分光分析の可能性を広げる、スペクトラ・コープ社総合カタログです。
【掲載内容】
■超小型分光器シリーズ
■分光器機種別仕様早見表
■Carl Zeiss社製分光器の優位性
■標準分光装置シリーズ
■分光装置機種別早見表
■分光器及び分光装置用アクセサリー
■各種分光分析ソフトウエア
■応用関連装置
■その他製品
このカタログについて
ドキュメント名 | 超小型分光器・標準分光装置など 総合カタログ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 6.4Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社スペクトラ・コープ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログ(超小型分光器・標準分光装置など 総合カタログ )の内容
Page 1:分光をより使い易く正確に測定することを伝える・・・カールツァイス社製分光器日本代理店株式会社 スペクトラ ・ コープ株式会社 スペクトラ ・ コープhttp://www.spectra.co.jp〒164-0011 東京都中野区中央 4-4-5 第一小林ビル 1FTel: 03-5328-2858 Fax: 03-5328-2859● お問合せ製品総合カタログ
Page 2:ドイツCarlZeiss社の小型分光器シリーズは、その小型な分光光学部の中にZeiss社が170年以上培ってきた光学技術がふんだんにちりばめられている希有な分光モジュールです。日本国内でも20年以上の販売実績があり、その高いパフォーマンスは研究室のオフライン装置から工場の高速インライン装置までと幅広く支持をいただいております。現在のところ代表的な測定アプリケーションは、生産ラインにおける検査部、化学分析および環境計測、各種光源の波長検出や、色度計測および色判定など多くの場所でご使用頂いております。高い測定パフォーマンスと拡がる測定アプリケーション高い測定パフォーマンスと拡がる測定アプリケーション我々、スペクトラ・コープは、ドイツ Carl Zeiss社及びTec5社製品の⽇本代理店でありますが、これらの海外製品の良さを⽇本のお客様のご使⽤において存分に発揮できるように開発するメーカーでもあります。⽇本の市場需要は、ドイツの観点と必ずしも⼀致はしません。むしろ⽇本独特の要求および問題が潜在しているケースがほとんどです。ここからが我々の本来の仕事となってきます。多種多様に測定アプリケーションが分かれ、測定したい波⻑域も紫外から近⾚外と幅広い光の世界において、研究室向けのオフライン⽤途から⼯場などでの連続測定を前提としたインライン⽤途までを製作することは⼀般的には難しく、従来の商社では決して受け付けなかった仕事と数えられていました。スペクトラ・コープは敢えてこの難しいカスタマイズ開発もお受けして各お客様に対してのオリジナル性を念頭に装置開発をしています。⽇本の市場及びニーズに沿った開発⽇本の市場及びニーズに沿った開発I N D E X・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・3 ページ~7 ページ~8 ページ~13 ページ~17 ページ~19 ページ~23 ページ~25 ページ~31 ページ~超小型分光器シリーズ分光器機種別仕様早見表Carl Zeiss社製分光器の優位性標準分光装置シリーズ分光装置機種別早見表分光器及び分光装置用アクセサリー各種分光分析ソフトウエア応用関連装置その他製品1 2
Page 3:超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズC a r l Z e i s sC a r l Z e i s s 社 製社 製 M M S M C S P G S C G S超小型分光器超小型分光器● 熱膨張による波長への影響を考慮したチタン製ボディ● MOSタイプの256素子PDAが内蔵● バンドルファイバーによる出射(スリット部)は バンドルの高さが素子サイズと同じ2.5mm(内蔵PDAに対して1:1で結像)・液体濃度測定(インライン/オフライン)・UV用光学部品の反射/透過特性評価・LD波長モニター・紫外∼可視分光測定・広帯域プラズマモニター■ MMS UV-VIS, MMS UV-VIS 2F e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション● 熱膨張による波長への影響を考慮したチタン製ボディ● MOSタイプの256素子PDAが内蔵● バンドルファイバーによる出射(スリット部)は バンドルの高さが素子サイズと同じ2.5mm(内蔵PDAに対して1:1で結像)・液体濃度測定(インライン/オフライン)・UV用光学部品の反射/透過特性評価・LD波長モニター・紫外線分光分析■ CGSF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションMMS1 UV/VISenh.MMS1 NIRenh.310~1100nm対象310~1100nm対象MMS UV-VISMMS UV-VIS 2190~720nm対象250~780nm対象MMS UV195~390nm対象超小型分光器超小型分光器 超小型分光器超小型分光器● グレーティングが直接刻み込まれたUBK7のガラスボディ● MOSタイプの256素子PDAが内蔵● バンドルファイバーによる出射(スリット部)は バンドルの高さが素子サイズと同じ2.5mm(内蔵PDAに対して1:1で結像)・印刷色測定・太陽光モニター・透明/半透明膜厚測定・光学部品の反射率/透過率測定・広帯域プラズマモニター・フィルム厚み測定・LDの波長モニター・各種光源の標準化モニター■ MMS1 UV/VISenh.F e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション● グレーティングが直接刻み込まれたUBK7のガラスボディ● MOSタイプの256素子PDAが内蔵● バンドルファイバーによる出射(スリット部)は バンドルの高さが素子サイズと同じ2.5mm(内蔵PDAに対して1:1で結像)● UV-VIS enh.と比較して、800nm以上の感度特性が向上・インラインでも果物/食物の糖度や酸度を測定・土壌分析■ MMS1 NIRenh.F e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション3 4M M SM M SM C SM C SP G SP G SC G SC G SCarl ZeissCarl Zeiss社製社製Electronic interfaceDiode ArrayOptical fiber inputSlitGratingElectronic interfaceOptical fiber inputGratingDiode ArrayElectronic interfaceOptical fiber inputGratingDiode Array 従来のスペクトロメータ(分光器:スペクトルの強度測定)ないしはモノクロメータ(単色分光計:多波長を含む白色光源から特定波長を取り出しての強度測定)は、そのほとんどにおいてグレーティングなどの回析媒体、入射スリット、平行ビームを作り上げる為の光学部品によって構成され、波長検出においては、出射スリット後部に配置された光検出器がグレーティング可動中に連続測光するというプロセスを有します。時間を要することは勿論、それ自体が機器周辺の環境変化に影響されることも珍しくありません。 この分光器シリーズは、各種産業分野の広範囲な要求をクリアし、国内20年以上販売を続けているロングセラー商品です。
Page 4:超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズC a r l Z e i s sC a r l Z e i s s 社 製社 製 M M S M C S P G S C G S超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ● セラミックボディに凹面グレーティング、入射スリットが内蔵● バンドルファイバーによる出射(スリット部)は 内蔵PDAに対して1:1で結像● MOSタイプの1024素子ないしは512素子PDAが内蔵・高分解能な広帯域プラズマモニター・水銀やアルゴン系光源を使用した液体濃度測定・重水素ランプ使用の分光測定・高分解能な色測定、発光色測定・インライン上で、果物/食物の糖度や酸度を測定・近赤外非破壊測定内での高分解能分光測定・0.3∼100μmまでの光学膜厚測定 (インライン/オフライン)■ MCS UV-NIR, MCS UV-VIS, MCS VIS, MCS NIRF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション● 裏面入射冷却二次元CCDとペルチェが内蔵● セラミックボディに凹面グレーティング、入射スリットが内蔵● バンドルファイバーによる入射、スリット部は70um×1400um● 通常のMOSタイプ分光器の60倍の高感度特性・バイオ関連の蛍光分析・微弱光の分光分析・LEDの光度/全光束/輝度/照度測定、及び短パルス測定・レーザーによる顕微ラマン分光■ MCS CCD UV-NIR, MCS CCD UVF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション● 高感度と高分解能を両立したハイブリッド分光器● 2048素子の裏面入射CCDを内蔵● 半値幅分解能2.2nm未満の高分解能● 様々なアプリケーションに対応する広い波長範囲・微弱光の分光分析・光源の色度・色温度測定・物体色測定・LEDの光度/全光束/輝度/照度測定、及び短パルス測定・狭い波長範囲に基線が隣接する光源のスペクトル測定■ CGSF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション● 小型ボディに素子冷却用ペルチェ、グレーティング、入射スリットが内蔵● バンドルファイバーによる入射● InGaAsの256/512素子のフォトダイオードアレイが内蔵● フォトダイオードアレイに一段/二段ペルチェ冷却● 950nmエッジフィルター内蔵素子非冷却タイプUncooled仕様 もございます。・近赤外非破壊計測全般・太陽光モニター・土壌分析・光学部品の反射率/透過率測定・近赤外LED測定■ PGS NIR 1.7t1, PGS NIR 2.2t2F e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション5 6近赤外小型分光器近赤外小型分光器高分解能小型分光器高分解能小型分光器 高感度高分解能小型分光器高感度高分解能小型分光器ハイブリッド分光器ハイブリッド分光器WAVE LENGTH (nm)QUANTUMEFFICIENCY(%)200 400 600 800 1000 1200100806040200FRONT-SIDED(UV COAT)FRONT-SIDEDBACK-THINNEDMCS UV-NIRMCS UV-VISMCS VISMCS NIR190~1015nm対象200~620nm対象360~720nm対象680~1100nm対象PGS NIR 1.7t1PGS NIR 2.2t2960~1690nm対象1000~2150nm対象CGS UV-NIR CCD190~1000nm対象MCS CCD UV-NIRMCS CCD UV200~600nm対象200~980nm対象
