四探針方式のシート抵抗測定器の紹介
このカタログについて
| ドキュメント名 | シート抵抗測定器・四探針プローバ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 234.2Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 雄山株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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4PP
Rs measurement system
シート抵抗測定システム
４PP シリーズ
特 徴
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、
ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電
子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
主な機能 各種ラインナップ
■シート抵抗測定
お客様の要望に応えたラインナップを取り揃えております。
0.001 ～ 800KΩ/sq、(OP品: 8E11Ω/sq)
(主なラインナップ)
■測定内容
■ Model280PI: 電動ステージ付き測定機、レシート機能
抵抗率、シート抵抗、膜厚
■ Model280SI: PC、測定ソフトウェア付き、マッピング対応機
■対象サンプル
■ Model280DI: 抵抗測定拡張レンジ (最大8E11ohm/sq)
ソーラーセル
■ Model680 : 化合物ウエハ対応測定機
バルクウエハ、エピ層、金属膜、ポリシリコン等
■ Model333 : 300mmウエハ対応測定機(CtoC対応も可)
■対象サンプル
■ Model1100：大型液晶基板対応機
チップサイズ ～ 300mmウエハ(最大)
■専用ソフトウエア
マッピング機能(最大10000pt以上)
温度補正、トレンドチャート等各種オプション有
■オプション機能
ロボット付き自動機、大型液晶基板対応機など
プローブヘッド
用途に応じて、先端径が異なる5種の
プローブヘッドをラインナップ
・先端径 ： 25 ～ 500μｍ
・圧力レンジ ： 60～200g 【製品に関するお問合せ先】
TEL： 078-304-5178 Email：info4@oyama-company.co.jp
HP： https://www.oyama-web.com/keisoku.html