● ● ● ● ● ● ● ● ●フリーズドライヤ ● ● ● ●ドラフトチャンバーおよびグローブボックス ● ● ● ●ガス回収と再循環 ● ● ● ● ● ● ●ゲルドライヤ ● ● ● ●高エネルギー物理学 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●クライオポンプの再生 ● ● ● ● ● ● ● ●レーザー ● ● ● ● ● ● ● ● ●リーク ディテクタ ● ● ● ● ● ●ロード ロック ● ● ● ● ● ●質量分析 ● ● ● ● ● ● ● ●質量分析インレット システム ● ● ● ●分子線エピタキシー ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●粒子サイズ分析器 ● ● ● ● ●冷凍および空調 ● ● ● ●ロータリーエバポレーション ● ● ● ●試料調整 ● ● ● ●表面科学 ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●UHV および XHV システム ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●超高速遠心分離機 ● ● ● ●真空ろ過 ● ● ● ●真空オーブン ● ● ● ●

Page 6:6 ページ温度調整ファン低負荷状態でファン速度を抑えて、わずか 52dB(A)の低騒音を実現しています。軸受けシールドプロセス ガスと軸受け潤滑油との間を分離してクリーンな真空を実現し、プロセス ガスから潤滑油への汚染の可能性を排除して軸受けの耐用期間を延ばします。インバータ ドライブグローバルで一貫したパフォーマンス、簡単な制御、低消費電力、および自動圧力調整を実現して、最高のユーザー エクスペリエンスを提供しています。スクロール設計の向上第一世代のスクロール ポンプよりも高い排気速度、一桁低い到達圧力（7 x 10-1Pa から）となっています。ティップ シール技術の向上耐用期間が延びて、ほとんどの用途で通常のチップシールの耐用期間が2年以上となりました。高流量ガス バラスト機能水蒸気などを最大220 g/ 時で排気することが可能です。nXDS ドライ スクロール ポンプnXDS ドライ スクロール ポンプは、優れたポンプ機能、到達真空性能、および最新の設計機能を備え、クラス最高のパフォーマンスを提供するポンプです。nXDS は排気速度の増加に加え、低到達圧力、低電力消費量、低騒音を実現します。ガスバラストにより、水、溶剤、希薄酸および塩基類を含む凝縮性蒸気の排出が可能です。nXDS ポンプは最新のチップシール技術も備えているため、チップシール交換の間隔が大幅に長くなります。nXDS-C は改良され、vapour handling process に最適で、腐食性物質が生じるアプリケーションなどにも適用可能です。この化学的耐性のある仕様は Chemraz* のバルブパッドを搭載し、ステンレススチールの付属品を提供します。ｎ XDS-Rはガスバラスト閉塞機能があり、誤って開いてしまうことがありません。これは希ガスの再循環およびガス回収のアプリケーションに便利です。製品特性Chemraz®はGreene Tweed社の登録商標です

Page 7:7 ページ単位 nXDS6i nXDS10i nXDS15i nXDS20i真空データ排気速度 m3/h(cfm) 6.2 (3.6) 11.4 (6.7) 15.1 (8.9) 22.0 (13.0)到達真空 (1)Pa (Torr) 2 (0.015) 0.7 (0.005) 3 (0.022)ガス バラスト使用時の到達真空 Pa (Torr) 5 (0.038) 4 (0.03) 6 (0.045)耐水蒸気性 Pa (Torr) 3,500 (26) 2,000 (15)許容水蒸気圧 gh-1110 145 220最大連続インレット圧力 (2)Pa a (Torr a) 20,000 (150) 5,000 (38)最大ガス バラスト / パージ圧力 bar ゲージ (psig) 0.5 (7)モータデータ供給電圧 V 100-127/200-240 ( /-10%)供給周波数 Hz 50/60公称回転速度 rpm 1800最小スタンバイ回転速度 rpm 1200速度制御精度 % 1消費電力（到達時） W 260 280 300 260モータ電力 W 660電源コネクタ IEC EN60320 C13推奨ヒューズ、 230 V (115 V) A 10 (13)物理データ重量 kg (lb) 26.2 (58) 25.8 (57) 25.2 (56) 25.6 (56)インレット接続 NW25排気接続 NW25騒音レベル dB(A) 52騒音レベル（防音カバー使用時） dB(A) 47振動（インレットフランジ部） mms-1(rms) < 4.5リーク量 Pa ℓ/s < 1 x 10-4動作温度範囲 °C (°F) 10 ∼ 40 (50 ∼ 104)(1) 全圧として測定(2) これらのポンプは大気圧からポンプダウンするよう設計されていますが、入口圧力が指定よりも高い場合の長期運転はベアリングの寿命を短くします。技術データ真空製品nXDSドライスクロール ポンプ