Page 5:Carl Zeiss回折格子(グレーティング)回折格子(グレーティング)技 術 解 説図2Zeiss社純正グレーティングの素晴らしさ社純正グレーティングの素晴らしさ 凹面回析格子は平面回析格子と異なり、凹面鏡などの結像素子を 凹面回析格子は平面回析格子と異なり、凹面鏡などの結像素子を用いずに光学系を構成できるという利点があり用いずに光学系を構成できるという利点があります。このため光学ます。このため光学分析機器をはじめ、分析機器をはじめ、幅広い分野で用いられます。グレーティング自広い分野で用いられます。グレーティング自体が体がフォーカシングレンズフォーカシングレンズを兼ねてを兼ねており、回折光が直接おり、回折光が直接フォトダイオフォトダイオードアレイに光のイメージを結像します。グレーティング上の刻線ードアレイに光のイメージを結像します。グレーティング上の刻線数の分散分散と曲率がかかったと曲率がかかった凹面タイプ凹面タイプの採用により、コマ収差や非点の採用により、コマ収差や非点収差収差(図1)を修正し、これによりフラットな構造のフォトダイオードアを修正し、これによりフラットな構造のフォトダイオードアレイが最適に光検出できるレイが最適に光検出できる結像面を得ることができます。結像面を得ることができます。(a) 原図 (b) 糸巻き形 (c) 樽形 通常の平面グレーティングでは、 通常の平面グレーティングでは、各種収差の影響各種収差の影響により、広いにより、広い波長範囲の中でピーク波長範囲の中でピーク検出精度にムラ検出精度にムラが存在します。特に短波長側・長波長側ではピークが存在します。特に短波長側・長波長側ではピーク波長検出精度が落ちる傾向にあります。波長検出精度が落ちる傾向にあります。 一方、 一方、Carl ZeissCarl Zeiss社の非点社の非点収差補正タイプグレーテ収差補正タイプグレーティングィングではこの問題がクリアされ、全波長域に渡ってではこの問題がクリアされ、全波長域に渡って高精度な波長検出を行うことが可能です。高精度な波長検出を行うことが可能です。 まず、内部に設置されているグレーティングはまず、内部に設置されているグレーティングは、イオイオンビームエッチングにより鮫の歯状に刻線がンビームエッチングにより鮫の歯状に刻線が刻まれてまれている凹面回析格子で、非点収差補正タイプいる凹面回析格子で、非点収差補正タイプとなっていとなっています。ます。紫外・可視・近赤外と広い紫外・可視・近赤外と広い波長波長範囲範囲において、において、スペクトルのピークを高精度に検出素子にあてる秀逸なペクトルのピークを高精度に検出素子にあてる秀逸な部品を採用しています。部品を採用しています。C a r l Z e i s s 社 製 分 光 器 の 優 位 性社 製 分 光 器 の 優 位 性7 8超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ小型分光器シリーズ小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ C a r l Z e i s sC a r l Z e i s s 社 製社 製 M M S M C S P G S C G S● 仕 様 早 見 表これが理論に乗らない設計を行っていると、像が糸巻これが理論に乗らない設計を行っていると、像が糸巻き形や樽型へとゆがんでしまう原因となりますき形や樽型へとゆがんでしまう原因となります(図2)。 この収差補正済凹面回析格子 この収差補正済凹面回析格子(グレーティンググレーティング)の高の高い精度での設計により、ファイバースリット部から入射い精度での設計により、ファイバースリット部から入射した像を、そのままフラットフィールドの受光素子へと結した像を、そのままフラットフィールドの受光素子へと結像することが可能となります。像することが可能となります。コマ収差コマ収差 非点収差非点収差QQ’P’A’B’BAレンズ瞳P図1球欠面xy物点子午面レンズ瞳子午(オリジナル)面球欠(サジタル)面型 式78×30×75mm350umスリット, NA=0.22刻線数:528本/mm (center), ブレーズ波長:230nm190~1000nm0.3nm0.4nm/素子 (typ.)2.2nm浜松ホトニクス社製 裏面入射式 CCD2048素子CGS UV-NIR CCDサ イ ズ入 射 口グ レ ー テ ィ ン グ波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散半 値 幅 分 解 能検 出 素 子素 子 数MCS UV-NIR MCS UV-VIS MCS VIS MCS NIR140×105×75mm3石英ファイバーがクロスセクション状に配列入射口:直径0.5mm, NA=0.22, SMAコネクタ 出射口:スリット状 70um×2400um0.3nm0.8nm/素子 (typ.)<0.005nm/K3nm浜松ホトニクス社製 MOSタイプ, 2次光カットフィルターが直接コート刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:250nm190~1015nm1024素子刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:250nm200~620nm512素子刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:450nm360~780nm512素子刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:750nm680~1100nm512素子型 式サ イ ズ石英ファイバー仕様石英ファイバー形状グ レ ー テ ィ ン グ波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能検 出 素 子素 子 数MMS UV-VIS MMS UV-VIS 2浜松ホトニクス社製 MOSタイプ, 2次光カットフィルターが直接コート256素子70×50×40mm3366本/mm, ブレーズ波長:450nm366本/mm, ブレーズ波長:600nm310~1100nm0.3nm3.3nm/素子 (typ.)<0.01nm/K10nm67×60×40mm3各径70umの石英ファイバー30本がクロスセクション状に配列入射口:直径0.5mm, NA=0.22, SMAコネクタ出射口:スリット状 70um×2500um刻線数:366本/mm (center),ブレーズ波長:220nm190~720nm0.5nm2.2nm/素子 (typ.)<0.006nm/K7nm67×60×40mm3刻線数:366本/mm (center),ブレーズ波長:220nm250~780nm0.5nm2.2nm/素子 (typ.)<0.006nm/K7nm70×60×40mm3各径70umの石英ファイバー15本がクロスセクション状に配列入射口:直径0.4mm,NA=0.22,SMAコネクタ出射口:スリット状 70um×1250um刻線数:1084本/mm (center),ブレーズ波長:220nm195~390nm0.2nm0.8nm/素子 (typ.)<0.005nm/K3nmMMS UVMMS1 UV-VISenh.MMS1 NIRenh.型 式サ イ ズ石英ファイバー仕様石英ファイバー形状グ レ ー テ ィ ン グ波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能検 出 素 子素 子 数MCS CCD UV-NIR MCS CCD UV PGS NIR 1.7t1 PGS NIR 2.2t2石英ファイバーがクロスセクション状に配列刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:250nm200~980nm1044×64素子177×128×75mm3入射口:直径0.5mm, NA=0.22, SMAコネクタ出射口:スリット状 70um×1400um0.5nm0.8nm/素子 (typ.)<0.01nm/K3nm浜松ホトニクス社製 裏面入射式 冷却2次元CCD入射口:直径0.6mm, NA=0.22, SMAコネクタ出射口:スリット状 80um幅124×112×72mm3484本/mm (center),ブレーズ波長:1200nm960~1690nm0.6nm1.5nm/素子 (typ.)<0.012nm/K6nmSensor Unlimited社製 SU512LD512素子125×111×72mm3300本/mm (center),ブレーズ波長:1400nm1000~2150nm0.6nm5nm/1素子 (typ.)<0.012nm/K16nm浜松ホトニクス社製 G9206256素子刻線数:248本/mm (center),ブレーズ波長:250nm200~600nm532×64素子型 式サ イ ズ石英ファイバー仕様石英ファイバー形状グ レ ー テ ィ ン グ波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能検 出 素 子素 子 数
Page 6:Carl ZeissC a r l Z e i s s 社 製 分 光 器 の 優 位 性超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズホログラフィック露光法図3 イオンエッチング露光法図41波長(556.08nm)における偏光特性図8各波長における偏光特性図7MMS単体(ファイバーストレート状態)図9正確無比な波長精度による本当の高分解能正確無比な波長精度による本当の高分解能無駄の無い光情報の入射処理無駄の無い光情報の入射処理波長精度波長精度技 術 解 説入射ファイバー機構入射ファイバー機構技 術 解 説図510109超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ グレーティングの格子溝は、レーザの2光束干渉法を グレーティングの格子溝は、レーザの2光束干渉法を利用したホログラフィック露光法により、光の精度で製利用したホログラフィック露光法により、光の精度で製作されています。しかし、この手法では格子溝がサイン作されています。しかし、この手法では格子溝がサイン波の形状になってしまう波の形状になってしまう(図3図3)と言ったデメリットもありと言ったデメリットもあります。これを解消するために、ます。これを解消するために、ZeissZeissではイオンビームではイオンビーム 一般的に、分光器は如何に波長を正確に捉えるかが 一般的に、分光器は如何に波長を正確に捉えるかが重要になってきます。検出素子を固定化することにより重要になってきます。検出素子を固定化することにより、Carl ZeissCarl Zeiss社製分光器の分解能は可動部分を伴った製分光器の分解能は可動部分を伴った 次にサンプルからの光をどのように分光部に入れる 次にサンプルからの光をどのように分光部に入れるかという入り口の問題が挙げられます。通常の分光器かという入り口の問題が挙げられます。通常の分光器では、どれほど大口径のファイバーを使用したとしてもでは、どれほど大口径のファイバーを使用したとしても、入射口部のスリットで大半の光を捨ててしまいます。、入射口部のスリットで大半の光を捨ててしまいます。 昨今、どのアプリケーションでも微弱な光を効率良く 昨今、どのアプリケーションでも微弱な光を効率良く検出することが求められており、このような要求にお答検出することが求められており、このような要求にお答えできるのもクロスセクション状に入射ファイバーを配えできるのもクロスセクション状に入射ファイバーを配列している列しているMMS / MCSMMS / MCSシリーズだけです。クロスセクシリーズだけです。クロスセクションとは入射ファイバーをバンドル化(複数の素線をションとは入射ファイバーをバンドル化(複数の素線をZeiss社製分光器の入射ファイバーは石英製でNA:0.22となっており(Fナンバーに変換するとF=2)、内蔵グレーティングのFナンバーと一致しています。その為、1:1の結像光学系が実現され、非常に明るい分光器であると言えます。また、このクロスセクションコンバータ(図6)状に入射する方式は、グレーティング使用によって生じる偏光特性(図7)を解消します。偏光角による強度のピーク・バリー(ピークの山谷)で0.2%以下の影響に抑えることが確認できました。(図8、図9)束ねる)して、分光部入り口でスリット状に配列し直して束ねる)して、分光部入り口でスリット状に配列し直している構造です。ファイバー受光部の素線が全てスリットいる構造です。ファイバー受光部の素線が全てスリット状に配置されているので、入射光は捨てられることなく状に配置されているので、入射光は捨てられることなく分光部の中に取り込まれます。分光部の中に取り込まれます。MMSMMSの構造を例に挙の構造を例に挙げれば、げれば、70μm70μm径の線が径の線が3030本俵状に本俵状に束ねら束ねられており、れており、そのその3030本が全て分光部入り口スリットに並べ替えられ本が全て分光部入り口スリットに並べ替えられていていますます。微弱な光を効率良く分光するという点は、こ。微弱な光を効率良く分光するという点は、ここから始まるのです。こから始まるのです。二つの左右に隣接した基線が固定化された検出素子上で識別される場合、スペクトルの中心線が山の頂点部分 I2に二つの隣接した線が(I1,I3)存在します(図5)。それらの三つの線は光強度としてI2≦ 0.81 × I0.81 × I1( I( I33)という関係であれば分割され、波長(⊿λ)というのは実質二つの素子上の二本の線で表されます。従って、波長を三素子にまたがって読み取ることにより、スペクトル自体の重心を求めることができるのです。これがCarl Zeiss社製分光器の信頼できる波長分解能の理由です。通常の分光器と違い、検出素子内の基線の中心線に通常の分光器と違い、検出素子内の基線の中心線に対して二つの左右に隣接した基線を確実に識別対して二つの左右に隣接した基線を確実に識別するこすることが可能となっておりますとが可能となっております。エッチング法エッチング法(図4図4)によりブレーズ加工を行っていますによりブレーズ加工を行っています。これによりこれにより各種のブレーズ角各種のブレーズ角(ブレーズ波長ブレーズ波長)をもつブをもつブレーズドホログラフィックグレーティングを作成することレーズドホログラフィックグレーティングを作成することができ、でき、高い効率で強度を稼ぐことが可能となります。高い効率で強度を稼ぐことが可能となります。クロスセクションコンバーター図6
