液体流量フローセンサー 製品カタログ

液体フローセンサー 最⼩流量でも高精度な測定

革新的な液体フローセンサー技術 当社の液体フローセンサーは、液体の小流量挙動、操作状態および投薬状態をいかなる場所でもモニターできることが重要 であるという新たな基準を打ち立てました。当社のユニークな CMOSens® 技術は、センサー流路の外壁を通して非接触で 液体流量を双方向で数百 ml/min から下は1桁 nL/min の測定を可能にしています。当社の安全かつ信頼性の高いセンサー ソリューションのメリットは、プロセス管理および自動化の技術分野だけではなく、医療機器および診断機器などの分野のア プリケーションに幅広く活用されています。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.com/liquidflow 特許取得済み技術 当社の CMOSens® フローセンサー技術は熱式型マイクロ センサーエレメントに加えて CMOSens® チップには測定 センサーに基づくもので、1 l/min 未満の流量域において データの線形化および温度補償用データとセルフテストア 最も効果を発揮します。本製品のキーエレメントは、セン ルゴリズムが入ったメモリーならびに必要なデジタル信号 サー流路の外壁に取り付けられたデジタル CMOSens® マ 処理回路すべてが集積されています。センサーの接続には イクロチップで、流路壁を通して正確に流量を測定します。 各種デジタル出力 (I2C、RS485、USB) とアナログ出力を 当社の液体フローセンサーは媒体と完全に非接触で、流路 取り揃えています。カスタマイズソリューションの可能なオ に可動部あるいは障害物が一切ありません。当社は世界で プションについては、当社 (info-jp@sensirion.com) まで 最も小型で正確な液体フローセンサーをお客様に提供する お問い合わせください。 ことで、あらゆる産業に渡るデザインやアプリケーションの 創出に貢献しています。また、信頼性および接液部の不活 キャピラリ または 薄いホイル ヒーター 性レベル (耐薬品性) も高いので、医療、ライフサイエンス、 診断装置、半導体、ファクトリーオートメーション、そしてエ ネルギーマネージメントアプリケーションに理想的なセン 液体の流れ サーです。 高速性、⼩型性、信頼性 温度センサー マイクロセンサーチップ フロー測定原理 当社の液体フローセンサーは、特定アプリケーションの OEM センサー開発投資の削減に効果的です。また接液部 チップからのデジタル出力 直線的なフローチャネル 材の不活性レベルが高いので、様々な工程に対し、業界標 準の流体継手は配管への素早い組み立て、ダウンマウント継 手はマニフォールドシステムのコンパクトな取り付けを可能 にします。異なる径の内部キャピラリを使用することによっ て、当社液体フローセンサーは nL から l/min におよぶ流量 内部キャピラリ壁面からの測定 範囲をカバーしています。 マイクロセンサーチップ 液体フローセンサーの内部構造 蚊の吸血 薬物の注入 エスプレッソマシーン 約 10 µl/min 約 5 ml/min 約 250 ml/min nl/min µl/min l/min 当社センサーは、nl/min から l/min までの流量を測定可能です。 より大きな流量が必要な場合はお問い合わせください。

