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プロセスオートメーションで液体の “微小流量” の 測定・監視ができる！

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微小流量センサーがなぜ必要とされるか？ 分野別使用例・ラインナップとともにご紹介

センシリオン社製液体フローメーターは、小流量の液体の監視、小流量の液体の吐出などが重要となる分野で使用していただけます。当社独自のCMOSens® Technologyにより、センサーの流路内を流れる液体をミリリットル、マイクロリットル、そして、毎分1桁のナノリットルまで双方向で測定することができます。センシリオン社の安全で信頼性の高いセンサーソリューションは、医療機器、診断、プロセス制御、自動化技術などの分野の各種用途に活用されています。

このカタログについて

ドキュメント名 プロセスオートメーションで液体の “微小流量” の 測定・監視ができる！
ドキュメント種別 ホワイトペーパー
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このカタログの内容

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プロセスオートメーションで 液体の微小流量の測定・監視ができる！ 流量センサー 株式会社 マクニカ アルティマカンパニー © Macnica, Inc. 1
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液体流量を より高精度に、より微少な量を測定してみませんか？ ⚫ 温度・湿度は様々な場面で計測・自動制御が進んでいます ⚫ 昨今、微少量の液体を塗布する工程や洗浄する工程など、様々な場面で 液体の流量の自動制御が求められる場面があります ⚫ 微小な量の液体の測定は少しの誤差で大きく量が変わるため、精度が重 要であり、的確な液量を流す必要があります © Macnica, Inc. 2
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流量センシングの必要性 • 近年、生産工程の自動化による自動制御が求められる 自動化 • 流量センシングにより正確な流量のFB・制御が可能 • 少しの量の違いで大きな誤差になるため、正確性が必要 微量センシング • 流量過多・過少による無駄なコストや品質低下を防止 • 産業機器分野だけでなく、医療やバイオ分野の研究など、 幅広い活躍範囲 信頼性が重要な幅広い範囲で使用されている © Macnica, Inc. 2022/11/1 3
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市場使用例 ⚫ 産業機器・プロセスオートメーション分野 ◦ 産業機械での様々な薬液塗布・洗浄剤/抗菌剤などの塗布装置 ◦ 半導体製造機器などのレジスト塗布装置 ⚫ 医療・バイオ分野 ◦ 試薬・香料などの微少流量の塗布装置 ◦ 試薬合成などの送液管理 ◦ 洗浄剤/抗菌剤などの塗布装置 © Macnica, Inc. 4
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流量センサーをもつセンシリオン社 © Macnica, Inc. 5
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センサーソリューションリーディングカンパニー 特徴 ◦ 1998年にスイス連邦工科大学 チューリッヒ校からスピンオフ ◦ 温湿度・ガス・液体フローの測定/制御用センサーや補正アルゴリズムを提供 ◦ 温湿度センサー WWシェア#1 ◦ 自動車・医療機器・ビル空調・白物家電など、様々な産業分野で実績あり ◦ CMOSens?という革新的なMEMS技術を保有 センサーラインナップ 流量センシング 低流量における高精度流量センシングを可能にします (センサー部非接触にてnl～mlオーダーセンシング) © Macnica, Inc. 6
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SENSIRION液体流量センサーの特長 低流量域での類のない感度 ▪ 安全性 ▪ 液体流路の間に通すのみ。流路に稼働部品はなし ▪ 不活性接液材を使用し、不活性で、適正な化学・生体適合性あり ▪ 安定性 ▪ センサー部は液体と非接触nl/minからml/minの革新的な超低流量を実現 ▪ 高速応答(<50ms) ▪ 信頼性 ▪ 生体医療,半導体製造,産業自動化アプリケーションでの成功実績あり ▪ 全数、完全出荷校正済品 50 nl/min Sensirion Liquid Flow Rates 300 ml/min Drinking Mosquito Drug Injection Espresso Machine ca. 10 μl/min ca. 5 ml/min c©a. 5M00amcnl/imcian, Inc. © Copyright Sensirion AG, Switzerland
