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このカタログについて
ドキュメント名 | 霜点発生器 G3 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 860.9Kb |
取り扱い企業 | 株式会社テクネ計測 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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霜点発生器
G3
RH Systems 社の G3 霜点発生器には、NIST(アメリカ国立標準技術研究所)にて実証され
た、RHS ハイブリッド 2 温度2圧力システムが採用されています。
G3 霜点発生器は、配管類、圧力レギュレーター、流量レギュレーター、飽和槽を密閉され
た真空チャンバー内に封じ込めた低湿度発生器です。
⚫ 極低露点-120 °C FP ~ +10 °C DP
⚫ 真空断熱/絶縁飽和槽とコントロールバルブ
⚫ 電源 100-240 VAC、50-60 Hz
⚫ ハイブリッド2温度2圧力法による、超高精度の露点発生
⚫ デュアル・フロンフリー・クライオクーラー(極低温冷却器)
⚫ 1~3個の独立した流量制御ガス出力ライン
特徴
RHSハイブリッド 2温度 2圧力法原理
ハイブリッド霜点発生器は、2温度2圧力の湿度発生原理の特徴を組み合わせたものです。これらの原理を利用することで、昇圧
したガスの流れは、所定の飽和温度で水の液相または固相に対して飽和します。飽和槽の温度は、キャリアガスに混入される水
蒸気の量を決定する主な要因です。また飽和槽内の圧力は、混合ガスのキャリアガス量を決定する主な要因です。飽和槽から出
ると、加湿されたガスの流れ(キャリアガスと混合された水蒸気から成る)は、より低い圧力まで膨張され、被試験装置(DUT)
などの使用地点で別の温度に温められます。飽和槽内の圧力値と温度、および膨張後の圧力と温度(一般的にDUTにおいて)は
ガスの流れの湿度を決定するために使用されます。湿度は、飽和槽内の温度と圧力の調整により正確に制御されます。
G3霜点発生器とは
フリー
配管類、圧力レギュレーター、流量レギュレーター、
ピストン
クーラー 飽和槽を密閉された真空チャンバー内に封じ込めた低
湿度発生器です。真空チャンバーを使用することで、
大気中の水蒸気の浸透をなくし、熱的に制御されたコ
ンポーネントやその周辺に断熱材を使用する必要がな
くなります。
さらに、スターリングクライオクーラー(正確には
フリーピストンスターリングクーラー)が飽和槽の
真空チャンバー 冷却に使用されます。
上部温度計 Tsu
従来の設計に比べ、G3 は浸透効果の低減、断熱性の
向上、制御、冷却の高速化、メンテナンスのしやす
下部温度計 Tsl さにより、低湿度下での高精度と高性能が実現して
飽和槽
います。
複数の流量制御出力
G3 は最大 3 つの独立した流量制御ガス出力ラインを提
供します。各出口は最大 5L/min の流量に対応でき、合
フリー 計流量は最大 10L/min となります。
ピストン
クーラー
極低レンジ対応
高い効率の二重極低温冷却器により、G3 は 1PPB 以下
の超低湿度を発生させることができます。
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真空状態が水蒸気の浸透を防ぐ
水蒸気は多くのものを浸透します。特にバルブ、レギュレーター、その他
のガス経路コンポーネント内に見られる、エラストマーやその他のシーリ
ング材を浸透します。G3 では、浸透の影響を受けやすいバルブや部品は、
真空チャンバー内に収納されています。チャンバー内のガス分子が除去さ
れ真空度が高まると、真空チャンバー内の水蒸気も大幅に減少します。こ
れにより、通常浸透しやすい部品の外面から水蒸気が除去され、内部のガ
ス経路の湿度に影響を与えるのを防ぐことができます。
真空断熱
飽和槽は、グラスファイバーやウレタンフォーム、その他の遮熱材といっ
た標準的な断熱技術ではなく、高真空チャンバーの中心に設置されます。
熱エネルギーを伝達する分子が存在しない真空チャンバーは、優れた断熱
効果を発揮します。そのため、遮熱材を追加するのではなく、真空を利用
して分子の相互作用を制限することで熱伝導を防いでいます。
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技術仕様
発生湿度出力:
測定範囲(蒸気濃度) <1ppb ~ 12,000 ppm
温度範囲(霜点・露点) -120 °C FP ~ +10 °C DP
温度安定性(霜点・露点) ±0.05 °C
温度精度(霜点・露点) ±0.1 °C (FP > -80 °C)
発生流量出力(ガス流量):
範囲(出力あたり) 1~3 アウトプット、各 0~5 SL/min
範囲(合計) 0 ~ 10 SL/min
精度 ±0.2 SL/min
安定性 ±0.1 SL/min
温度:
飽和温度制御範囲 -120 °C ~ +20 °C
飽和温度制御精度 ±0.05 °C
飽和温度制御安定性 ±0.03 °C
制御温度計接続 2つの外部温度計接続
測定精度 ±0.05 °C
プローブタイプ Pt100、4 線式
圧力:
飽和圧力制御範囲 常温~1 MPa (150 psia)
飽和圧力精度 ±0.05% FS
試験圧力測定範囲 0.07 ~ 0.12 MPa (11 ~ 17 psia)
試験圧力精度 ±0.05% FS
ユーティリティ条件:
ガス供給 0.3 ~ 1MPa @ 10 SL/min 最大圧力 3 MPa
ガスタイプ 乾燥空気または窒素
供給電圧 100-240 VAC、50/60 Hz、単相
消費電力 1.5 kW
環境条件:
動作温度 +15 °C ~ +40 °C
保管温度 0 °C ~ 50 °C
湿度 10~95 %RH(結露なきこと)
重量と寸法:
高さ 1.2 m
幅 0.8 m
奥行き 0.8 m
輸送重量 318 kg
本カタログは予告なく変更する場合があります。
株式会社テクネ計測
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