Page 8:8 ページ性能A. (4x) 9 mm 幅スロットB. (4x) ゴム足全 nXDS タイプの物理サイズは同じです。寸法はミリ単位（インチ単位）nXDS15i nXDS20i1. 通常排気速度2. 通常フルパワー3. 通常 GB 速度4. 最小スタンバイ電力5. 最小スタンバイ速度347 (13.66)225 (8.86 )432 (17.01)265 (10.43)189 (7.44)149 (5.9)55 (2.16)285(11.22)145(5.17)160(6.30)266(11.26)302(11.89)A B120(4.72)230 (9.06)295 (11.61)02468101214160.001 0.01 0.1 1 10 100 10000100200300400500600700800CS/1040/A(mbar)(m3h-1)(W)1234505101520250.001 0.01 0.1 1 10 100 100002004006008001000CS/1041/A(mbar)(m3h-1)(W)12345寸法CS/1038/A0123456780.001 0.01 0.1 1 10 100 1000 (mbar)050100150200250300350400(m3h-1)(W)12345nXDS6i nXDS10i0246810120.001 0.01 0.1 1 10 100 10000100200300400500600CS/1039/A(mbar)(m3h-1)(W)12345

Page 9:9 ページ製品番号表nXDSと共通アクセサリ製品 2 年延長保証 3 年延長保証nXDS6i EW2AA5001 EW3AA5001nXDS10i EW2AA5002 EW3AA5002nXDS15i EW2AA5003 EW3AA5003nXDS20i EW2AA5004 EW3AA5004サイレンサ NW25ガス バラストアダプタブランクインレット / 排気フィルタ NW25/NW25ガス バラストアダプタ防振ゴム（４個入り）製品説明 製品番号アクセサリTIC（ターボ）200 W D39712000TIC（ターボ & インスツルメント）200 W D39722000インレット / 排気フィルタ NW2 A50597805ガス バラスト アダプタ ブランク A73501806ガス バラスト アダプタ（0.25㎜ リストリクタ）A73501809ガス バラスト アダプタ（リストリクタなし）A73501811サイレンサ NW25 A50597000防振ゴム（４個入り） A24801441防音カバー 110∼120 V NRY5C0000防音カバー 200∼240 V NRD797000予備部品チップシール キット A73501801ベアリング交換用キット (1)A73501802排気およびバラスト バルブ キット（標準と R バージョン ）A73501803排気およびバラスト バルブ キット（C バージョンのみ）A73501804nXDS6i、10i、または 15i 用のケミカルアダプタ キットA73501807nXDS20i 用のケミカルアダプタ キット A73501808インレット / 排気フィルタ予備部品 –5 ミクロン エレメントA50597802インレット / 排気フィルタ予備部品 –1 ミクロン エレメントA50597803サイレンサ予備部品キット A50597800冷却ファン A73501707ガス バラスト コントロール ノブ A73501059コード セット英国、3 ピン プラグ A50505000北欧仕様プラグ A50506000北米仕様プラグ A50507000プラグなし A50508000(1) 専用工具、設備およびトレーニングが必須。ポンプ :アクセサリおよび予備部品 :製品説明 製品番号標準品nXDS6i A73501983nXDS10i A73601983nXDS15i A73701983nXDS20i A73801983耐食性を備えたタイプ (C)nXDS6iC A73502983nXDS10iC A73602983nXDS15iC A73702983nXDS20iC A73802983ガス バラストなしのタイプ (R)nXDS6iR A73503983nXDS10iR A73603983nXDS15iR A73703983nXDS20iR A73803983延長保証 :真空製品nXDS スクロール ポンプ