Page 7:検出したスペクトルの対称性の美しさCarl Zeiss日本とドイツの技術の良い点を両取り日本とドイツの技術の良い点を両取り 専用電装部は、本当の意味での専用電装部は、本当の意味でのADAD分解能を反映分解能を反映検出したスペクトルの対称性の美しさ検出したスペクトルの対称性の美しさPDAPDAに対し最適な分光に対し最適な分光技 術 解 説MMS内部構造図10ピーク重ね合わせ図1212121111超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ波長(nm) 波長(nm)相対強度(カウント)相対強度(カウント)水銀灯スペクトルピークの拡大図ピーク拡大図図11 内蔵検出素子は、浜松ホトニクス社製のフォトダイオ 内蔵検出素子は、浜松ホトニクス社製のフォトダイオードアレイードアレイ(PDAPDA)をを ZeissZeiss社の社のMMS / MCSMMS / MCS専用にパ専用にパッケージしッケージしており。ており。PDAPDA表面には表面にはZeissZeiss社のコーティン社のコーティング部門で二次光カットフィルターのコーティングが施さグ部門で二次光カットフィルターのコーティングが施されますれます。 広 広い波長い波長範囲範囲を対象としたを対象とした分光において、二次光分光において、二次光(倍波倍波)が検出波長に影響を与えることは知られていまが検出波長に影響を与えることは知られていますが、二次光カットフィルターを分光器外部に配置するすが、二次光カットフィルターを分光器外部に配置する これらの光学特性を充分に意識した分光部が検出し これらの光学特性を充分に意識した分光部が検出したスペクトル情報を、漏れなくデータ処理部に伝送するたスペクトル情報を、漏れなくデータ処理部に伝送するプリアンプ。高速かつ高精度なバッファ機能により、抜プリアンプ。高速かつ高精度なバッファ機能により、抜群の群のA/DA/D処理を誇るフロントエンドボード。処理を誇るフロントエンドボード。USBUSBやEthernetEthernetへ対応する各インターフェース類。充実した専へ対応する各インターフェース類。充実した専用ライブラリーは各言語に対してご用意しており、お手用ライブラリーは各言語に対してご用意しており、お手持ちのパソコンと接続すれば、すぐにこの素晴らしい持ちのパソコンと接続すれば、すぐにこの素晴らしい分光器モジュール分光器モジュール MMS/MCSMMS/MCSで測光が開始できる準で測光が開始できる準備が整います。備が整います。 これらは全てドイツの これらは全てドイツのTec5Tec5社製の製品であり、社製の製品であり、ZiessZiess社とのコラボレーションも社とのコラボレーションも2020年以上を数え、年以上を数え、ZiessZiess社の社の分光器の特徴を知り尽くした上での設計が基となって分光器の特徴を知り尽くした上での設計が基となっておりますので、非常に信頼性が高い組み合わせとしておりますので、非常に信頼性が高い組み合わせとして定評があります。定評があります。 分光器の評価方法として、いかにスペクトルの左右分光器の評価方法として、いかにスペクトルの左右対称性対称性(シンメトリー性シンメトリー性)を実現するかという見解がありを実現するかという見解があります。これを満足している分光器こそ「理論に乗った分ます。これを満足している分光器こそ「理論に乗った分光器である」と言うことができます。今回テストに使用し光器である」と言うことができます。今回テストに使用した分光器はた分光器はCarl ZeissCarl Zeiss社製社製MCS-NIRMCS-NIRです。です。水銀灯の基線を測定したときに、分光器の有効波長範水銀灯の基線を測定したときに、分光器の有効波長範囲内の全基線を囲内の全基線を0.3nm0.3nm以内に捉えており、また、ひと以内に捉えており、また、ひとつのピークを拡大したときに、その確かな対称性の美つのピークを拡大したときに、その確かな対称性の美しさを確認することができますしさを確認することができます(図1111)。)。クロスセクションコンバータによるスリット機構のサイズは、PDAと1:1で対応するように設計されており、非常に明るい光学系となっております。また、二次光カットフィルターをPDA表面に直接コートすることで、間に余計な機構(遮光板など)を介す必要がないため、迷光を抑える働きも持っています。さらに、そのダイナミックレンジは14bitと広く、S/N比5000:1(モデルによっては10000:1)という高い精度を誇ります。スペクトルをピークで分割し、片方を反転させて重ね合わせると、その確かな対称性を確認することができます(図12)。一般的な一般的な方法では、方法では、せっかくのせっかくの光の情報を逃してしまう光の情報を逃してしまう一因となってしまいます。一因となってしまいます。ZeissZeiss社は社はこれを嫌い、分光これを嫌い、分光してから光電変換する寸前で二次光をカットするしてから光電変換する寸前で二次光をカットする方式方式を実現しております。を実現しております。 入射した光を充分に使うという測定の基本に対して 入射した光を充分に使うという測定の基本に対して忠実な実践であることが体感できるのも、この分光器忠実な実践であることが体感できるのも、この分光器シリーズの特徴に挙げられます。シリーズの特徴に挙げられます。C a r l Z e i s s 社 製 分 光 器 の 優 位 性超小型分光器シリーズ超小型分光器シリーズ組込み用途向け分光装置組込み用途向け分光装置tectecSaaSSaaS®F e a r u t e特 徴特 徴tecSaaSは、分光器およびリニアイメージセンサの読み出し・制御に特化して設計されたドイツtec5社製の組込み用途向け分光装置です。32bitマイクロコントローラ上で動作するリアルタイムOSにより単独動作が可能なため、PCレスのシステム構築が可能です。また、各種インターフェース/プロトコルに対応し、工業用途で使用させる各種外部機器へ測定結果を出力することができます。● PC不要の独立操作 センサの読み出し制御からデータ処理出力までの全てを内蔵マイコンで実行●リアルタイム動作 組込み用リアルタイムOS搭載● 各種分光器・センサーに対応 UV-VIS-NIRを対象とした各種分光器モジュールを内蔵可能● ファームウェア変更による機能拡張 分光スペクトルをベースとした処理を装置内部のマイコンで実行● 外部機器との接続 インターフェース(Ethernet,CAN,RS485)により、様々な制御用機器に接続● 設定・モニタソフトウェア 測定データのモニタリング及びデータ処理に必要なパラメータ設定Spectrometer as a Sensor設定・モニタソフトウェア内部構造サ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内蔵電動シャッター外 部 出 力 I / Fプ ロ ト コ ル330mm(W) × 220mm(D) × 120mm(H)EthernetSMAMMS1 UV-VIS enh. / NIR enh.310~1100nm0.3nm10nm5000:12chオプションEthernet / CAN / RS485TCP/IP , ProfiNet , EtherNet/IP ,EtherCAT , CanOpen , Modbus標準 ( UV-VIS enh. / NIR enh. )仕様* 分光器はその他MMS / PGSシリーズも内蔵可分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度半値分解能S / N 比多チャンネル化分光部タイプUV-VIS enh.NIR enh.その他分光器モジュールMMS / PGSシリーズも内蔵可310~1100nm対象310~1100nm対象
Page 8:標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ高分解能小型分光装置高分解能小型分光装置スペクトラ・コープ社製スペクトラ・コープ社製HandyLambdaⅡSolidLambdaSolidLambdaCCDCGLambdaFieldLambdaProcessLambdaSpectraMaster標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズモバイル分光装置モバイル分光装置 高感度高分解能分光装置高感度高分解能分光装置HandyHandyLambdaLambdaⅡ SolidSolidLambda CCDLambda CCDSolidSolidLambdaLambda CarlZeiss社製分光器を日本のお客様に合うように、コンパクトで簡単にPC接続でき、日本語ソフトウェアで誰でも手軽に分光測定ができることを実現したのが「Handy LambdaⅡ」です。USB2.0接続で、弊社標準分光ソフトウェア「Wave Viewer」により、反射/透過/吸光度/相対光強度を測定・保存できるこの手軽な分光装置は、今まで数多くの反響を受けてきました。さらに、コンパクトサイズ(120mm×140mm×40mm)でS/N比が5000:1とクラス最高の分解能を併せもっております。波長分解能をより細かく希望されるお客様には、高分解能小型分光装置「SolidLambda」を、より微弱な光を観察されたいお客様には、高感度な「SolidLambda CCD」をお奨めいたします。さらに「SolidLambda CCD」のS/N比は10000:1を誇ります。また、このような分光技術を工場内のラインに設置されたいお客様には、インライン分光ユニット「Spectra Master」が、屋外など電源の無い環境での使用には「FieldLambda」を最適なソリューションとして提案しております。ス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製ス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製 SolidLambdaSolidLambda FieldLambdaFieldLambda ProcessLambdaProcessLambda SpectraMasterSpectraMasterCG LambdaCG LambdaHandyLambdaHandyLambdaⅡ SolidLambda CCDSolidLambda CCD・屋外でも果物/食物の糖度や酸度を測定・土壌分析・LED測定・ディスプレイ測定・真空槽にファイバー接続しての分光測定・液体吸光度測定・膜厚測定(フィルム、ガラス、半導体ウエハーなど)・色測定 (印刷物、化粧品、塗装など)・その他、各種分光測定■ HandyLambdaⅡシリーズF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション丈夫で、軽く、場所にとらわれず、屋外や工場内などのあらゆる所で、ラボレベルの分光分析をしたい...そんなお客様のご要望にお応えするのがモバイル分光装置「Handy Lambdaシリーズ」です。お手持ちのノートPCやWindowsタブレットにUSB接続して、その場で測定サンプルの反射・透過・吸収スペクトルを得ることができます。測定データは、CSVテキスト形式で出力保存。8チャンネルまで増設可能です。・顕微分光(Cマウントアダプタを介して)・ラマン分光・精密LED測定(配光特性や全光束測定など)・精密ディスプレイ測定・精密液体吸光度測定・その他、各種分光分析(精密測定を前提とした)■ SolidLambda CCDシリーズF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション従来、小型分光装置の域では不可能と考えられていた「顕微ラマン測定」などを可能とした画期的な小型分光装置が遂にでました。LEDやディスプレイ輝度などの精密測定に対しても定評がある高感度特性は浜松ホトニクス社製裏面入射タイプ二次元CCDと世界的光学メーカーであるCarl Zeiss社製分光光学系のコラボレーションならではです。高感度なCCDにはペルチェ冷却機能が設置され、温度依存が最小限に抑えられており、本当の意味での高いS/N比を保証しております。・プラズマモニター ・近赤外非破壊測定全般・フィルムやウェハー上の膜の厚み測定■ SolidLambdaシリーズF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション面倒なメンテナンス無しで、簡便な分光測定を行いたい...というご要望に応えたオールインワンの小型高分解能分光装置。近赤外で温度依存の影響が懸念されるNIR 1.7 t1(2.2 t2)タイプでは、内部冷却ペルチェが測定精度の質を向上させます。お手持ちのノートPCやWindowsタブレットにUSB接続して、その場で測定サンプルの反射・透過・吸収スペクトルを得ることができます。測定データは、CSVテキスト形式で出力保存可能です。200~620nm対象360~720nm対象190~1015nm対象695~1100nm対象960~1690nm対象1000~2150nm対象タイプUV-NIRUV-VISVISNIRNIR 1.7 t 1NIR 2.2 t 2200~600nm対象200~960nm対象タイプUV-NIRUV310~1100nm対象190~720nm対象310~1100nm対象250~785nm対象190~400nm対象タイプUV-VIS enh.NIR enh.UV-VISUV-VIS 2UV14141313CarlZeiss社製 MMS1 / MMSシリーズ5000:1120mm(W) x 140mm(D) x 40mm(H)1kg未満 (標準モデル)● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量CarlZeiss社製 MCS CCDシリーズ10000:1210mm(W) x 280mm(D) x 155mm(H)7kg未満● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量CarlZeiss社製 MCS / PGSシリーズ5000:1 (標準モデル) / 1000:1 (NIR1.7t1) / 500:1 (NIR2.2t2)210mm(W) x 280mm(D) x 155mm(H) (標準モデル)210mm(W) x 305mm(D) x 155mm(H) (NIR1.7t1 / NIR2.2t2)7kg未満 (標準モデル) / 6kg未満 (NIR1.7t1 / NIR2.2t2)● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量22 SOLIDSOLIDCCDCCDSOLIDSOLIDCCDCCDSOLIDSOLIDSOLIDSOLID温度対策済みケース シャッターレス超高感度仕様
