絶縁ガスSF6向け 　鏡面冷却式露点・純度計MBW973-SF6

高精度ミラー式ポータブル露点計・SF6 純度計 MODEL 973-SF6 SF6 純度測定 水分・露点測定 SO2測定 ORIS 機能 ■ ス ポ ッ ト チ ェ ッ ク に Application ■ SF６ガス内露点管理 ■ ガス変圧器・ガス遮断器 ■ ガス絶縁開閉装置 ■ 半導体・液晶パネルのドライエッチング工程 露点・SF6純度計 MBW973-SF6 ■ SF6 ガス回収リサイクル 仕様 973-SF6 外形寸法（単位 mm） - 50～+20℃ 露点 ppmV ： 40～20,000ppmV ppmW： 5～ 2,500ppmW 測定範囲 SF6 純度 80～100％ SO2 濃度*) 0～100ppm または 0～500ppm（電気化学式） 圧力 0.12MPa～1MPa (絶対圧) 露点 ±0.5℃ ppm:±1ppm+読値の 6% SF6 純度 ±0.5％ 測定精度 SO2 濃度 フルスケールの±2% 圧力 ±3kPa 露点センサー 鏡面冷却（ミラー）式、3 ステージ、空冷方式 測定方式 温度センサー 白金測温抵抗体(Pt-100) ORIS 機能 あり 表示部 5.7 インチタッチパネル デジタル出力 RS-232 本体ロギング機能内蔵 接ガス部材質 SUS316L, FEP サンプリング シリンダ容量 1.5L ポンプ能力 最大 900kPa -10～+40℃/最大 98％RH(結露のなきこと） 動作環境 動作圧力：20 kPa ~ 900 kPa G （温度／湿度） 動作標高：最高 2000m 保管温度 -20～+50℃ 電 源 100～120VAC または 200～240VAC, 50/60Hz 万全の環境対策 消費電力 200W 機器本体 420Wｘ155Hｘ390D(mm)/ 16.5kg サイズ/ 650Wｘ370Hｘ510D(mm) 重量 ケース保管時 シリンダを内蔵し SF6ガスの大気放出をゼロに / 32kg (機器重量を含む) 付 属 品 ペリカンケース（キャスター･ハンドル付） ＊）オプション 測定時間約５分 SF6ガスの測定量を最小限に ■サンプリング関連オプション：外付チューブ→SUS 外装 PTFE チューブ(6m)、接続配 管→Swagelok QM シリーズによるクイック接続、外部接続→DN20 (VK/F-02/20)また は DN 8 (VK/F-02/8) 日本語対応 ミラー式露点計ラインナップ MODEL 373 シリーズ MODEL473 MODEL573 シリーズ MODEL973 露点-95℃～+95℃dp 露点-50℃～+99℃dp 露点-60℃～+95℃dp 露点-75℃～+20℃dp 株式会社テクネ計測 □本社 〒213-0002 神奈川県川崎市高津区二子 6-14-10 TEL：044-379-3697 FAX：044-379-4105 □大阪 〒530-0044 大阪府大阪市北区東天満 2-9-4 TEL：06-6809-6565 FAX：06-6809-6566 □福岡 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東 2-17-5 A.R.K ビル 201A TEL：092-477-7330 FAX：092-477-7311 URL：http://www.tekhne.co.jp Mail：info@tekhne.co.jp

世界で、日本で MBWの鏡面冷却式露点計が選ばれている理由 動作原理 MBW とは - 世界各国の湿度スタンダード - ミラー式の測定原理は次のようなものです。まずペルチェ素子によって正確に温度制御され た鏡面 に光を照射し、その反射光の強さを受光部にて測定します。鏡面は清浄で結露がなけ MBW は 1962 年設立、スイスに拠点を持つ露点計のメーカーです。 れば、光を最大限に反射します。この鏡面に結露が生じると光は分散されるので、反射光は MBW の露点計は、世界的に最高レベルの信頼を得ている高性能・高精度な鏡面冷却式(ミラー式)露点計です。故に、世界主要 減少します。ペルチェ素子が更に鏡面温度を冷却すると、結露する量は増えていき反射光も 各国で湿度の国家標準として同社露点計が採用されています。 減少していきますが、ある温度に達すると周囲のガス内に含まれる水分量と平衡に達して、 結露の量が変化しなくなります。この状態での鏡面温度を計測することで、露点・SF6 純度 MBW を国家標準器として採用する主な機関 米国 NIST を測定することができます。水の状態で結露している時は露点、氷の状態で結露している時 は霜点になります。 スペイン INTA フィンランド CMA スイス METAS 英国 NPL シンガポール SPRING フランス CETIAT NMIJ（産業総合研究所 計量標準センター） 自動ミラーチェック機能 オランダ NMI イタリア IMGC 他多数 ドイツ PTB ミラー上にゴミが残っていても、その影響の大きさを数値化 し補正するのが自動ミラーチェック機能です。ミラーを加熱 万全の環境対策－大気放出ゼロを実現！SF6 ガス回収機能 し露または霜を取り除き、残ったゴミの量を見積もって補正 を行います。お客様が設定された間隔で周期的に行うことも SF6 ガス(六フッ化硫黄ガス, sulfur hexafluoride) は、京都議定書で削減目標が定 可能ですし、ミラーの状態を確認したいときに手動で行うこ められた温室効果ガスです。地球温暖化対策基本法案でもフロン類等のガスの使用 とも可能です。残ったゴミの量はディスプレイに表示されま 抑制が義務付けられており、ヨーロッパ等では厳しい法規制の下、取り扱われてい すので、常にミラーの汚れ具合を把握できます。 ます。MBW973-SF6 は機器内にガス収集シリンダ、ポンプバック機能を装備して いますので、SF6 ガスを大気に放出することなく、容易に且つ短時間で測定を行う ことができます。様々な測定環境においてゼロエミッションを達成します。 フルカラータッチパネル フルカラー高解像度液晶ディスプレイ、多機能のタッチパネルを装備しており MBW973-SF6 のガス回収機能による MBW973 現行方式 -SF6 (NK-I) コスト削減効果により 3 年で回収 ます。明暗を強調したワイド画面、大きく読み易いフォントにより、快適な操 作性をお約束します。画面上に表示されたボタンやメニューを選択すること で、湿度、温度、および圧力を様々な単位で表示させることができます。数値 表示とグラフ表示の切替も可能で、ユーザーカスタマイズも可能です。 MBW973-SF6 と現行方式とのコスト比較 （現行方式：静電容量式露点計ユニット NK-I） 日本語表示バージョンあり SO2 測定オプション ガスの流れ ガスの流れ SF6 ガスは水分と反応することにより、HF ガス、SO2 ガスを精製します。MBW 973- MBW973-SF6 内部写真 SF6 では、0～100ppm または 0～500ppm の範囲において SO2 を測定することが可能 ポンプ です。センサーは電気化学式セルを使用し、フルスケールの±2％の精度での測定が可能 です。 測 定 時 測 定 後 タンク 測定中のガスはセンサー部を通過した後、内部に 測定後は 4 電磁弁によりラインを切替え、内蔵の 装備された収集シリンダに蓄積されていきます。 ポンプによってサンプルガスを供給元に戻すか、 別のボンベ等の容器に移すことができます。 REFLECTING YOUR STANDARDS