Page 10:10 ページXDS スクロール ポンプ軸受けシールドプロセスガスと軸受け潤滑油との間を分離してク リーンな真空を実現し、プロセスガスから潤滑油への汚染の可能性を排除して軸受けの耐用期間を 延ばします。インバータ ドライブグローバルで一貫したパフォーマンス、ポンプ過負荷保護、リモートでの始動 / 停止機能を実現しています。高流量ガス バラスト機能水蒸気などを最大 240 g/ 時で排気することが可能です。独自の軸流エア ギャップ モータポンプ全体のサイズの削減、および低電力消費 と低動作音を実現しています。シンプルな片面スクロール設計保守を数分で完了でき、低い CoO と最大限の稼働時間を実現しています。製品特性XDS スクロール ポンプは、ドライ ポンプが必須の場合に業界標準となっており、幅広い用途やプロセスにおいて堅牢でクリーンな真空ポンプ ソリューションとなっています。XDS35i ポンプには、真空環境をあらゆる潤滑油から隔絶する革新的な軸受けシールドが採用されているため、真空 環境に潤滑油がまったく侵入しない状態となるだけでなく、完全に密封されます。XDS35iNGBタイプでは、希ガス再循環やガス回収などの用途でガス バラスト機能が取り除かれています。耐食性を備えたタイプCは改良され、蒸気処理プロセスに最適で、腐食性物質が生じるアプリケーションなどにも適用可能です。このCタイプはChemraz*のバルブパッドおよびステンレススチール排気口を搭載しています。XDS46i は、XDS35i と多くの機能を共有しており、ピーク速度は 40 m3/h です。ポンプは、100 Pa∼1000 Pa のインレット圧力で最高排気速度を実現できるように最適化されており、ターボ分子ポンプのバッキングに最適です。Chemraz®はGreene Tweed社の登録商標です

Page 11:11 ページ単位 XDS35i XDS46i真空データ排気速度 m3/h(cfm) 35 (21) 40 (23.5)到達真空 (1)Pa (Torr) 1 (0.008) 5 (0.04)ガス バラスト1 使用時の到達真空 Pa (Torr) 2 (0.015) 8 (0.06)ガス バラスト2 使用時の到達真空 Pa (Torr) 1,000 (7.5)許容水蒸気圧 Pa (Torr) 3,500 (23) 4,000 (30)水蒸気処理能力 gh-1240最大連続インレット圧力 (2)Pa a (Torr a) 4,000 (30)最大ガス バラスト/ パージ圧力 bar ゲージ (psig) 0.5 (7)モータデータ供給電圧 V 100-120/200-240 ( /- 10%)供給周波数 Hz 50/60公称回転速度 rpm 1750消費電力（到達時） W 440 380モータ電力 W 520電源コネクタ IEC EN60320 C19推奨ヒューズ、230 V (115 V) A 16 (3)(20)物理データ重量 kg (lb) 48 (105)インレット接続 NW40排気接続 NW25騒音レベル dB(A) 57 55.4騒音レベル（防音カバー使用時） dB(A) 48 46.4振動（インレットフランジ部） mms-1(rms) < 4.5リーク量 Pa ℓ/s < 1 x 10-4動作温度範囲 °C (°F) 10 ∼ 40 (50 ∼ 104)(1) 全圧として測定(2) これらのポンプは大気圧からポンプダウンするよう設計されていますが、入口圧力が指定よりも高い場合の長期運転はベアリングの寿命を短くします。(3) 英国仕様240 V では13 A ヒューズを使用XDS scroll pumps真空製品XDS スクロール ポンプ技術データ

