サーッと動いてピタリと位置決め 最高速度250mm/sで真空でも使える10nm精度の超音波モータのご紹介
10nmのステップ分解能
AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
制限のない可動範囲
高い応答性
4～32Nの抜群の駆動力
電力なしで3.5～28Nの静止保持力
1.4x10-8Pa（10-10torr）までの高真空対応
電磁場を発生させない
回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
HRモータはイスラエルにあるNANOMOTION社の超音波モータです。
世界で広く使われており、医療機器（MRIなど）、光学機器（レーザ関連やスタビライザなど）、半導体製造装置（搬送装置）、顕微鏡（電子顕微鏡や生理学分野）、軍用、低軌道衛星（画像安定化）の分野で利用されています。
国内実績は、半導体製造装置のウェハ搬送部、ウェハ検査装置、電子顕微鏡の微動ステージ、自動車用エンジンの検査装置、その他。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 超音波モータ HRシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 388.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社工苑 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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