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各種流量センサーラインナップ © Macnica, Inc. 8
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スタンドアロン液体流量センサー SLxシリーズ概要 SLx スタンドアロン液体流量センサー ▪ 低流量での優れた感度 ▪ 頑丈なデザイン、IPxxプロテクションハウジング (防水) ▪ モジュラーインターフェース (USB, RS485, アナログ(0-10V, 4-20mA)) ▪ 産機向けアプリケーション、生産設備に使用もしくは流量の リファレンスデバイス ▪ 流量 0.08 uL / min - 120 mL / min スタンドアロンのため、チューブやケーブルを繋げるだけで 直ぐに利用可能 ※液種により一部設定あり © Copyright Sensirion AG, Switzerland © Macnica, Inc.
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© Macnica, Inc. 10
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LxコンパクトOEM液体流量センサー Features 特長 ▪ LS32, LG16, LPG10, LD20 series ▪ I2Cデジタル出力、PCBコネクター ▪ EI.LPG10接続、LD20コンタクトパッド LG16 ▪ コンパクトフォームファクター LS32 OEM Applications ▪ 診断装置 ▪ LD20大量生産向け(ディスポーザブル) 生体医療向けアプリケーション LPG10 LD20 © Copyright Sensirion AG, Switzerland © Macnica, Inc.
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一般生産機器対応OEM 流量センサー センサー LG16-0430 LG16-1000 LG16-2000 LS32 - 1500 最大流量(IPA) 0.5ml/min 10ml/min 80ml/min 最大流量 (H2O) 0.08ml/min 1ml/min 5ml/min 40ml/min 測定精度 (H2O) 5% M.V 5% M.V 10% M.V 0.15% FS 0.2% FS 0.25% FS 繰り返し精度 0.5% M.V 0.5% M.V 1% M.V 0.01% FS 0.02% FS 0.025% FS (H2O) 配管 石英ガラス ホウケイ酸ガラス SUS 904L フィッティング PEEK PEEK / FEP PEEK / PTFE /シーリング 配管内径 0.43mm 1mm 2mm 1.5mm © Copyright Sensirion AG, Switzerland © Macnica, Inc.
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SLF3S-1300F OEM量産向け ▪ 線形化処理、温度補償、校正済みのデジタル出力信号(I2C) ▪ 最大流量(水系)：40 ml /min ▪ ターンダウン比：200：1 以上 ▪ 応答速度：20 ms 以下 ▪ 双方向測定、リアルタイム異常検知 ▪ ¼″-28のフラットボトムポートと標準コネクターにより容易に流体的/電気的接続が可能 ▪ ストレート配管かつ非閉塞な流路形状で可動部品なし ▪ 媒体(体液) から隔離したセンシング原理、流体と非接触 ▪ 小型で軽量なフォームファクター （48 x 16 x 9 mm , 3.0 g） © Copyright Sensirion AG, Switzerland © Macnica, Inc.
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使い捨て液体流量センサー LD20 バイオメディカル用途 ▪ 使い捨て用途可能な安価なセンサー ▪ 完全校正済みリニア特性出力のデジタル出力(I2C) ▪ 流路に機構パーツ無し ▪ 接液部材はメディカルグレード、センサーチップは非接触 ▪ 継手：ルアーロックあるいはタケノコ形状 © Copyright Sensirion AG, Switzerland © Macnica, Inc.
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https://sensirion.com/media/documents/9FA00DC9/628C76C8/SE_A4_Liquid_Flow_Brochure_EN_cmyk_web1.pdf © Macnica, Inc.
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評価用ソフト センサーを付属のケーブルでWindows PCに接続するだけで流量の測定が行えます。 Confidential © Copyright Sensirion AG, Switzerland
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© Macnica, Inc. 17