Page 12:12 ページA. NW40B. NW251. 速度2. 電力BA333 (13.11)180 (7.09)130 (5.12)50 (1.97)476 (18.74)353 (13.90)212 (8.35)Ø187(0.28)396(15.59)223(8.78)240 (9.45)304 (11.97)寸法性能XDS35i XDS46i(m3h-1)XDS35i(mbar)(Pa)10-3051510202530354010210110010-110-210310210110010-110310410512(Pa)(mbar)XDS46i(W)10210110010-1103102101103104105(m3h-1)051510202530354045122.52.01.51.00.50

Page 13:13 ページ製品説明 製品番号標準製品XDS35i A73001983XDS46i A73101983耐食性を備えたタイプ(C)XDS35iC A73006983XDS46iC A73106983ガス バラストなしのタイプ(NGB) XDS35i-NGB A73005983製品説明 製品番号アクセサリ排気側 サイレンサ XDS35i A50597001ガス バラスト アダプタ（0.25 mm リストリクタ）A50626801ガス バラスト アダプタ（リストリクなし）A50502000防振ゴム（４個入り） A24801408インレット/ 排気フィルタNW25 A50597805インレット/ 排気フィルタNW40 A50597806XDS 防音カバー110 ∼ 120 V NRY5C0000XDS 防音カバー200 ∼ 240 V NRD797000予備部品チップシール キットXDS35i A73001801チップシール キットXDS46i A73101801サイレンサ予備部品キット A50597801XDS フィルタ5 ミクロン エレメントキットA50597802XDS フィルタ1 ミクロン エレメントキットA50597803コード セット英国、3 ピン プラグ A50505003北欧仕様プラグ A50506003北米/ 日本仕様プラグ A50507003プラグなし A50508003製品 2 年延長 3 年延長XDS35i EW2AA5005 EW3AA5005XDS46i EW2AA5006 EW3AA5006アクセサリおよび予備部品：延長保証：製品番号表ポンプ：真空製品nXDS スクロール ポンプNW40 インレット/排気フィルタガスバラストノブNW25 排気フィルタサイレンサ防振ゴム（４個入り）ガスバラストアダプタ

Page 14:14 ページ高品質オイル蒸気圧に影響しない添加物により耐用期間を延長大容量の水蒸気処理能力ガス バラスト バルブお客様による配線は不要一体型 IEC コネクタオイルのレベルと状態の目視点検O リング シール型サイト グラス低い表面温度強制空冷広い電圧範囲のモータ少ないタイプですべての主要国をカバー製品特性EM ロータリベーン ポンプEM のシングルと２ステージのロータリベーンポンプは、高い到達真空度と排気速度を達成し、静音運転とコンパクトなサイズで定評があります。これらのポンプは科学用途や実験室用途で何年もの間、信頼性の高い長期パフォーマンスを提供することが実証されており、ターボ分子ポンプと併用するのに最適です。