液体フローセンサー　製品紹介 SLF3x シリーズ : 定評ある機能を高 LD20 シリーズ : 必要な位置で最大 SLG シリーズ : 1桁 nl/min までの超 SLI / SLS シリーズ : 当社のフロー LG16 シリーズ / LG01 : 不活性接 LS32-1500 : 堅牢性が高いコンパ コストパフォーマンスで提供します。 1,000 ml/h の液体フロー測定が可能 微⼩流量向けで、最先端の UHPLC ア メーター技術を詰め込んだ保護ハウジ 液材料と超⼩流量に対応する性能を クトなハウジングで構成され、耐薬品 最大 １ l/min までの前例のないター で、直接的で効果的な患者治療を実現 プリケーションのような高圧で⼩流量 ングを持っており、実験や研究、⼯業 備えた LG16 シリーズは、要求の厳 性に優れた接液材料を使⽤しています。 ンダウン比に加え、様々な量産 OEM します。実績ある当社のセンシング技 のダイナミック液体フローモニタリン オートメーションに理想的です。 しい OEM アプリケーションに広く バイオメディカルマーケット以外にも、 アプリケーションにおいて安全性、 術と、バイオテクノロジー、ライフサイ グに最適なソリューションです。 SCC1 センサーケーブル (RS485/アナ 活⽤できます。液体フロースイッチ 最大流量 40 ml/min までの多くのア 安定性、長期信頼性を最大化します。 エンス、⾷品産業分野など大量⽣産に ⽯英ガラスの流路は 1,200 bar まで ログ/USB 出⼒) と組み合わせること の LG01 は、フロー、気泡、漏出な プリケーションに適した信頼性の高い 流体インターフェースは、チューブ 適したディスポーザブル設計を組み 耐えられます。 で、苛酷な環境でも信頼性の高い通信 どを簡単に検知することができます。 ソリューションです。 とダウンマウントタイプがあります。 合わせています。 を可能にします。 出力 nl/min µl/min ml/min l/min モデル フルスケール流量 測定値精度 (H2O) 双方向測定 最大ケーブル長さ 流体コネクターポート 最大耐圧 モデル アナログ RS485 I²C 10 100 1 10 100 1 10 100 1 4”-28 フラットボトム SLF3S-0600F 2000 µl/min H₂O 1/ 2000 µl/min HC 外径 1/16” または 1/8” SLF3S-0600F 5 % チューブ 10 % 12 bar SLF3S-1300F 40 ml/min H₂O 1/4"-28 フラットボトム SLQ-QT500 : 120 ml/min の校正 40 ml/min HC 外径 1/8” チューブ SLF3S-1300F 流量範囲と高純度接液材料 (⽯英ガラ 600 ml/min H₂O ⃝ SLF3S-4000B ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 継手 600 ml/min HC 10% ⽵の⼦ 外径 6 mm チューブ 3 bar SLF3S-4000B ス、PFA) の使⽤により、半導体産業 SLF3S-0600D 2000 µl/min H₂O における要求の厳しい塗布プロセスや、 2000 µl/min HC SLF3S-0600D 5 % 高粘度の液体や粒⼦を含む液体の測定 10 % ダウンマウント 10 bar SLF3S-1300D 40 ml/min H₂O 40 ml/min HC SLF3S-1300D に最適です。 LD20-2600B 1000 ml/h H₂O ⽵の⼦継手 LD20-2600B 5 % ⃝ ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 3 bar LD20-0600L 20 ml/h H₂O ルアーロック LD20-0600L SLG-0025 1.5 µl/min H₂O SLG-0025 10 % bar SLG-0075 5 µl/min H₂O ⃝ 0 ～ 10 V RS485 : 100 m ステンレススチール 1200 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 10-32 コーンドポート SLG-0075 外径 1/16” チューブ SLG-0150 8 µl/min H₂O 5 % 500 bar SLG-0150 SLI-0430 80 µl/min H₂O 500 µl/min HC 50 bar SLI-0430 LPG10 シリーズ : ⼩型フォームファク タで優れたパフォーマンスと高速応答を SLI-1000 1000 µl/min H₂O 5 % ⃝ 0 ～ 10 V RS485 : 100 m 1/4”-28 フラットボトム 10 ml/min HC 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 外径 1/16” または 1/8” SLI-1000 チューブ 12 bar 実現します。⾰新的な設計により、平⾯ SLI-2000 5 ml/min H₂O マイクロ流体ガラス基板上での流量測定 80 ml/min HC SLI-2000 が可能です。ダウンマウント流体ポート LG16-0025 1.5 µl/min H₂O 10 % LG16-0025 200 bar により、マニホールドシステムにコンパ LG16-0150 7 µl/min H₂O UNF6-40 コーンドポート 70 µl/min HC LG16-0150 外径 1/32” チューブ クトに統合できます。 LG16-0430 80 µl/min H₂O 500 µl/min HC ⃝ ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 100 bar LG16-0430 5 % LG16-1000 1 ml/min H₂O 10 ml/min HC LG16-1000 15 bar LG16-2000 5 ml/min H₂O 1/4”-28 フラットボトム LG16-2000 外径 1/16” または 1/8” スイッチレベル： 0 V 表示： 検出レベル未満の チューブ LG01-2000 0.25 ml/min または 10 % ╳ 流量あるいは気泡 SLD3P シリーズ : 最大 5 ml/min まで 4.5 ml/min 5 V 表示：  検出レベル以上の 3 m 3 bar LG01-2000 流量 測定可能な新世代のデジタル液体フロー SLS-1500 40 ml/min H₂O 5 % ⃝ 0 ～ 10 V 100 m 1/4”-28 フラットボトム センサーです。正確な流量測定、⼩型サ 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ RS485 : I ² C : 30 cm 外径 1/8” チューブ 12 bar SLS-1500 イズ、複数の治療法との互換性を兼ね備 LS32-1500 40 ml/min H₂O 5 % ⃝ 0 ～ 10 V /4”-28 フラットボトム 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm 1 外径 1/8” チューブ 12 bar LS32-1500 えており、薬剤送液パッチやインスリン ポンプなど、大量⽣産向け医療機器の理 SLQ-QT105 120 ml/min HC 10 % スーパー 300 タイプピラー フィッティング：4 × 3 mm SLQ-QT105 想的なソリューションとなります。 ⃝ 0 ～ 10 V RS485 : 100 m 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm PFA チューブ 12 bar SLQ-QT500 120 ml/min H₂O 120 ml/min HC 5 % 外径：6.35 mm (1/4”) SLQ-QT500 内径：4.35 mm LPG10-1000 1 ml/min H₂O 5 % ⃝ 0 ～ 10 V 4 ～ 20 mA ⃝ ⃝ I ² C : 30 cm ダウンマウント 3 bar LPG10-1000 校正済み流量：  水 (H2O)   炭化水素 (HC)

