微粒子静電分級器　EMCシリーズ

微粒子静電分級器 MODEL EMC シリーズ MODEL EMC （ Electrical Mobility Classifier ） EMC は，微粒子（ナノ粒子）を分級 （粒径ごとに選り分ける）する装置です． 電場の中において電荷を帯びた微粒子の 移動速度（モビリティ）が異なることを利用し， 印加電圧と粒子の分散した流体（エアロゾル） の流量により微粒子を分級します． 自動車排気ガス中の微粒子の計測を考慮し た設計であり分解清掃も簡単です． 特 徴 ❑ 小型 ❑ 低圧損 ❑ メンテナンス性良好 ❑ 真空継手採用 ❑ 基準器性能 ❑ 低価格 特 記 本装置は，独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門との 共同研究により開発，製品化されたものです．

構造概念図 High Voltage Sheath Gas Inlet 同軸円筒からなる内筒に高電圧を印加して外筒との間 に電場を形成します．エアロゾルは，外筒の壁面を流れ， Aerosol (nano particles) そのうち側を清浄空気（シース）が流れます．エアロゾル内 の微粒子は，クーロン力により内筒に引き寄せられます． 粒子の大きさにより，移動距離が異なるため，粒子は，サイ ズ別に内筒に付着することになります．本装置では，高電 圧を可変することで下流に設けた 1 つのスリットから分級粒 子をサンプルします． Sheath Gas Out Sampling Gas (Classified particles) 仕 様 シース導入部 アルミ アルマイト処理 素材 本体 SUS 304 絶縁部 ナイロン シース流量 ～20 L/min 外部ポンプによる エアロゾル流量 ～5 L/min 外部ポンプによる 耐電圧 8kV 静的印加時 粒径範囲 5～500nm （参考） 流量電圧により異なる シース IN/OUT Rc 1/4 メネジ 接続 エアロゾル IN Rc 1/8 メネジ エアロゾル OUT KF 25 耐圧 -0.1～0.3MPa gauge 外観寸法 Φ80×350mm オプション ディフージョンドライヤ，Am 中和器，エアロゾル電流計，高圧電源，ポンプユニット その他，特注品製作いたします．ご相談ください． 仕様につきまして変更する場合がございますのでご了承ください． 101130 株式会社 司 測 研 代理店 〒158-0087 東京都世田谷区玉堤 1-19-4 TEL (03)3703-4391 FAX (03)3705-0756