Page 9:標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製ス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製 SolidLambdaSolidLambda FieldLambdaFieldLambda ProcessLambdaProcessLambda SpectraMasterSpectraMasterCG LambdaCG LambdaHandyLambdaHandyLambdaⅡ SolidLambda CCDSolidLambda CCD1615液体プロセス測定用分光装置液体プロセス測定用分光装置フィールド測定分光装置フィールド測定分光装置 インライン分光ユニットインライン分光ユニットFieldFieldLambdaLambdaⅡ (1ch / 2ch)ProcessProcessLambdaLambda (1~8ch)SPECTRASPECTRA MASTERMASTER・太陽光をモニターしながら葉っぱの反射率/透過率の測定・屋外環境にて分光照度/光合成光量子束密度の測定・土壌分析■ FieldLambdaⅡF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションFieldLambdaⅡはCarl Ziess社製MMS1分光器モジュールを内蔵したフィールド用分光装置です。無線LAN機能及びバッテリーを搭載しておりますので、ケーブルレスで気軽に屋外へ持ち出して分光スペクトルを測定することができます。機器との通信はノートPCなどから無線LAN機能を用いて行うことができます。また、環境アプリケーション用に分光器モジュールを2チャンネル搭載したモデルもございます。・スタンドアロン液体吸光度測定・インライン用PLC通信測定システム■ SPECTRA MASTERF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションSPECTRA MASTERはCarlZiess社製MMS1分光器モジュールを内蔵したインライン向けの分光ユニットです。本ユニットは現場のライン横に設置する用途にデザインされており、本体内に分光器モジュールを初め、光源やOSなど全ての機器を内蔵しております。データ出力は、アナログ出力やLAN出力などご希望の形式に対応可能です。使用環境に最適化した検査システムとしてカスタマイズいたします。ハイブリッド分光装置ハイブリッド分光装置・半値幅の狭い基線を持つプラズマやレーザーのスペクトル測定・UV-LEDなど紫外を対象とした測定・顕微鏡と組み合わせた透過(反射)スペクトル測定■ CG LambdaF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションCG LambdaはCarl Zeiss社製CGS分光器モジュールを内蔵した分光装置です。受光素子には裏面入射CCDを採用し、高感度でありながら高分解能というハイブリッドな特性を持っております。また、波長範囲が紫外・可視・近赤外と幅広く、UV-LEDやプラズマスペクトルの測定など多様なアプリケーションに使用されております。・製剤・原薬の溶出試験(溶解度のリアルタイムモニタ)・短時間測定を活かした溶出曲線の立ち上がりの正確なモニタ・最大8チャンネルを用いた多連撹拌モニタ■ ProcessLambdaF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションProcessLambdaはCarlZeiss社製MMS分光器モジュールを内蔵した液体プロセス測定用の分光装置です。液浸プローブを用いて液体の吸光度測定を秒単位で行うことができ、主に製剤の溶出試験や原薬の溶解度をリアルタイムにモニタする用途でデザインされております。液浸プローブ及び分光器モジュールは最大8チャンネルまで拡張可能ですので、ご要望に合わせた多連撹拌システムを作成します。CG LambdaCG Lambda310~1100nm対象310~1100nm対象タイプUV-VIS enh.NIR enh.その他分光器モジュールMMSシリーズも内蔵可190~720nm対象タイプUV-VISその他分光器モジュールMMSシリーズも内蔵可310~1100nm対象310~1100nm対象タイプUV-VIS enh.NIR enh.その他分光器モジュールMMSシリーズも内蔵可190~1000nm対象タイプUV-NIR CCDCarlZeiss社製 CGS UV-NIR CCD3000:1210mm(W) x 280mm(D) x 105mm(H)2kg未満● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量CarlZeiss社製 MMSシリーズ5000:1220mm(W) x 450mm(D) x 370mm(H)12kg未満 (1ch仕様)● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量CarlZeiss社製 MMS1シリーズ5000:1420mm(W) x 320mm(D) x 470mm(H)仕様に依存● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ重 量CarlZeiss社製 MMS1シリーズ5000:1260mm(W) x 20mm(D) x 150mm(H) 突起部除く4kg未満 (2ch仕様)● 仕様内 蔵 分 光 器S / N 比標 準 サ イ ズ標 準 重 量屋外用ショルダー付き吸光度測定システム延長光ファイバー
Page 10:標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ標準分光装置シリーズ● 仕 様 早 見 表UV-VIS UV-VIS 2 UVUV-VISenh.NIRenh.サ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内 蔵 分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能S / N 比内蔵電動シャッター分 光 ソ フ ト ウ エ アMMS1 UV-VIS enh. / NIR enh.310~1100nm0.3nm3.3nm/素子 (typ.)<0.01nm/K10nmMMS UV-VIS190~720nm0.5nm2.2nm/素子 (typ.)<0.006nm/K7nm120mm(W) × 140mm(D) × 40mm(H)USB2.0 / EthernetSMA5000:1標準装備標準分光分析ソフトウェア WaveVIEWERMMS UV-VIS 2250~780nm0.5nm2.2nm/素子 (typ.)<0.006nm/K7nmMMS UV195~390nm0.2nm0.8nm/素子 (typ.)<0.005nm/K3nm2UV-VISUV-NIR VIS NIRサ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内 蔵 分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能S / N 比内蔵電動シャッター分 光 ソ フ ト ウ エ アMCS UV-NIR190~1015nmMCS UV-VIS200~620nm210mm(W) × 280mm(D) × 155mm(H)USB2.0 / EthernetSMA0.3nm0.8nm/素子 (typ.)<0.005nm/K3nm5000:1標準装備標準分光分析ソフトウェア WaveVIEWERMCS VIS360~780nmMCS NIR680~1100nmSOLIDSOLIDCCD UVCCD UV-NIRサ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内 蔵 分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能S / N 比内蔵電動シャッター分 光 ソ フ ト ウ エ アMCS CCD UV-NIR200~980nmMCS CCD UV200~600nm210mm(W) × 280mm(D) × 155mm(H)USB2.0 / EthernetSMA0.5nm0.8nm/素子 (typ.)<0.01nm/K3nm10000:1標準装備標準分光分析ソフトウェア WaveVIEWERSOLIDSOLIDCCDCCD UV-NIR CCD210mm × 280mm × 99mmUSB2.0SMACGS UV-NIR CCD190~1000nm0.3nm0.4nm/素子 (typ.)2048素子2.2nm3000:1標準装備標準分光分析ソフトウェアサ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内 蔵 分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散検 出 素 子 数半 値 幅 分 解 能S / N 比内蔵電動シャッター分 光 ソ フ ト ウ エ アNIR 2.2t2NIR 1.7t1サ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内 蔵 分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度波 長 分 散波 長 温 度 依 存半 値 幅 分 解 能S / N 比内蔵電動シャッター分 光 ソ フ ト ウ エ アPGS NIR 1.7t1960~1690nm0.6nm1.5nm/素子 (typ.)<0.012nm/℃5nm1000:1PGS NIR 2.2t21000~2150nm0.6nm5nm/素子 (typ.)