米国 Neutronics 社製 ジルコニア式酸素濃度計 (PPM モデル)
MODEL 3100
Model3100 は、応答速度の速いジルコニア酸素センサーと
0.1 ppm～100 %の測定範囲を特徴とした小型酸素計で
す。堅牢な設計のセンサーにより酸素濃度の大きな変換に
迅速対し、空気にさらしてから数秒以内に ppm 濃度を正
確に測定することができます。応答速、高精度の
Model3100 は、様々なガスの測定および重要なプロセス制
御の用途に最適です。
本体
コンパクトなパネルマウント型ですので、盤面への設置またはデスクトップとして机上に置き使用することが可能で
す。RSM と組み合わせて使用します。3/4 インチ 4 桁 LED により酸素濃度が見易く、表面の 3 つのボタンから校正
などの各種操作を容易に行うことができます。デジタル出力・アナログ出力・アラーム接点を備え、ユーザー様の各
種ご要望を満たすことができます。
RSM (リモートセンサーモジュール)
サンプリング配管を通して RSM に接続し酸素濃度を測定します。本体と組み合わせて使用します。RSM には、高応
答速・⾧寿命のジルコニア式センサー ZR100 が内蔵されております。大気から ppm レンジまで 10 秒以下という
高応答速で測定します。また、負圧環境での測定の場合オプションでポンプを内蔵することも可能です。電源、接
続、ポンプの有無の異なる 7 機種から選定頂けます。
主な用途
グローブボックス
不活性ガス純度/窒素純度システム
ドライヤー
半導体製造
特徴
コンパクト・モジュラ－タイプ分析計小型で機器組込容易
大きく明るいＬＥＤ、操作が簡単
モニタのインターフェース ＲＳ２３２、電流出力、電圧出力、レンジ選択電圧出力
アラ－ム出力（上限・下限・システムフォルト）
リモートセンサーユニット
⾧寿命のジルコニアオキサイドセンサ
エアーから ppm レベルまで１０秒以内、高速応答
ppm レベル～１００％まで測定可能
ジルコニア式センサー ZR100
Neutronics 社製のジルコニウム式 ZR100 センサーは、非常に速い応答速、幅広い測
定範囲、および堅牢な設計を特徴とするセラミック製のセンサーです。 他のセンサー
とは異なり、ZrO2 センサーは酸素分子を吸収しません。 これにより、酸素への応答
が非常に速くなり、大気からの ppm レベルを 10 秒以下で測定が可能です。
設置位置や動きの影響を受けにくい堅牢な設計により、上下を逆にしても正確で信頼
性の高い測定が可能です。
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ポンプ（オプション）
Model3100 は動作環境圧力応じて、正圧用(ポンプ非内蔵)モデルと負圧用(ポンプ内蔵)モデルを選定頂けます。正圧
用モデルは、0.03Mpa 以上の動作圧力用に設計されております。負圧用モデルは、ダイアフラムポンプを使用し負圧
環境から測定ガスを取り込み、測定可能です。
負圧用(ポンプ内蔵)モデル 正圧用(ポンプ非内蔵)モデル
外形図
本体 正面図 側面図
背面図
リモートセンサーモジュール
正面図 側面図
背面図
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端子図
上段:DC電源
下段:AC電源
型式選定
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技術仕様
測定仕様
測定範囲 0 ～ 10 ppm / 0 ～ 100 ppm / 0 ～ 1000 ppm / 0 ～ 10000 ppm
0 ～ 10 % / 0 ～ 100 % / オートレンジ
センサー ジルコニア式センサーZR100
測定精度 ±2 ％フルスケール または ± 0.5 ppm (大きい方)
応答速 10 秒以下（90 %）
起動時間 本体:起動 10 分 熱平衡 60 分
RSM:起動 20～30 分
センサー平均寿命 5～7 年
出力仕様
アナログ出力（電流） 4-20 mA / 12 VDC
アナログ出力（電圧） 0-1 V / 0-5 V / 0-10 V のいずれか
アラーム出力 C 接点 2 点
B 接点 1 点 システムフォルト用
デジタル出力 RS-232
一般仕様
電源 本体:90-264VAC または 24 VDC（購入時に指定）RSM:選定による
動作温度 0～40 ℃
動作湿度 0～95 ％ 結露なきこと
動作圧力（RSM）（負圧用） 0.03 MPaA ～ 0.04 MPaA
（正圧用） 0.04 MPaG ～ 0.41 MPaG
表示 3/4 インチ４桁 LED
状態表示 LED:測定、故障、アラーム１、アラーム２
接ガス部材質 SUS 316
耐環境性 （RSM） NEMA 4、IP66
（本体） NEMA 1、IP20
外形寸法 本体:W178×H95×Ｄ96 mm
RSM:W137×H155×D234 mm
重量 本体:0.9 kg
RSM:3.8 kg
以上
本カタログは予告なく変更する場合があります。
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