Page 15:15 ページ単位 E2M0.7 E2M1.5 E1M18 E2M18 E2M28真空データ排気速度、50 Hz (60 Hz) m3/h 0.75 (0.95) 1.6 (2.0) 17 (20.4) 17 (20.4) 27.5 (33.0)到達真空 (1)Pa (Torr) 3 x 10-1(2.3 x 10-3) 1 x 10-1(7.5 x 10-4)到達圧力（ガス バラストあり） Pa (Torr)20(1.5 x 10-1)2.5(1.9 x 10-2)65(4.8 x 10-1)1.5 (1.1 x 10-2)到達圧力（PFPE オイルあり） Pa (Torr)30(2.3 x 10-1)1(7.5 x 10-3)1(7.5 x 10-3)許容水蒸気圧 Pa (Torr) 1,500 (11) 5,000 (38) 2,000 (15) 3,000 (23)水蒸気処理能力 gh-18 16 650 300 700最大連続インレット圧力 Pa a (Torr a) 101,300 (760)最大ガス バラスト/ パージ圧力bar ゲージ(psig)0.5 (7)モータのデータ供給電圧 V 100-120/200-240 ( /- 10%) 115/200-230 ( /- 10%)供給周波数 Hz 50/60モータ電力、50 Hz (60 Hz) W 90 (90) 160 (160) 550 (750) 750 (900)公称回転速度、50 Hz (60 Hz) rpm 1400 (1700) 2800 (3400) 1440 (1720)電源コネクタ (2)IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C19推奨ヒューズ、230 V (115 V) A 6 (10) 15 (3)(25)物理データ重量 kg (lb) 10 (22) 37 (82) 39 (86) 44 (97)オイル タイプ（推奨） Ultragrade 15 Ultragrade 19オイル容量（最小 ̶ 最大） リットル 0.2 - 0.28 0.9 - 1.4 0.75 - 1.05 1.2 - 1.5インレット接続 NW10 NW25排気接続 (4)ノズル外径11 mm、3/4 インチBSPタップ付き穴から取り外し可能ノズル外径15 mm、3/4 インチBSPタップ付き穴から取り外し可能到達時騒音レベル(50 Hz) dB(A) 43 54 57騒音レベル（防音カバー使用時） dB(A) 36 47 50振動（インレットフランジ） mms-1(rms) データなし < 4.5動作温度範囲 ˚C (˚F) 12 ∼ 40 (54 ∼ 104) 13 ∼ 40 (55 ∼ 104)(1) 全圧として測定(2) IEC コネクタとともに記載されているポンプのみ(3) 英国仕様240 V では13 A ヒューズを使用(4) PFPE タイプはNW25 アウトレット接続に付属E2M0.7 E2M1.5 E1M18 E2M18 E2M28技術データ真空製品EM オイルシール ベーン ポンプ

Page 16:16 ページE1M18/E2M18 および E2M28E2M0.7/E2M1.5E1M18/E2M18 および E2M281142(5.59)226.5(8.91)32323 (12.71)155(6.10)166.5(6.55)75 (2.95)140 (5.51)134 (5.27)19(0.75)25(0.98)30(1.18)46.5 (1.83)54 (2.12)C D E FGA12 (0.72)HJK39(1.54)43(1.69)47(1.85)BA B C D E F G H J KE1M18 504 (19.84) 247 (9.72) 10 (0.39) 260 (10.24) 83 (3.27) 20 (0.79) 251 (9.88) 170 (6.69) 159 (6.26) 27.4 (1.08)E2M18 550 (21.65) 295 (11.61) 10 (0.39) 260 (10.24) 131 (5.16) 20 (0.79) 251 (9.88) 170 (6.69) 207 (8.15) 27.4 (1.08)E2M28 584 (22.99) 331 (13.03) 13 (0.51) 347 (13.66) 111 (4.37) 20 (0.79) 251 (9.88) 170 (6.69) 240.5 (9.47) 25.5 (1.00)10210110010-110-210-310-460Hz(Torr)10110010-110-2Ō3min-112E1M1.51E2M0.710210110010-110-210-3(mbar)10310210110010-1 105104(Pa)10350Hz10110010-110-2m3h-112E1M1.51E2M0.7Ō3min-160Hz10210110010-110-410210110010-110-210-3103 (Torr)12E2M1812E2M2850Hz10210110010-110210110010-110-210-310210110010-1104103(mbar)(Pa)m3h-112E2M1812E2M28図は単相ポンプです。3 相ポンプも同様です。1. 220 ∼ 240 V モータ2. ハンドル（取り外し可能）3. インレット ポートの代替取り付け位置1.ガスバラストなし2.ガスバラストあり寸法性能E2M0.7 および E2M1.5