<0.012nm/℃16nm500:1210mm(W) × 280mm(D) × 155mm(H)USB2.0SMA標準装備標準分光分析ソフトウェア WaveVIEWERSOLIDSOLIDサ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内蔵電動シャッター電源・内蔵バッテリー受 光 プ ロ ー ブ光 源 モ ニ タ ー260mm(W) × 20mm(D) × 150mm(H)無線LANSMAMMS1 UV-VIS enh. / NIR enh.310~1100nm0.3nm10nm5000:12ch標準装備DC24V 1.5A35Whバッテリー 駆動時間 約6h照度プローブ, 反射プローブ, 光源モニタープローブ など2ch仕様では常時モニター化標準標準 ( UV-VIS enh. / NIR enh. )* 分光器はその他MMSシリーズも内蔵可分光部分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度半値幅分解能S / N 比多チャンネル化サ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続外 部 I / Fデ ー タ 出 力内 蔵 光 源300mm(W) × 210mm(D) × 150mm(H)USB2.0 / Ethernet 他SMAMMS1 UV-VIS enh. / NIR enh.310~1100nm0.3nm10nm5000:12chトリガー入力 TTLもしくは短絡信号RS-232C / Ethernet / パラレルIO / アナログ出力ハロゲンランプ* 分光器はその他MMSシリーズも内蔵可標準標準 ( UV-VIS enh. / NIR enh. )分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度半値幅分解能S / N 比多チャンネル化分光部サ イ ズI / Fフ ァ イ バ ー 接 続内蔵電動シャッター内 蔵 光 源分 光 器波 長 範 囲波 長 精 度半値幅分解能S / N 比多チャンネル化方 式ウィンドウ材質ミラー材質ボディ材質シーリング外 径液 浸 長光 路 長光ファイバー分光部液浸プローブ220mm(W) × 450mm(D) × 370mm(H)USB2.0 / EthernetSMAMMS UV-VIS190~720nm0.5nm7nm5000:1最大8ch標準装備D2ランプ・ハロゲンランプ併用反射型石英 SUPRASIL®300アルミコート ( 基材 : 石英 SUPRASIL®300)ステンレス 1.4404 (316L)Epoxy glue6mm最長 175mm1, 2, 5, 10, 20mm ( 先端可変式 )石英ファイバー 2m ( ソラリゼーション対策済み )標準標準 ( UV-VIS )* 分光部はその他MMSシリーズも内蔵可* 液浸プローブ及び光ファイバーはカスタム可イ ン ラ イ ン 環 境 にイ ン ラ イ ン 環 境 に分 光 検 査 部 を 設 置分 光 検 査 部 を 設 置 小型分光器を使用するアプリケーションにおいて、インライン化に向けた装置開発のご相談を多く頂いておりますが、その開発に対しての協力も弊社の大事な使命と考えております。 光学膜厚測定や液体濃度(吸光度)測定、反射/透過率測定などは分光を用いて精密測定ができることが知られていますが、その測定結果を基に他の部分に制御をかけたり、高速連続測定をすることは依然難易度の高い案件としてユーザーの方々を悩ませています。さらに、クリーン度や防爆など周辺環境も多岐にわたります。 このようなご相談も常時受け付けております。各計装制御系との取り合いなども含めた光学測定のインライン化の実績は年々増えており、それらの経験を基に「何が可能で、どのように実現するか」を共に考え、ソリューションをご提案いたします。17 18ス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製ス ペ ク ト ラ ・ コ ー プ 社 製 SolidLambdaSolidLambda FieldLambdaFieldLambda ProcessLambdaProcessLambda SpectraMasterSpectraMasterCG LambdaCG LambdaHandyLambdaHandyLambdaⅡ SolidLambda CCDSolidLambda CCD
Page 11:測定用各種光源測定用各種光源液体測定用液浸プローブ液体測定用液浸プローブ19 20分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリーLS-100 100Wハロゲン光源LS-150 150Wハロゲン光源XLS-150 150Wキセノン光源DLS-30 30W重水素光源標準液浸プローブプロセス制御用液浸プローブ超小型液浸プローブ耐高圧耐高温 液浸プローブ etc ...LUV 紫外・可視用LIR 可視・近赤外用SBLUV 耐ソラリゼーション拡散照射プローブ重水素光源100Wハロゲン光源分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリー多チャンネル化多チャンネル化測定用電動ステージ測定用電動ステージ液体測定用液浸プローブ液体測定用液浸プローブ 測定用各種光源測定用各種光源 屋外測定用アクセサリー類屋外測定用アクセサリー類 光ファイバー用コネクター類光ファイバー用コネクター類反射率/透過率測定プローブ反射率/透過率測定プローブ各種石英光ファイバー各種石英光ファイバー液体測定用液浸プローブ液体測定用液浸プローブ測定用各種光源測定用各種光源光ファイバー用コネクター類光ファイバー用コネクター類各種石英光ファイバー各種石英光ファイバー反射率/透過率測定用プローブ反射率/透過率測定用プローブ屋外測定用アクセサリー類屋外測定用アクセサリー類多チャンネル化多チャンネル化測定用電動ステージ測定用電動ステージ 光ファイバーは標準でバンドルタイプまたはモノ(単芯)タイプを用意しております。 バンドルタイプは石英の素線が俵状に束ねられており、屈曲による透過特性の変動を限りなく小さくすることができます(バンドル径:600um∼3mm)。また、モノタイプは高い透過特性を有しており微弱光測定や高効率受光を要する測定に有効です(コア径:200um∼1000um)。 分光測定に欠かせないのが、その光の発信を行う光源です。分光側が紫外・可視・近赤外と多様な領域を対象としておりますので、使用アプリケーションに応じて必要となる波長域を提供できる光源も多様となってきます。また、波長域によっては連続的に照射し続けると光学系にダメージを与えたり、光源そのものの寿命を短命化してしまうケースもありますので、それらへの配慮も欠かせません。照射光を拡散するための専用プローブもございます。インライン上での透過率測定や近赤外においての非破壊測定などでその性能は定評を頂いております。 昨今の液体吸光度測定に必須なのが、液浸プローブです。 ラボ用の小型小径タイプからインライン用のフランジ付き、耐熱・耐圧タイプまで幅広いラインナップがございます。光路長や液浸長、ファイバー長など各部カスタムが可能で用途に合わせて最適化したプローブを選択して頂けます。380nm ~ 2000nm50(W) × 215(D) × 118(H)mm3約 2.5kg-約 1000h-3100K手動式380nm ~ 2000nm50(W) × 215(D) × 118(H)mm3約 3.5kg-約 50h ( 長寿命タイプ 500h)-3400K ( 長寿命タイプ 3400K)手動式220nm ~ 2000nm--±0.5%h約 1200h有り-手動式220nm ~ 400nm178(W) × 285(D) × 157(H)mm3-±0.3%h約 2000h--電動式放 射 波 長サ イ ズ重 量安 定 度ラ ン プ 寿 命I / R 機 能色 温 度シ ャ ッ タ ーLS-100 LS-150 (長寿命タイプLS-150L) XLS-150 DLS-30● 仕様石英 SUPRASIL®300ステンレス 316Lカルレッツ ®20mm180mm100mm1, 2, 5, 10, 20mm から選択150℃600KPa石英 SUPRASIL®300 /サファイヤステンレス 316Ti /ハステロイカルレッツ ®20mm または 25mm353mm240mm1, 2, 5, 10, 20mm から選択260℃3.5MPa石英 SUPRASIL®300ステンレス 316LEpoxy glue6mm235mm175mm1, 2, 5, 10, 20mm( 可変式 )150℃600KPaサファイヤステンレス 316L /ハステロイ金ニッケル合金 C リング溶接27mm770mm320mm2, 5, 10mm から選択400℃30MPa (@150℃, ハステロイ )ヘ ッ ド 部ボ デ ィ 材 質シ ー リ ン グボ デ ィ 外 径全 長最 大 液 浸 長光 路 長耐 熱耐 圧標準液浸プローブ● 仕様 プロセス制御用液浸プローブ 超小型液浸プローブ 耐高圧耐高温 液浸プローブ 分光器や分光装置を使用する測定では、アプリケーションに応じたアクセサリーが必要となります。弊社では、お客様の要求仕様に沿った測定環境を整えるべく、豊富なアクセサリーラインナップから最適な製品を選択し、簡便に分光精密測定が達成できるよう提案しております。1906050403020100290 390 490 590 690 790 890 990Wavelength (nm)Relativetransmission(%)LUV石英透過特性6050403020100350 750 1150 1550 1950 2350Relativetransmission(%)Wavelength (nm)LIR石英透過特性各種石英光ファイバー各種石英光ファイバーLIR(Y分岐)真空用特殊出射形状LUV(ストレート)拡散反射測定用標準 プロセス制御用超小型Illumination time (h)Relativetransmission(%)SBLUV ソラリゼーション対策ファイバー減衰特性(D2光源照射)0 10 20 30 40 50 60 70120100806040200(SBLUV)(Normal)耐高圧耐高温300~800nm対象400~2000nm対象220~800nm対象
Page 12:分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリー21 22光ファイバー用コネクター類光ファイバー用コネクター類測定用電動ステージ測定用電動ステージ & 多チャンネル化多チャンネル化反射/透過率測定プローブ反射/透過率測定プローブ分光器&分光装置アクセサリー分光器&分光装置アクセサリー屋外測定用アクセサリー類屋外測定用アクセサリー類地上用サンプルモニター系 モニター用三脚 屋外用ショルダー付軽量ケース 水中用サンプルモニター系専用リチウムイオンバッテリー 専用発電機 太陽光受光プローブ積分球内蔵透過プローブ積分球内蔵拡散反射プローブ標準透過プローブ 10°/ 10° 反射プローブ液体測定用セルホルダー 顕微鏡用Cマウントアダプタ 真空フランジSMA-SMAアダプタ SMAレセプタクル標準反射プローブ多チャンネル化多チャンネル化測定用電動ステージ測定用電動ステージ液体測定用液浸プローブ液体測定用液浸プローブ 測定用各種光源測定用各種光源 屋外測定用アクセサリー類屋外測定用アクセサリー類 光ファイバー用コネクター類光ファイバー用コネクター類反射率/透過率測定プローブ反射率/透過率測定プローブ各種石英光ファイバー各種石英光ファイバー屋外測定において、測定位置確認用のモニターや、電力供給が困難な場所においてのバッテリーは必要となってくる道具です。これらの屋外測定用アクセサリーも豊富に取りそろえております。光ファイバー用コネクターは、液体透過率測定や真空フランジ内分光測定などで各種コネクタ/アダプタを取りそろえて、測定環境を整える脇役です。また、電動ステージにプローブを付けたり、分光チャンネルを増やす改造なども臨時行っております。こちらに紹介しているプローブ類は、ほんの一部です。サンプルのサイズ/形状/周辺環境などに合わせて特注仕様を承っております。また、既存電動ステージやホルダーなどに取り付けることも可能です。様々な改造も常時受けつけております。輝度マッピング測定ステージ分光器多チャンネル化反射測定用電動ステージ光度配光測定ステージ(2軸電動) 光度配光測定ステージ(1軸電動)
Page 13:Viewer各種分光分析ソフトウエア各種分光分析ソフトウエア23 24反射による色測定のみならず、LEDなどの発光色も対象としています色測定ソフトウエア色測定ソフトウエア膜厚測定ソフトウエア膜厚測定ソフトウエア標準分光分析ソフトウエア標準分光分析ソフトウエア最小300nm∼最大100μmまでの各種透明膜の厚みを高速で簡便に測定分光測定における全ての標準機能を持ち合わせています 多変量解析ソフトウェアUnscrambler®検量線モデルにも対応可能!!Wave Viewer Thickness ViewerColor Viewer 弊社の分光装置全てと通信できる標準ソフトウエアです。任意選択で露光時間と平均回数を選び、ダーク測定後の反射/透過/相対強度の測定を行い、データ保存、データ出力を簡便に行います。データ出力の形式は、CSVフォーマットであらゆるデータベースに対しても対応可能です。 測定はマニュアルによる単独測定、そして時間間隔を設定した後の連続測定/自動保存を標準機能とし、データ出力に対しての補間も波長間隔を任意に選ぶことで可能です。ダーク測定は分光装置内蔵の電動シャッターを制御し、二次微分やスムージングなどの追加処理機能も充実しています。グラフの重ね書きやピーク波長検出もでき、分光測定に必要となる全ての機能を持ち合わせています。液体測定アプリケーションなどでは、検量線モデルを介した濃度表示などにも対応可能です。 光学測定における膜厚測定は、ハロゲン光を照射してその反射や透過のスペクトルの波長帯域に現れる干渉を応用して、再現性よく膜厚を測定いたします。その再現性精度は、0.002um以下を誇ります。 また、測定ステージにXY自動ステージやトラバース等を用いる場合は厚みのムラをビジュアル化した3Dグラフ機能も追加可能です。 さらに、搬送機の中でのインライン使用の場合は他周辺機器との通信も行えるように設計されており、その拡張性は多くのお客様のご支持を頂いております。 紙や印刷などの色測定は無論、LEDやディスプレイの色測定も対象としております。色度は、xyやu'v'を±0.0002以内でまた分光波長精度も±0.3nmを反映させ、LEDなどの発光体測定の場合は、定電流・定電圧電源の接続で、VF/IF/VR/IR測定も同時に行えるマルチ色測定ソフトウェアです。白色を測定したケースの演色性や視野角による違いも含めた光度/輝度/光束測定にも対応しております。 また、発光体のパルス測定も1msまでは標準機能として処理可能としています。測定した各種データは、CSVフォーマットでどなたでも簡便に取り扱えるようになってます。さらに、測定波長範囲は200~1000nmに対応可能です。 弊社分光装置には、標準ソフトウエア「Wave Viewer」がついており、その機能性はご好評頂いております。簡単に測定・データ保存・データ出力ができ、各グラフが観やすいようにウインドウタブで分けた構成となっております。 また、反射や発光による色測定は「Color Viewer」が、透明膜の厚み測定には「Thickness Viewer」が分光測定によるデータから各アプリケーション測定結果に最適に導くようになっています。すべて日本語で作られているソフトウェアというのも、現場サイドからの人気が高い理由となっています。* Unscrambler®はカモソフトウェア社の登録商標です。各種分光分析ソフトウエア各種分光分析ソフトウエア分光分析ソフトウエア分光分析ソフトウエア 色測定ソフトウエア色測定ソフトウエア 膜厚測定ソフトウエア膜厚測定ソフトウエア膜厚測定ソフトウエア膜厚測定ソフトウエア色測定ソフトウエア色測定ソフトウエア分光分析ソフトウエア分光分析ソフトウエアWave Viewer Thickness ViewerColor Viewer
