半導体製造装置向けコネクタ

® ® 半導体製造装置用コネクタ 高真空、耐高温/耐熱性、小型コネクタ ○高密度 ○小型同軸 ○非磁性 ○高電圧シールドコネクタ：最大 50kVDC 対応 ○信頼性の高い真空気密レセプタクルと 　真空フィードスルーカプラ -7 -8 　真空（気密）、He漏れ率：1x10 mbar.ℓ/s (1x10 Pa. ㎥ /s). 以下 　まで対応可能 ○耐高温 /耐熱性 　（非防水モデル：～ 250℃、防水モデル：～ 200℃動作可能）

INNOVATIVE CONNECTION SOLUTIONS FOR SEMICONDUCTOR INDUSTRY The only limit is imagination レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で 20 年以上の実績を持っています。 LEMO の丸型コネクタはプッシュプルセルフラッチングシステムの採用により、小型化、 ワンタッチでのすばやい嵌合・脱着を可能とします。振動、引っ張り、ねじれ、衝撃などに さらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、狭い場所での作業や短時間での作業等に 特に有効に働いています。 このような LEMO コネクタですが、その特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置 といった幅広いレンジの装置で数多くのモデルが半導体製造装置でご使用いただいております。 我々のコネクタは特に下記の様な機能を提供出来る性能でお客様のご支持をいただいております。 ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。 - 高密度 - 小型同軸 - 高電圧シールドコネクタ - 信頼性の高い真空気密レセプタクルと 　真空フィードスルーカプラー - 耐高温 / 耐熱性

INNOVATIVE CONNECTION SOLUTIONS FOR SEMICONDUCTOR 内　　容 主なアプリケーション分野 主なコネクタシリーズ Bシリーズ 　レモの高密集コンタクトコネクタはアプリケーションの省スペース、装置 スパッタリング装置 高 の小型化と関連コストの最適化を可能とします。 ドライエッチング装置 密 度 標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を　 露光装置用温度測定器 Sシリーズ提供出来ます。これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタ クトを同一コネクタ内に複合化出来ます。 露光装置用測長器 　レモ社は、最大 50kVDC までの様々なタイプの高電圧コネクタを提供し Yシリーズイオン注入装置 高 ています。 電 当社のラインナップには、単極シールドコネクタ（同軸型ケーブル用）だ 高電圧・高周波電源装置 けでなく、多極高電圧ソリューション（最大 21 極）と複合構成があります。 圧 PZT駆動装置高電圧ケーブル（UL対応品もご利用いただけます）とケーブルアセンブリ を含む完全な接続ソリューションを提供出来ます。 測長SEM他検査測定装置 　レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルー　　 Bシリーズ カプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供 ウェハハンドリング 真 可能であり、標準型タイプでは 80℃までの温度で使用可能です。 セラミックヒータ 空 高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品とし 電子ビーム描画装置 て提供出来ます。 Sシリーズ He 漏れ率は 1x10-7 mbar.l/s (1x10-8 Pa. ㎥ /s). 以下です。より低い漏れ率 真空チャンバー　 が必要な場合は、He漏れ率 1x10-9 mbar.l/s (1x10-10 Pa. ㎥ /s) 以下の　特 測長SEM他検査測定装置 別セラミックシールのソリューションを提供出来ます。 Bシリーズ 　レモ標準コネクタは、250℃まで（非防水モデルの場合）、防水モデルの セラミックヒータ 場合は最高 200℃までの温度で動作可能です。 高 ドライエッチング装置 温 有機ケーブルジャケットが問題となる可能性のあるアプリケーションでは、 当社のビジネスパートナーを通じて幅広いMI（無機絶縁）ケーブルを　　 マスフローコントローラ Sシリーズ 提供することができます。 モールド装置 カスタムソリューションでは、300℃までの温度での使用が可能です。 露光装置光源 　LEMOの 00.250 シリーズ、01.250 シリーズは 50Ωの同軸コネクタです。 00＆01シリーズ 小 LEMOが開発したセルフラッチングシステムを使用し、軸方向の抜き差し 型 だけですばやく確実な挿抜が可能です。従来の BNCコネクタに比べて直径で約半分のサイズとなっており、加えて着脱に捻り等の動作を必要としな 同 各種センサいため、限られたスペースに多くのソケットの設置が可能となります。　 軸 （00.250 シリーズで 10cm平方あたりソケット 50個を実装可能！） 電子ビーム描画装置 半導体分野では検査装置での測定信号のコネクションに多く採用されて　 測長 SEM他検査測定装置 います。 標準的なクロムメッキバージョンに加えて、金メッキのモデルは、非磁性 PZT 駆動装置 を要求されるアプリケーションに対応出来ます。 お客様のニーズに合わせて幅広いソリューション（フィードスルー、PCB レセプタクル、EMCの改善など）を提供することができます。 非磁性金メッキモデル