Page 17:17 ページ製品説明製品番号Ultragrade PFPEE2M0.7 200 ∼ 230V、単相、50/60Hz、IEC 60320 コネクタ A37141919 -E2M0.7 100 ∼ 120V、単相、50/60Hz、IEC 60320 コネクタ A37141902 -E2M1.5 200 ∼ 230V、単相、50/60Hz、IEC 60320 コネクタ A37132919 -E2M1.5 100 ∼ 120V、単相、50/60Hz、IEC 60320 コネクタ A37132902 -E1M18 200 ∼ 230/380 ∼ 415 V、3 相、50 Hz、または200 ∼ 230/460 V、3 相、60Hz A34310940 -E1M18 115/200 ∼ 230 V、単相、50/60 Hz、IEC60320 コネクタ付き、出荷時設定30V A34317984 A34325984E2M18 200 ∼ 230/380 ∼ 415 V、3 相、50 Hz、または200 ∼ 230/460 V、3 相、60Hz A36310940 A36321940E2M18 115/200 ∼ 230V、単相、50/60Hz、IEC 60320 コネクタ付きA36317984 A36317984 A36325984E2M28 HC IE3 EU/US 50/60Hz、380 ∼ 400V 3 相、50Hz または230/460V 3 相、60Hz A37333940 A37343940E2M28 HC IE3 アジア50/60Hz、200V 3 相、50/60Hz または380V 3 相、60Hz A37333934 A37343934E2M28 115/200 ∼ 230 V、単相、50/60 Hz、IEC60320 コネクタ付き A37317984 A37325984アクセサリおよび予備部品：製品 製品説明 製品番号E2M0.7/1.5アクセサリオイル ミスト フィルタ - EMF3 A46220000NW10 x 3/8 インチBSP アダプタ A23908064防振ゴム（４個入り） A24801407予備部品清掃およびオーバーホールキット - E2M0.7/1.5 A37101131予備部品キット ブレード - E2M0.7/1.5 A37101132オイルUltragrade 15、1 リットル ボトル H11026015Ultragrade 15、4 リットル ボトル H11026013コードセット英国、3 ピン プラグ A50505000北欧仕様プラグ A50506000北米/ 日本仕様プラグ A50507000プラグなし A50508000E1M18/E2M18/E2M28アクセサリオイル ミスト フィルタ - EMF20(1)A46229000オイル ミスト フィルタ - MF30 A46233000NW25-28 mm チューブ アダプタ C10520201¾ インチBSP-NW25 アウトレット アダプタ C10501414E1M18/E2M18防振ゴム（４個入り） A24801404E2M28防振ゴム（４個入り） A24801412防音カバー110 ∼ 120 V NRD317000防音カバー200 ∼ 240 V NRD318000予備部品クリーンオーバーホール キット - E1M18/E2M18 A36301131ブレード キット - E1M18 A34301041ブレード キット - E2M18 A36301020クリーンオーバーホール キット - E2M28 A37301131ブレード キット - E2M28/30 A37301135オイルUltragrade 19、1 リットル ボトル H11025015Ultragrade 19、4 リットル ボトル H11025013Fomblin® YVAC 06/6 液体1 kg (532 ml) H11301019Fomblin® YVAC 06/6 液体5 kg (2660 ml) H11301020コードセット英国、3 ピン プラグ A50505003北欧仕様プラグ A50506003北米/ 日本仕様プラグ A50507003プラグなし A50508003(1) 低排気量用途のEM18 およびE2M28 に好適延長保証：製品 2 年延長 3 年延長E2M0.7 EW2AA5013 EW3AA5013E2M1.5 EW2AA5014 EW3AA5014E1M18 EW2AA5023 EW3AA5023E1M18 PFPE EW2AA5024 EW3AA5024製品 2 年延長 3 年延長E2M18 EW2AA5025 EW3AA5025E2M18 PFPE EW2AA5026 EW3AA5026E2M28 EW2AA5027 EW3AA5027E2M28 PFPE EW2AA5028 EW3AA5028製品番号表ポンプ：真空製品EM オイルシールロータリベーン ポンプ

Page 18:18 ページ独自のモード セレクタ スイッチ1つのポンプで高真空および高排気量運転が可能高ガス バラスト流量最大220 g/ 時の水蒸気排出能力高速インレット バルブ開口部の制御によるシステム保護高品質オイル蒸気圧に影響しない添加物により耐用期間を延長低騒音わずか48 dB(A)O リング シール型サイト グラスオイル レベルの状態の目視点検が可能強制空冷低いポンプ表面温度を保証製品特性RV ロータリ ベーン ポンプRV オイルシールポンプは、他のロータリ ポンプと比べて運用および保有コストが低い設計特性により、長年、実験用途のロータリ ベーン ポンプの業界標準となっています。独自のモード セレクタにより、1 つのポンプを高排気量および高真空の両方の用途で使用でき、自己センタリング機構、ダウエルがないので、部品ごとの交換可能性、高蒸気ポンプ機能、幅広いアクセサリなど、RV ポンプは長期的に実験用途における最善の製品となります。