Page 14:応用関連装置応用関連装置25 26LEDLED測定用高分解能マルチ分光装置測定用高分解能マルチ分光装置応用関連装置応用関連装置SolidSolidLambda LED monitor PLUSLambda LED monitor PLUSSolidLambdaLEDmonitorPLUS HandyLambdaLEDmonitor HandyLambda Thickness EmprunnerBTR-11KU-XYSolodLambdaThicknessⅡ シリーズシリーズ高精度、多機能、各種開発に対しての拡張性。■ SolidSolidLambda LED monitor PLUSLambda LED monitor PLUSF e a r u t e特 徴特 徴Solid Lambda LED monitor PLUSHandy Lambda LED monitorEmprunner BTR -11Solid Lambda ThicknessHandy Lambda ThicknessⅡKU-XY シリーズシリーズ 高分解能分光装置Solid Lambda CCDを使用して、様々な形状のLEDの光度・輝度・全光束・配光特性・照度・ピーク波長・主波長・半値全幅・電気特性・ジャンクション温度・パルス測定などをご希望の測定項目に沿って組み合わせる、拡張性重視のシステムです。ご予算や目的に沿った装置コンセプトで、各種特徴のあるサンプルに対してのホルダーも随時設計製作しております。 通常のLED装置では実現するのに困難であったUV領域の計測や広範囲での温度コントロール、パルス同期測定なども別途ご相談を受け付けております。単なる分光測定の枠を超えたLED測定用高分解能マルチ分光装置「Solid Lambda LED monitor PLUS」をお試しください。 弊社分光装置の応用として、LEDや発光ディスプレイの測定システム、フィルムや半導体ウエハー上の透明膜などの膜厚測定システムを紹介しております。オフライン用途は無論、インライン検査装置の一部としての分光計測部など、お客様のご希望仕様に応じて、ここで紹介している応用関連装置以外の製品も含め、分光技術を皆様の計測発展に活かしていきます。200~980nm380~950nm(標準)220~800nm(UV仕様)7~6500ms0.05m㏅~200㏅0.1㏅/m2~10000㏅/m21m㏐~1000㏐(6inch球)±0.0002±0.5nm3nm裏面入射式冷却2次元CCD, 1044×64素子10000:10~±110V, 0~±2A 電圧域重視モデル0~±20V, 0~±10A 電流域重視モデル0~100%1ms<0.2%<0.2%<0.2%● 仕 様 / 性 能対 象 波 長 範 囲校 正 波 長 範 囲露 光 時 間光 度 感 度輝 度 感 度全 光 束 感 度色 度 ( x , y )波 長 精 度半 値 幅 分 解 能検 出 素 子S / N 比LED制御用電源対 象 範 囲DUTY可変範囲パ ル ス 幅再現性精度再現性精度再現性精度(*)LED制御用電源は仕様に応じて変更可50mm(X軸)×50mm(Y軸)β軸:-10~190°, θ軸:0~180°回転軸パルス最小移動量:0.005° (フルステップ), 0.0025°(ハーフステップ)600mm(X軸)×400mm(Z軸)6inch(標準, サイズ変更可)材質:光学硫酸バリウムコート / PTFENIST(300~1100nm, ハロゲン標準光源)JCSS (200~800nm, キセノン標準光源)常温~80℃(標準)-20~80℃(ユーティリティ支給において拡張可)LED輝度マッピングス ト ロ ー ク 長2軸配光ステージディスプレイ輝度マッピングス ト ロ ー ク 長全 光 束 測 定 用積 分 球トレーサビリティ温 調 範 囲(*)各種ステージストローク長は仕様に応じて変更可
Page 15:応用関連装置応用関連装置応用関連装置応用関連装置応用関連装置27 28応用関連装置応用関連装置簡便な操作性、正確な位置再現性、検査効率の向上、低価格。■ MAS-L 0702MAS-L 0702F e a r u t e特 徴特 徴簡便な操作性、正確な位置再現性、検査効率の向上、低価格。■ MAS-L 0802MAS-L 0802F e a r u t e特 徴特 徴SolidLambdaLEDmonitorPLUS HandyLambdaLEDmonitor HandyLambda Thickness EmprunnerBTR-11KU-XYSolodLambdaThicknessⅡ シリーズシリーズLEDLED測定用高分解能マルチ分光装置測定用高分解能マルチ分光装置Handy Lambda LED MonitorHandy Lambda LED Monitor測定初期段階用、各種開発に対しての拡張性、低価格。■ Handy Lambda LED MonitorHandy Lambda LED MonitorF e a r u t e特 徴特 徴サンプルステージ 光度プローブ:CIEコンディションB液体プロセス測定分光装置液体プロセス測定分光装置XXXXXXMAS-L 0702MAS-L 0702 [ CIEコンディションB準拠 ]MAS-L 0802MAS-L 0802 弊社分光装置に接続可能な簡易型LED光度測定ステージです。 開発環境から現場まで、数量あるサンプルを時間をかけずに測定したい、またはSMDタイプの小さなサンプルを簡便にホールドしたい等々...。昨今、LED検査現場ではサンプル設置の簡便さが求められてきています。そのような要求にシンプルに対応したいという願いを込めて製作されたのが、この「MAS-L 0702」です。 弊社分光装置に接続すれば、サンプルの位置を気にせず短時間でLEDの光度・スペクトル・色度などが測定できます。 弊社分光装置に接続可能な簡易型LED全光束測定ステージです。 開発環境から現場まで、数量あるサンプルを時間をかけずに測定したい、またはSMDタイプの小さなサンプルを簡易にホールドしたい等々...。昨今、LED検査現場ではサンプル設置の簡便さが求められてきています。そのような要求にシンプルに対応したいという願いを込めて製作されたのが、この「MAS-L 0802」です。 弊社分光装置に接続すれば、サンプルの位置を気にせず短時間でLEDの全光束・スペクトル・色度などが測定できます。簡易型LED光度測定ステージ簡易型LED光度測定ステージ簡易型LED全光束測定ステージ簡易型LED全光束測定ステージZ軸調整マイクロメーター軸調整マイクロメーターサンプルステージ 全光束測定プローブ LEDの測定アプリケーションは、市場拡大に伴い、LEDのサイズ/形状が多種多様化しており、既存の測定装置では用途に応じた対応が困難となってきています。それに加えLED測定という新たな検査に対しての多額な予算を準備することに躊躇される方々が増えている事実もまた存在します。そのようなLED測定の初期段階を想定し、またその次のテーマ変更も念頭に置いた拡張性も持たせているのが、この「LED測定用モバイル分光装置 Handy Lambda LED Monitor」です。従来の装置概念を超えた、オリジナルなLED測定装置をお試しください。 通常のLEDの発光強度/光度・輝度/全光束/パルス/ピーク波長/半値全幅/主波長/電気特性などを簡便に測定できる構成となっております。 専用サンプルホルダーは、単素子・基板実装型・モジュール型など個々に設計対応できるようになっており、専用ソフトウェア「Color VIEWER」も使用ハードウェア構成に応じた変更がきくようになっています。310~1100nm380~1000nm1.5~6500ms1m㏅~2000㏅20㏅/m2~100000㏅/m220m㏐~5000㏐(6inch球)±0.0002±0.3nm10nmMOSタイプ, 256素子, 3.3nm/素子5000:1<0.2%<0.2%<0.2%● 仕 様 / 性 能対 象 波 長 範 囲校 正 波 長 範 囲露 光 時 間光 度 感 度輝 度 感 度全 光 束 感 度色 度 ( x , y )波 長 精 度半 値 幅 分 解 能検 出 素 子S / N 比再現性精度再現性精度再現性精度0~±110V, 0~±2A 電圧域重視モデル0~±20V, 0~±10A 電流域重視モデル0~100%1ms20mm(X軸)×20mm(Y軸)1200mm×800mm2inch(標準, サイズ変更可)材質:光学硫酸バリウムコートNIST(300~1100nm, ハロゲン標準光源)常温~80℃(標準)LED制御用電源対 象 範 囲DUTY可変範囲パ ル ス 幅LED輝度マッピングス ト ロ ー ク 長照度マトリクス測定手 動 ス テ ー ジ全 光 束 測 定 用積 分 球トレーサビリティ温 調 範 囲(*)LED制御用電源は仕様に応じて変更可(*)各種ステージストローク長は仕様に応じて変更可
Page 16:応用関連装置応用関連装置応用関連装置応用関連装置29 30応用関連装置応用関連装置 SolidLambdaLEDmonitorPLUS HandyLambdaLEDmonitor HandyLambda Thickness EmprunnerBTR-11KU-XYSolodLambdaThicknessⅡ シリーズシリーズEmprunner BTR-11Emprunner BTR-11平面サンプルの自動移動。弊社ソフトウエアと互換性。精密マッピング測定に最適。■ KU-KYKU-KYシリーズシリーズF e a r u t e特 徴特 徴KU-XYKU-XYシリーズフィルムやガラス製造ライン上での常時分光測定検査用システム。高速応答性、安全性、そして光源スペクトル自動補正に優れる。■ Emprunner BTR-11Emprunner BTR-11Fearute特 徴特 徴 膜厚測定の自動化アプリケーションの中で、平面状のサンプルの膜厚マッピング測定という要求があります。様々なサイズのサンプルをXY軸で移動させながら測定を行う「KU-XYシリーズ」の精密な可動能力はサンプルの細かい違いを測定するのに大いに役立ちます。 専用ソフトウエア「Thickness Viewer」と互換性があり、ソフト側からの制御・測定・データ保存が可能です。サンプルサイズの違いにも対応し、非常停止ボタンなど安全機構も取り付け可能です。 フィルムに塗布された膜の厚みを、ハロゲン光(400nm∼900nm)において光干渉方式で測定し、膜厚データの自動管理及び異常値検出・外部信号出力等を行います。 また、透過率測定も同時に行え、制御盤との距離及びオペレータの操作部も数十m離すことができるフィルム製造ラインに適した分光検査装置です。 エリアセンサ及びエンコーダも同時制御し、今までの分光測定概念を超えたエンプランナーBTR-11は新たなフィルム検査を実現させます。また、オプションにより、反射率測定を加えたBTR-12の形式も製作可能です。モバイル膜厚測定装置モバイル膜厚測定装置HandyHandyLambdaLambdaⅡ ThicknessThicknessSolidSolidLambda ThicknessLambda Thickness測定冶具XYZラックピニオン手動ステージ 小径エリア測定用顕微光学系曲面接触式プローブ測定初期段階用、各種開発に対しての拡張性、低価格、オフライン評価や既設ラインへの設置。