® ® 製品情報 Bシリーズ Sシリーズ Ｋシリーズ シ リ 標準セルフラッチ 半月形インシュレータ使用 多極セルフラッチ防水コネクタ ー 多極アライメントキー付コネクタ 標準セルフラッチ アライメントキー溝付、 ズ 内 多極コネクタ 悪条件下に耐えるハウジング 容 コ • 多極 2 ～ 64 ﾋﾟﾝ • 単極 • 多極 2 ～ 64 ﾋﾟﾝ ン • 多極、 及び複合 ： 　 • 同軸 50 Ω 75 Ω • 多極、 及び複合 ： 　 タ 同軸 1-14 コンタクト • 多極 2 ～ 106 ﾋﾟﾝ 　同軸 1-14 コンタクト ク 流体 1-14 コンタクト • 三同軸 50 Ω 75 Ω 　流体 1-14 コンタクト ト 高電圧 2-21 コンタクト • 高電圧 　高電圧 1-21 コンタクト 構 光ファイバ 1-14 コンタクト • 多極、 及び複合 ： 　光ファイバ 1-14 コンタクト 成 • 熱電対 2-64 コンタクト 同軸 1-8 コンタクト • 光ファイバ• 光ファイバ 高電圧 2-8 コンタクト • 熱電対 2-64 コンタクト • 流体 • 熱電対 2-6 コンタクト • 流体 • プッシュプルセルフラッチング • プッシュプルセルフラッチング • プッシュプルセルフラッチング • 8 サイズ • 8 サイズ • 6 サイズ • 13 アライメントキーオプション • 半月形インサート多極 • 9 アライメントキーオプション 主 • 9 カラーコード • 9 カラーコード • 28 以上のシェルタイプ な • 60 以上のシェルタイプ • 50 以上のシェルタイプ • UL 認定 特 • UL 認定 • UL 認定 • 温度範囲 -55°C - 200°C 徴 • 温度範囲 -55°C - 250°C • 温度範囲 -55°C - 250°C • ハンダ、 クリンプ、 プリント基板 • ハンダ、 クリンプ、 プリント基板 • ハンダ、 クリンプ、 プリント基板 コンタクト コンタクト コンタクト • EMC シールド • EMC シールド • EMC シールド > 95dB at 10Mhz > 75dB at 10Mhz > 75dB at 10Mhz > 80dB at 1 Ghz > 40dB at 1 Ghz > 40dB at 1 Ghz • IP50 • IP66 / IP68 • Cable ø 1 - 25 mm • IP50 • Cable ø 1 - 23.5 mm • Cable ø 1 - 30 mm Ｅシリーズ Yシリーズ 00 & 01シリーズ シ リ 半月形インシュレータ使用 使用電圧最大 50kVDC の NIM-CAMAC の標準となった ー 標準セルフラッチ 単極セルフラッチ高電圧コネクタ 50Ω同軸コネクタ ズ 内 防水多極コネクタ 超小型セルフラッチ 50 Ω同軸コネクタ 容 悪条件下に耐えるハウジング コ • 単極 ン • 同軸 50 Ω 75 Ω タ • 多極 2 ～ 106 ﾋﾟﾝ • 単極高電圧コンタクト • 同軸 50 Ω • 三同軸 50 Ω 75 Ω • 三同軸ク ト • 高電 構 • 多極、 及び複合 ： 成 　同軸 1-8 コンタクト　高電圧 1-8 コンタクト • 熱電対 2-6 コンタクト • プッシュプルセルフラッチング • プッシュプルセルフラッチング • プッシュプルセルフラッチング • 7 サイズ • 使用電圧最大 50kVDC • 40 以上のシェルタイプ • 半月形インサート多極 • 3 サイズ • 温度範囲 -55°C - 250°C主 • 22 以上のシェルタイプ • 温度範囲 -55°C - 250°C • EMC シールド な • UL 認定 • ハンダコンタクト > 90dB at 10Mhz 特 • 温度範囲 -55°C - 200°C • 安全ロックオプション > 70dB at 1 Ghz 徴 • ハンダ、 クリンプ、 プリント基板 • ハンダ、 クリンプ、 プリント基板 コンタクト コンタクト • EMC シールド • IP50 > 95dB at 10Mhz • Cable ø 1 - 29 mm > 80dB at 1 Ghz • IP50 • Cable ø 1.5 - 5 mm • IP66 / IP68 • Cable ø 1 - 30 mm ® ® レモ ジャパン株式会社 本社 神戸営業所 〒108-0073　東京都港区三田 2-7-22 〒657-0035　兵庫県神戸市灘区友田町 3-6-15　KHK 灘ビル 2 F TEL：03-5446-5510　FAX：03-5446-5511 TEL：078-846-2002　FAX：078-846-2036 Email：lemoinfo@lemo.co.jp　HP：www.lemo.co.jp date：2018.10.30