評価キット 素早く簡単に初期測定を行えるように、全ての液体フローセンサーは液体フロー評価キットとして注文可能です。評価キッ トには、選択した液体フローセンサーに加えて、ケーブル、流体/電気コネクタ、取付部材など、評価を開始するために必要 なものが全て含まれています。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.com/jp/lf-ek SLF3S 評価キット カスタマイズソリューション 革新的なアイディアは時に新しいソリューションを必要とします。当社のセンサーエキスパートは、当社の技術を通してユ ニークなアプリケーションを考えています。カスタマイズの場合には、測定流量範囲、省スペース、腐食性化学物質への耐 性、低価格に対応し、また大量生産向けディスポーザブルセンサーのデザインにも対応します。 当社の最先端なセンサー技術とユニークな液体フローセンシングの専門性は、これまで様々なお客様のプロジェクトを成 功に導いてきました。最も重要なことは、お客様のニーズを理解し、当社技術の利点を上手にお客様の優位性に活かすこと にあります。例えば、パッケージ、接液材、流体や電気的インターフェースの変更およびデッドボリューム、センサー耐圧の改 善が挙げられます。 広い流量範囲 柔軟性とコスト効率 高感度センサーとともに長年培ってきた経験と専門性が、 当社の最先端技術により高性能且つ費用対効果性を実現 nl/min から l/min の流量測定を可能にしました。 したカスタマイズソリューションにて柔軟的に顧客ニーズ にお応えします。 高速 CMOS チップ上に統合された MEMS センサーは小型熱 量センシングにより 20 ms の超高速応答時間を可能にし ます。

テクノロジーを中心に、 未来に備えて。 www.sensirion.com