■ HandyHandyLambdaLambdaⅡ Thickness / SolidThickness / SolidLambda ThicknessLambda ThicknessF e a r u t e特 徴特 徴 光を透明または半透明膜に照射し、その反射光(または透過光)の干渉スペクトルから膜厚を算出します。非接触でサンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。光ファイバーを用いて照射・受光をするため、場所を選ばずインラインへの転用も可能です。アクチュエータとの併用でマッピング膜厚測定も実現します。 専用ソフトウエア「Thickness Viewer」で測定すれば、0.3∼100um(HandyLambdaⅡ Thicknessは 0.3∼20um)までの、透明/半透明膜の厚みを光干渉方式により短時間で測定します。他の膜厚測定よりも再現性に優れ、多くの方々にご支持を頂いております。 また、装置が小型であるがゆえに、膜厚塗布工程ラインのそばにも簡便に設置が可能です。測定データを他制御機器に送る事もできます。050 5 100 10 200102030 30150mm×150mm ~ 600mm×600m(50mm単位で変更可)60W±0.02mmボールネジ(φ12mm)方式0.0.5mm以下3.1kg(150mm×150mm)~5.8kg(600mm×600mm)ベース一体型アルミ材指定長0~40℃, 85%RH(結露なきこと)● ロ ボ ッ ト 仕 様ス ト ロ ー ク 長モ ー タ 出 力位 置 決 め 精 度駆 動 方 式バ ッ ク ラ ッ シ ュ耐 荷 重 量ガ イ ドベ ー スケ ー ブ ル使用温度・湿度400~900um300nm~100um0.01um以下(サンプル透明度・拡散度に依存)±0.1%以下0~3abs1.8mストローク長標準(クリーンルーム仕様も可)300nm/秒以上0.2mm以下9mm(光軸ピッチ)26個256パルス/回転0~40℃, 85%RH(結露なきこと)● 仕 様 / 性 能対 象 波 長 範 囲対 象 膜 厚 範 囲膜厚再現性精度透過率再現性精度吸光度データ範囲ア ク チ ュ エ ー タ走 査 速 度位 置 分 解 能エ リ ア セ ン サ ーエリアセンサー数ロータリーエンコーダ使用温度・湿度310nm~1100nm190nm~1015nm380nm~950nm1.5~6500ms6.0~6500ms300nm~20um300nm~100um0.001um0.01um以下(サンプル拡散度に依存)酸化シリコン, シリコン, ガリウム砒素,窒化シリコン, 酸化チタン, フォトレジスト,フィルム, カラーフィルター膜, 色素膜,油膜, ポリマー, UV硬化樹脂, 接着剤,空気層, コーティング材, 金属酸化膜, 誘電体膜,CD, MD, DVD など塗装膜, 金属膜HandyLambdaⅡThicknessSolidLambda Thickness(ハロゲン光源との併用において)HandyLambdaⅡThicknessSolidLambda ThicknessHandyLambdaⅡThicknessSolidLambda Thickness● 仕 様 / 性 能対 象 波 長 範 囲実使用波長範囲露 光 時 間測 定 膜 厚 範 囲膜厚表示分解能再 現 性 精 度測定可能サンプル測定不可能サンプル膜厚電動ステージ膜厚電動ステージインライン膜厚透過率分光測定装置インライン膜厚透過率分光測定装置
Page 17:31 32携帯デジタル色計測機能付顕微鏡携帯デジタル色計測機能付顕微鏡HandyScopeその他製品その他製品その他製品その他製品その他製品仕 様 / 性 能フ レ ー ム レ ー ト1/3” CMOS本 体1600×12008 ×9.5mm @40×2.4 ×3mm @140×30fps69(W)x 75(H)x 47(D)mm光 源サ イ ズ電 源 供 給視 野White,UV,IR LED 切替え式USBバスパワー100gWindows XP以降重 量セ ン サ ー画 素 数対 応 O S調 整 項 目(自動または手動)リアルタイム静止画,動画スケール・コメント挿入,マクロ登録,L*a*b*,反射色測定露光時間,ゲイン,日本語,英語,処 理言 語測長,面積計算(*),二値化,ホワイトバランスその他 任意言語追加可能モ ニ タキ ャ プ チ ャソフトウェア (*)校正後に有効HandyScopeColometerNIRMeterSopectra-Lumi[SPECBOS]ColoSuke-SAColoSuke 携帯デジタル色計測機能付顕微鏡HandyScopeは、White/UV/IR光源搭載の高倍率・高画素・コンパクトな顕微鏡です。2メガピクセルのCMOSセンサーを用いて最大140倍まで拡大することができ、光源にはWhite LEDに加えUV及びIRのLEDを搭載しておりますので紫外線による蛍光画像や赤外線反射画像を得ることできます。専用ソフトウェアは静止画だけでなく動画撮影にも対応し、二値化処理や測長・面積計算及び物体色 L*a*b* 測定機能を備えております。 また、マルチランゲージとなっておりますので日本語以外にも英語・中文などあらゆる言語で操作することができます。ノートPCはもちろんWindowsタブレットでも使用可能ですので、製造工場や屋外での生体研究、教育用途など気軽に現場へ持ち出し簡便にお使いいただけます。60 X40 X80 X100 X120 X140 Xソフトウェアソフトウェア ScopeVIEWERScopeVIEWER観察例観察例色計測画面色計測画面電子基盤 クレジットカード化粧品コネクタ インク IR 反射CMYK 印刷面・宝石鑑定・印刷色色測定・考古学 出土品観察・屋外生体研究・工業部品検査・基盤検査・紫外蛍光観察・紙幣観定・昆虫観察・各種教育・化粧品色測定・繊維色測定● White,UV,IR 光源搭載● 2メガピクセルの高画素● 最大140倍の高倍率● 専用白色標準板との併用で物体色計測● 小型軽量で使用環境不問● Windows タブレット対応● 動画撮影可能■ HandyScopeHandyScopeF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションHandyScope Colometer NIRMeterSopectra-Lumi[SPECBOS] ColoSuke-SAColoSuke弊社はCarlZeiss社製品だけでなく、その他測定装置も多数取り扱っております。1/11外径寸法SU50601-A001Spectra-LumiSpectra Co-op材料処理公差変 更個数※ 指定無き稜線は糸面取りのこと。品名図番設計日 設計者250mm以下. ±0.1mm 件名尺度42.58523.528.5UNC 1/4"-204-M412.512.5φ223915.6 13321.6φ28φ740.334.60.623.529.8φ8φ2228.529.8
Page 18:その他製品その他製品その他製品その他製品33 34分光放射輝度計・照度計分光放射輝度計・照度計携帯型分光装置携帯型分光装置ColometerColometer Spectra-Lumi [SPECBOS]その他製品その他製品その他製品仕 様 / 性 能応用関連装置測定径(輝度測定時)測定距離:7nm380~780nm15bit(14bit表示)200mm:φ6mm1000nm:φ31mm分光放射スペクトル, 輝度(cd/m2), 放射輝度(W/sr*m2),相関色温度(K), 色温度偏差Δuv, 主波長(nm),視野角(輝度測定時)測 定 項 目1.8°照度(lx), 放射照度(W/m2), 色度(xy,u’v’),刺激純度(%), 演色性(Ra, R1-R15)などフラットフィールド回折格子1024素子(ビニング)PDAアメリカ国家標準 NIST光 学 検 出 素 子半 値 幅 分 解 能波 長 範 囲A D 分 解 能波 長 分 散 素 子ト レ ー サ ビ リ テ ィ測定項目測定項目応用関連装置色 度 精 度重 量サ イ ズ色 度 再 現 性±0.5nm照度:20~500,000 lx輝度:3~300,000 cd/m2(NDフィルタ併用)±1%±0.002 @2856K±0.000585%以下(結露なきこと)輝 度 精 度使 用 湿 度 環 境使 用 温 度 環 境輝 度 再 現 性±2% @1000cd/m2, 2856K10~40℃335g60(W)×40.5(H)×139(D)mmUSB2.0USB電 源 供 給波 長 精 度(白色LEDにおいて)測 定 範 囲イ ン タ ー フ ェ イ スSpectraCo-opSpectra-Lumi仕 様 / 性 能光 入 力 コ ネ ク タ380~780nm3000素子 CCD リニアセンサ5.5~10nmSMA905照度, 放射照度, 色度xy, 色度u’v’, Δuv,相関色温度, 主波長, 刺激純度, 演色性, 光量子束密度256露 光 時 間測 定 項 目1ms~内蔵フラッシュメモリUSB最大記録データ数測 定 波 長 範 囲受 光 素 子半 値 幅 分 解 能測定データ記録PC接続インターフェース測定項目測定項目電 源重 量寸 法mini-B静電容量式対角4.3インチ 480x272ドット TFT液晶約2.5時間(使用方法・電池摩耗度に依存)充電式電池(内蔵) または DC12V 2A95x145x40(照度プローブ装着時)照度プローブ, USBケーブル,Windows アプリケーション CD-R外部トリガ信 号電 池 駆 動 時 間入力x1, 出力x1550g(照度プローブ・キャップ含む)タ ッ チ パ ネ ルUSBコネクタ形状表 示 部付 属 品 携帯型分光装置Colometerは、可視域を対象に分光放射照度、照度、および各種色情報を測定する分光照度計です。電池駆動の為、場所にとらわれず様々な環境でご利用いただけます。 測定データはColometer本体に保存することができ、また付属のWindowsソフトウェア「ColometerVIEWER」を使用してPCにデータを取込むことができます。 「ColometerVIEWER」では、データ取込みに加え、分光グラフや色度図の表示、日付・時刻の同期などを行うことも可能です。 分光放射輝度計・照度計Spectra-Lumiは、380∼780nmの可視領域においてスペクトルを測定し、輝度・照度・色度・色温度・主波長・刺激純度・演色性など様々な項目の測定を行います。 サイズは非常にコンパクトで、駆動電力はUSBケーブルから供給されますので電源ケーブルは不要、更にオプションの外部トリガを使用することで外部スイッチによる測定や光源の電源との同期を取ることも可能です。 本体には輝度プローブが固定装着されており、付属の照度プローブを取り付けることにより直ぐに照度測定を行うことができます。この際、プローブ装着と同時にソフトウェアがそれを自動認識し、校正ファイルや測定画面を輝度モードから照度モードへ自動に切り替える仕組みとなっております。また、本体には逆パスレーザーポインタ機構が内蔵されており、容易に測定エリアの確認・範囲調節を行うことができます。視野角 :1.8°測定径 :200mm の場合φ6mm,1000mm の場合φ31mm逆パスレーザーポインタにより測定径は目視で確認可能● タッチパネル操作による測定●トリガ入出力機能による外部機器との連係動作● 照度プローブ装着による照度測定● 光ファイバのSMAコネクタ接続・照明機器の照度・演色性測定・屋外での環境光測定・各種ディスプレイ装置の評価■ ColometerColometerF e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーション ● 多様な測定項目● 高い精度● 用途に応じたカスタマイズ性● コンパクト・軽量● 簡易な操作性・各種ディスプレイ・プロジェクター・自動車関連の表示機・各種照明・交通関連の表示機や電光掲示板■ Spectra-Lumi [SPECBOS]Spectra-Lumi [SPECBOS]F e a r u t eA p p l i c a t i o n特 徴特 徴使用アプリケーション使用アプリケーションタッチパネル操作画面タッチパネル操作画面データ取込みソフトウェアデータ取込みソフトウェア ColometerVIEWERColometerVIEWER屋外持ち運び用キャリーケース ( オプション )屋外持ち運び用キャリーケース ( オプション )測定ソフトウェア測定ソフトウェア測定径測定径NDフィルタアタッチメント 外部トリガ・USB電源供給標準付属品標準付属品照度プローブ(受光面)HandyScope Colometer NIRMeterSopectra-Lumi[SPECBOS] ColoSuke-SAColoSuke分光スペクトル 色度xy 色度u’v’ 演色性専用三脚 照度プローブ 専用キャリーケース
