腐食性ガス中連続水分分析計
iTMA シリーズ
iTMA シリーズは、腐食性ガス中の水分のインライン測定が
可能です。
0-2500 ppm の範囲を最高精度±0.3 ppm で測定します。
レーザー式と比較して 1/4 程度の価格を実現し、また
メンテナンスもユーザー様にて定期的にリン酸を塗布するだけ
ですので、導入コストおよびメンテナンスコストを大幅に
削減します。
主な用途
■ 腐食性ガス製造工程 ■ ポリエチレンの製造工程
■ 半導体産業における腐食性ガス純度の管理 ■ 熱処理炉内の水分管理
■ 塩素乾燥装置 ■ 溶接工程における Ar,He 中水分管理
■ 冷媒中の水分管理 ■ CO2 乾燥、ドライアイス製造工程
■ 医療用酸素ガス中の水分管理
測定対象ガス
iTMAシリーズ水分分析計は不活性ガス中の水分計測に加え、これまで計測が難しかった腐食性ガス中の水分濃度を
ppm単位で測定することを可能としました。測定可能なガスは広範囲にわたります。主なものは以下の通りです。
Cl2 HCl H2S SF6 H2SO4 SO2 HBr CO2
Ar N2 H2 He D2 O2 C2H2 炭化水素 PH3 フロン 等
動作原理
iTMA シリーズ水分分析計 は 五酸化リン式 (電解式)水分分析の原理を利用し
ております。
(1)リン酸は電気分解によって五酸化リン・水素及び酸素を発生する。
4H3PO4 → 2P2O5 +6H2 +3O2
(2)五酸化リンは水を吸収する。
2P2O5 + 6H2O → 4H3PO4
センサーはガラスでできておりその周りに白金(オプションでロジウム)が
らせん状に巻かれています。電極の間に塗布されたリン酸(H3P04)が電気分解
することによって五酸化リン・水素・酸素を発生します。生成した五酸化リンが吸収する水の量と生成した水素と酸
素の量はつりあうためファラデーの法則 (電気分解された物質の量は流れた電気量に比例する)を基に水分量を計測し
ます。
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本体
デスクトップ型 19”ラックマウント型 ポータブル型
ユーザー様の設置環境により、デスクトップ型、19”ラックマウント型、ポータブル型から選定できます。
日本語を含む多言語表示にも対応しております。ppm 表示に加え露点の同時表示や LAN 接続も可能です。
測定レンジ・アラーム設定、USB データロギング設定等、全ての設定を前面のタッチパネルより操作できます。
本体背部にはアナログ出力(0/4-20ｍA 0-10V)、無電圧リレー接点を標準で装備しており、オプションによりツェナ
ーバリヤの内蔵が可能です。
センサー
お客様のサンプルガスに合わせて、センサーの材質を選定することが可能
です。腐食に非常に強いハステロイやステンレスからお選びください。ま
た電極にはプラチナまたはロジウムが採用されており、腐食対策は万全で
す。リン酸が消耗した場合にはお客様ご自身で塗り直すことが可能で、ま
た汚れや付着物によるトラブルの際にも洗浄することで復帰が可能ですの
で、設備のダウンタイムを最小限にすることが出来ます。シンプルな構造
で、非常に強靭なセンサーです。
iTMA 腐食性ガス中連続水分分析計 型番選定表
■本体 ■センサー
本体 仕 様 型番 筐体材質 電極材質 流量 型番
標準型 デスクトッ プ TMA-210 ハステロイ プラチナ 100 L/h TMS-H/P/100
(100 L/h) 19”ラックマウント TMA-210-19” ロジウム TMS-H-R-100
ポータブル TMA-210-P プラチナ 20 L/h TMS-H/P/20-F
小流量型 デスクトップ TMA-204 ロジウム TMS-H-R-20-F
(20 L/h) 19”ラックマウント TMA-204-19” SUS プラチナ 100 L/h TMS-SS/P/100
ポータブル TMA-204-P ロジウム TMS-SS-R-100
※3m ケーブル付属 プラチナ 20 L/h TMS-SS/P/20-F
ロジウム TMS-SS-R-20-F
※標準 O リング:バイトン
オプション 型番 備考
ツェナバリヤ TMA-210/ZB、TMA-204/ZB バ リヤを本体に内蔵します
アイソレート出力 TMA-210/ISO、TMA-204/ISO
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ケーブル延⾧ TMS-SC-ADD 最⾧ 300m まで可能、コネクタ互換性有要センサ材質確認
O リング TMS-OR-FKM バイトン
(材質選択可) TMS-OR-FEP FEP
TMS-OR-Kalrez カルレッツ
リン酸 TMW-ELO 150 ml
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技術仕様
本体仕様
測定範囲 0-10 ppm/v, 0-100 ppm/v, 0-1000 ppm/v, 0-2500 ppm/v, 0-5000 ppm/v(サービス用)
分解能 FS±0.1 %
出力 0/4～20 mA, 0～10 V 無電圧リレー接点 RS-232C
表示 LCD タッチパネル
校正 ゼロ点、スパンの自動校正
電源 80-230 VAC、50/60 Hz(8W)
使用環境温度 5～50 ℃
保護等級 IP20、IP54(ポータブル型のケース)
重量 デスクトップ型:約 6 kg 19”ラックマウント型、ポータブル型:約 5 kg
保証 1 年間
センサー仕様
流量 標準 100 SL/h、20 SL/h 選定可
使用圧力 0.1～1.5barg(大気圧推奨)
使用環境温度 +5～+50 ℃
ガス温度 +5～+50 ℃
応答速度 50％応答 8 秒
精度 FS±1 %(0-10 ppm レンジ±3 %)
ケーブル 3m シールド線、防水コネクタ
サイズ 直径 43 mm、高さ 120 ｍｍ
重量 1.2 kg
接ガス部 6 mmSwegelok (1/4”オプション)
検知部材質 ガラス
筐体材質 SUS316、ハステロイ 他
電極材質 プラチナ、ロジウムより選択
O リング バイトン(カルレッツ、FEP オプション)
付属品
取扱説明書 センサーケーブル 3m 試験成績書（オプション）
サービスキット アナログ出力ケーブル 校正証明書および
リン酸 60ml 電源ケーブル トレーサビリティ体系図（オプション）
設置方法
センサーを通過するガスの流量は測定に影響しますので、100sL/h (= 1.67sL/min)に流量を調整してください。
この調整の為、ニードル弁付流量計をセンサー入口前に設置するか、ニードル弁を入口前、流量計を出口後に設置し
て下さい。流量計は出口後に設置が望ましく、これにより流量計に付着する水分のパージ時間が不要になります。
サンプルガス OUT
流量計
サンプルガス IN
ニードルバルブ付き iTMA センサ―
流量計
iTMA センサ―
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外形図
■デスクトップ型
正面図 側面図 背面図
■19”ラックマウント型
正面図 側面図 背面図
■ポータブル型
正面図 側面図 背面図
■センサー
ケーブル接続
Swagelok６ｍｍ（オプション 1/4”）
2022/06 版数 1 本カタログは予告なく変更する場合があります。
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