Page 19:19 ページ単位 RV3 RV5 RV8 RV12真空データ排気速度、50 Hz (60 Hz) m3/h 3.3 (3.9) 5.1 (6.2) 8.5 (10.0) 12 (14.2)到達真空 (1)Pa (Torr) 0.2(1.5 x 10-3); 2.0(1.5 x 10-2) PFPE オイルガス バラスト 1 使用時の到達真空 Pa (Torr) 3.0 (2.3 x 10-2)ガス バラスト 2 使用時の到達真空 Pa (Torr)12(9.1 x 10-2)6.0(4.6 x 10-2)高排気量モードにおける到達真空 Pa (Torr) 3.0 (2.3 x 10-2)許容水蒸気圧 Pa (Torr) 8,000 (60) 5,000 (38) 6,000 (45) 3,200 (24)水蒸気処理能力 gh-1220 290最大連続インレット圧力 (2)Pa a (Torr a) 101,300 (760)最大ガス バラスト/ パージ圧力 bar ゲージ (psig) 0.5 (7)モータデータモータ定格単相( 公称)、50 Hz (60 Hz) W 450 (550)モータ定格出力3 相( 公称)、50 Hz (60 Hz) W 250 (300) 450 (550)公称回転速度、50 Hz (60 Hz) rpm 1470 (1760)物理データ重量 kg (lb) 25 (55) 28 (61.6) 29 (63.8)オイル タイプ（推奨） Ultragrade 19オイル容量（最小 ̶ 最大） リットル 0.42 - 0.7 0.45 - 0.75 0.65 - 1.0インレット接続 NW25排気接続 NW25到達時騒音レベル(50 Hz) dB(A) 48騒音レベル(50 Hz)（防音カバーを使用） dB(A) 41振動（インレットフランジ） mm-1(rms) < 4.5動作温度範囲 °C (°F) 12 ∼ 40 (54 ∼ 104)(1) 全圧として測定(2) ポンプは10,000 Pa 以上の連続運転では、高排気量モードで操作する必要があります技術データ真空製品RV ロータリベーン ポンプ

Page 20:20 ページRV8/RV12 60 HzRV8/RV12 50 HzRV3/RV5 60 Hz性能RV3/RV5 50 Hz寸法図は単相ポンプです。3 相ポンプは、外観が異なりますが、寸法は同じです。寸法(mm( インチ))。1. 吊り上げブラケット（RV8 およびRV12 ポンプのみ。吊り上げハンドルはRV3 およびRV5 ポンプに取り付けられます）。2. オン/ オフ スイッチ（単相ポンプのみ）。10-310110010-110-210210310410110010-110510210310010-1101(m3h-1)10-2(mbar)(Pa)123RV3123RV550Hz10-310110010-110-2102103(Torr)101100(ft3min-1)123RV3123RV560Hz10-110-310110010-110-210210310410110010-1105102103101100102(m3h-1)10-1(mbar)(Pa)123RV8123RV1250Hz10-210-310110010-110-2102103(Torr)101100(ft3min-1)123RV8123RV1260Hz10-11. 高真空モード、ガス バラスト = 02. 高排気量モード、ガス バラスト = 0、高真空モード、ガス バラスト = I3. 高排気量モードと真空モード、ガスバラスト = IIAB C32(1.26)37(1.46)230 (9.06)78 (3)225(8.86)4(0.16)4(0.16)120 (4.72)158 (6.22)5(0.2) 12A B CRV3 430 (16.93) 127 (5) 29 (1.14)RV5 430 (16.93) 127 (5) 29 (1.14)RV8 470 (18.50) 161 (6.34) 35 (1.38)RV12 490 (19.29) 181 (7.13) 35 (1.38)