Page 19:その他製品その他製品その他製品その他製品● 制御端末を使用したパソコン不要のユーザビリティ● 高い再現性精度(強度:0.8%, 色度:0.001)● 単三電池駆動● 広いダイナミックレンジ● 照度タイプの斜入射光特性はJIS AA級に準拠● 積算時間0.5msec∼1secの高速測定● ユーザー基準器による校正が可能● NISTトレーザビリティ付きのCarlZeiss社製分光器 MCS CCD UV-NIRによる校正(出荷時)・各種ディスプレイ・自動車関連の表示機・各種照明・交通関係の表示機や電光掲示板■ ColoSuke-SA [Stand-Alone]ColoSuke-SA [Stand-Alone]● 色域● コントラスト比● ガンマ特性● sRGB● グレーバランス● 安定性● 均一性35 36小型色彩輝度計・照度計小型色彩輝度計・照度計 [端末制御端末制御PCPCレスレス]小型色彩輝度計小型色彩輝度計ColoSukeColoSuke ColoSuke-SAColoSuke-SA [Stand-Alone][Stand-Alone]その他製品その他製品その他製品【表示操作部】【センサー部】DiffuserWindow輝度タイプ照度タイプ仕 様 / 性 能応用関連装置0.02~30000 cd/m2(typ.)±4% 1digit(当社基準LCDにおいて)0.02~0.09 cd/m2:±0.009 5.00~39.99 cd/m2:±0.0050.10~4.99 cd/m2:±0.008 40.00 cd/m2以上:±0.0030.02~0.09 cd/m2:0.018(2σ) 0.50~1.99 cd/m2:0.003(2σ)0.20~0.49 cd/m2:0.006(2σ)0.10~0.19 cd/m2:0.015(2σ) 2.00 cd/m2以上:0.001(2σ)0.02~0.99 cd/m2:0.8% 1digit(2σ)1.00 cd/m2以上 :0.5% 1digit(2σ)約8mmUSB2.0100g71(W)×111(H)×35(D)mmWindows XP,Vista,7,8測 定 径重 量サ イ ズ対 応 O S測 定 範 囲イ ン タ ー フ ェ イ ス0.5~1000 msec露 光 時 間精度輝 度輝 度色度xy色度xy再現性仕 様 / 性 能応用関連装置0.02~30000 cd/m2(typ.)LCDUSB2.0センサー部:71×111×35mm 表示操作部:81×158×32mmセンサー部:100g 表示操作部:230g単三電池 2本表 示 器重 量サ イ ズ電 源 供 給積 算 時 間イ ン タ ー フ ェ イ ス輝度(cd/m2)or照度(lux),色度(x,y)(u’,v’),色温度(K)約8mm0.5~1000 msec0.02~0.09 cd/m2:0.018(2σ) 0.50~1.99 cd/m2:0.003(2σ)0.20~0.49 cd/m2:0.006(2σ)0.10~0.19 cd/m2:0.015(2σ) 2.00 cd/m2以上:0.001(2σ)0.8% 1digit(2σ)±4%0.02~0.09 cd/m2:±0.009 5.00~39.99 cd/m2:±0.0050.10~4.99 cd/m2:±0.008 40.00 cd/m2以上:±0.003精度測定強 度範 囲色度xy測定径デ ー タ強 度色度xy再現性専用ソフトウェア専用ソフトウェア ColoSukeVIEWERColoSukeVIEWER センサータイプセンサータイプ斜入射特性斜入射特性ディスプレイ評価項目ディスプレイ評価項目 ディスプレイには既知の問題としてそれぞれのモデルによる色差などがあります。どれだけカメラ検出された色に近づけるか、反射されたディスプレイ色はどうなっているのかなど、これらの疑問点に対して、測定器の方は価格や精度の面などで納得できるものに感じられない。このような要望を多数頂戴しておりました。これらの問題に対して、弊社がひとつの回答としてご提案をさせて頂くのが、小型色彩輝度計ColoSukeです。 ColoSukeには主に計測器としての測定機能。これは輝度や色度測定機能にあたりますが、既に別装置をお持ちのお客様の場合、その装置の測定値に合わせ込むことが可能となっております。これにより安価に器差を気にせず2台目・3台目の増設を支援致します。また、装置をお持ちでない場合はドイツCarl Zeiss社製高感度高分解能分光器 MSC CCDUV-NIR で校正を行い、高い分光技術で色管理を行う測定を実現させます。 ColoSuke-SAは、小型色彩輝度計ColoSuke のセンサー部に小型の表示操作部を追加し、装置単体で測定を可能としたPC不要・スタンドアロンの計測器です。センサー部・表示操作部共に小型軽量で、電池駆動ですので、ラボユースはもちろん生産現場や屋外での使用にも適しております。 センサー部は輝度タイプと照度タイプの2種から選択頂けます。測定データは輝度または照度に加え、色度(x,y)と色温度の表示を行います。センサーにはドイツ製XYZフィルタとSiフォトセンサーを採用し、その校正には NISTトレーザビリティ付きのドイツCarl Zeiss社製高感度高分解能分光器 MSC CCD UV-NIR を用いております。また、校正を行う際の基準器にはお客様がお持ちの分光放射輝度計などを使用することも可能です。Colosuke-SA基準値90°0°180°F e a r u t e特 徴特 徴A p p l i c a t i o n使用アプリケーション使用アプリケーション● 高い再現性精度(強度:0.8%, 色度:0.001)● 広いダイナミックレンジ● 積算時間0.5msec∼1secの高速測定● ユーザー基準器による校正が可能● NISTトレーザビリティ付きのCarlZeiss社製分光器 MCS CCD UV-NIRによる校正(出荷時)・各種ディスプレイ・自動車関連の表示機・各種照明・交通関係の表示機や電光掲示板■ ColoSukeColoSukeF e a r u t e特 徴特 徴A p p l i c a t i o n使用アプリケーション使用アプリケーションHandyScope Colometer NIRMeterSopectra-Lumi[SPECBOS] ColoSuke-SAColoSuke
Page 20:その他製品その他製品将来におけるインライン装置開発将来におけるインライン装置開発顧客の関心顧客の関心部品販売から装置販売まで部品販売から装置販売までスペクトラ・コープがその独自の技術で小型分光器を各々のお客様へどのように提供しているかスペクトラ・コープがその独自の技術で小型分光器を各々のお客様へどのように提供しているか 弊社は、超小型分光器を使用したアプリケーションでのインライン化に向けた開発に対して協力を惜しみません。 例えば、光学膜厚測定、反射/透過測定、そして液体濃度測定などは近年インラインでの分光技術使用が関心を集めており、弊社の小型分光器の使いやすさや高い信頼性を知られた方々はこのインライン化というテーマを真剣に検討しておます。インライン化に基づく問題点に対して、測定データ検証やこれまでの経験から解決策を提案しております。測定サンプリングの時間や限られた光量など、研究レベル、オフラインレベルでは問題にならなかった点などに注視し、使用光源や光学系、インライン用ソフトウェアまでを含め対応しております。 このようなインライン化には、簡単な評価機が初期段階で必要となってきます。弊社としては最低限必要な構成での評価キットシステム販売もしており、お客様と一緒にインライン化に向けたビジネスへの発展を考えております。 弊社は、部品レベルから装置まで幅広く販売しておりますので、お客様のニーズやご予算に応じた販売を可能としております。部品というのは、分光器や分光装置を購入した後のメンテナンスやアップグレードを目的とした必要最小限なモノとなってきますので、どんな小さなコネクタやケーブルなども大事な部品の一つとして随時ストックしております。これにより、光検出プローブの制作なども低価格でお受けしております。 今まで各展示会や雑誌広告及びネット広告などで接しました多くのお客様が興味を持たれる点は、光を現状のアプリケーションとどのよに繋げて有効に使うかという所から始まります。弊社では、カタログやホームページなどで実績に基づいた測定アプリケーションをご紹介しておりますが、これらは入口にしかすぎません。この扉を開いた後には、今までお気づきになられなかった問題点も出てきます。それらの光を使用する開発に弊社の営業・技術スタッフが共同開発の感覚で協力していきます。これがスペクトラ・コープという社名の由来となっており、分光技術を広く多くの方に的確に使用して頂くというのが会社としての理念です。 まず、展示会や広告等で知った弊社製品と個々のアプリケーションの相性を探り、具体的に測定の対象として判断ができた際に製品デモンストレーションを行います。ほとんどのお客様がご自身のサンプルを用意され、そのサンプルに対して有効な波長はどこか、何が光源として必要か、光の検出強度が分光器として十分かなど、様々な角度から測定全般を見てご提案を致します。提案する内容で一部、特注が必要となるのも、この製品の特長であり、主に測定光学系やソフトウェアなどにあたります。本当に必要としている内容を反映して必要な機能だけを優先して製作しております。 従来、分光器や光学系装置というものを商社が扱う場合、輸入してそれをただ納入するだけでビジネスとして成り立っていた時代がありましたが、昨今は商社もメーカー機能を持ち輸入製品の特性を最大限引き出せるような部分を設計製作する必要があります。この必要性に応じた設計製作能力が、各アプリケーション内でお客様がご不満に思っていました「必要な機能が少なく、不必要な機能が多いオーバースペックな装置」を購入することも防ぎます。測定の本当の核となる分光器が決まれば、後は必要最低限な周辺機器で効率の良い、またお客様各々にとって最適なパッケージの測定装置が完成します。 測定環境や目的が将来にわたり変化していっても周辺機器の変更が用意であり、従来使用していたモノをまた流用するこのも魅力の一つです。 柔軟性をもった製品ラインナップは、ご予算に応じたパッケージ紹介も可能としており、その点でもカスタマイズできる製品と言えるでしょう。また、光検出でご不明な点があればご相談にのりながら開発を進めていけることも多くの開発の方がお困りになられている点に対し、お応えできると考えております。37 38入射口入射口NIR MeterNIR Meter小型小型NIRNIR分光センサー分光センサーその他製品その他製品その他製品専用ソフトウェア専用ソフトウェア回折格子 / DLP® テクノロジーによる分光回折格子 / DLP® テクノロジーによる分光 小型 NIR 分光センサー NIR Meter は、近赤外域 900 ∼ 1700nm を対象に米国 T.I 社の DLPⓇテクノロジーを用いて分光スペクトルを測定する小型 NIR 分光センサーです。 入射口はサンプル光を直接入射するウィンドウに加えて、標準付属される SMA アタッチメントを取付けるこで光ファイバー接続も可能となっております。 標準ソフトウェアでは、データタイプとして相対強度 [count] 及び、反射率 [%]/ 透過率 [%]/ 吸光度 [Abs] などの各種測定を行うことが可能で、二次微分・平滑化・波長補間などのデータ処理も充実しております。また、受光ウィンドウの両側面に反射測定用のランプが内蔵されており、外部光源を用意することなく本分光センサー単体で反射測定を行うことができます。 さらに、別モデルとして 1350 ∼ 2490nm を対象とした分光センサーの用意もございます。Sapphire ウィンドウ SMA コネクタ● DLP®テクノロジーを用いて、これまでにない低価格を実現!● 近赤外対象900∼1700nm● 浜松ホトニクス社製InGaAsを採用● S/N比6000:1の低ノイズ● 電源供給はUSBバスパワー● 反射測定用ランプ内蔵● 入射口はSappireウィンドウ/SMAコネクタ切替え式● 迷光除去用の885nmロングパスフィルター内蔵・拡散反射測定・光ファイバーを介した各種近赤外分光測定■ NIR MeterNIR MeterF e a r u t e特 徴特 徴A p p l i c a t i o n使用アプリケーション使用アプリケーション回折格子, DLP® Micromirror ArrayInGaAs900~1700nm10nm typ.6000:1タングステン, 1.4W typ.Sappireウィンドウ, SMAコネクタUSBUSBバスパワーW100×H50×D77nm300g● 仕 様 / 性 能分 光 方 式受 光 素 子対 象 波 長 範 囲半 値 幅 分 解 能S / N 比内 蔵 ラ ン プ入 射 口インターフェイス電 源 供 給サ イ ズ重 量*DLP®はテキサス・インスツルメンツ社の登録商標です。Tungsten LampsSampleColluminating LensDiffrection GratingDLPMicromirror ArrayCollection LensFocusing LensInGaAs DetectorA/DCompact NIR Spectrum sensorCompact NIR Spectrum sensorHandyScope Colometer NIRMeterSopectra-Lumi[SPECBOS] ColoSuke-SAColoSuke