マスフローコントローラー 製品カタログ

マスフローコントローラー 正確な流量制御

高性能ガスフロー制御 当社は医療技術と産業オートメーション分野において長年の経験があり、お客様にとって最適なソリューションでデバイス、 機械、プロセスをサポートします。センシリオンのマスフローコントローラーは、様々なアプリケーションに適しており、 主に次の特長があります。 • 優れた繰り返し精度 (0.1％ セットポイント) • ドリフトなしかつフィールドでの再校正不要 • 高精度 (0.8％ セットポイント) • 平均故障間隔 (MTBF) 169年 • 幅広い制御範囲 (1000：1以上) • オプションのマルチガス/流量レンジ • 超高速設定時間 (50 ms 未満) • 小型・軽量 詳しい情報はこちらをご覧ください。 www.sensirion.com/jp/mfc 当社独自の測定原理 ヒーター センシリオンのマスフローコントローラーは、幅広い範囲 のガスフローを高速かつ正確に制御できるのが特長です。 革新的な CMOSens® 技術を基礎とするマスフローコント ガスフロー ローラーの心臓部は、単一チップ上に必要な信号処理回路 と一緒に集積された熱量測定マイクロセンサー (MEMS) です。流量は熱測定原理 (図1を参照) を使用して測定され、 デジタル制御回路により効率的に制御されます。この独自 温度センサー シリコン に集積された技術アプローチにより、非常に魅力的なコス 1 mm トで優れたパフォーマンスと信頼性を実現しています。実 装後、センシリオンのマスフローコントローラーをフィール 図1 ドで再校正する必要はありません。 マスフローコントローラーは、50 ms までの超高速セトリ 100 ングタイム (図2を参照) と非常に広いダイナミックレンジ センシリオン CMOSens® (1000：1以上) に対応します。センシリオンのマスフローコ 80 ントローラーは制御範囲が広く、フローのスパンが大きい アプリケーションに対して非常に有用です。大流量範囲と 60 小流量範囲に2つのデバイスを使用せずとも、1つのセンシ リオン社製デバイスで数桁の流量範囲を効率的にカバーで 40 従来の MFC T98 = 1 秒 きます。 20 センシリオンのマスフローコントローラーには、デバイスメ モリに保存されている一連のガス校正を切り替えることが 0 100 200 300 400 500 できるマルチガス機能の搭載が可能です。また、選択され 時間 (mSec) 図2 たガス校正が配管内のガスと一致しているかどうかの検出 も可能です。加えて、1つの製品で複数の流量範囲に対して 校正できるので、可能な限り広いスケールで最高の精度を 確保できます。 セットポイント (%) に到達するまでの時間

マスフローコントローラ－　製品紹介 SFC5500 – 初回評価に最適 SFC5400/5460 – 高性能と汎用性を装備 SFC5300/5330 – 大量生産アプリケーション向け SFC6000 – 最高のコストパフォーマンス • カタログ販売で購入可能 • 高精度と高再現性 • SFC5400 の小型・軽量・廉価版 • 小型、軽量 • あらかじめ決められた構成からなる SFC5400 • 幅広い制御範囲と超高速な設定時間 • コスト重視の OEM プロジェクト向けに設計 • 堅牢なサプライチェーンを伴う部品の高集積化 の特殊バージョン • 様々な通信インターフェースと継手の種類 • デジタル、ダウンマウント • 複数ガスに対して校正済み、交換可能な継手付き 仕様概要　※ 詳細については、それぞれのデータシートを参照してください。 製品ライン パフォーマンスライン OEM ライン ベーシックライン モデル SFC5500 SFC5400/SFC5460 SFC5300/SFC5330 SFC6000 流量範囲 ¹, ⁴ 50 sccm 0.5、2、10 slm 200 slm 50、100、200 sccm; 0.5、1、2、5、10 slm 20、50、100 slm 50、100、200 sccm; 0.5、1、2、5 slm 0.5、2、5、20、50 slm 繰り返し精度 % (対測定値) ² 0.2 % s.p. 0.1 % s.p. 0.2 % s.p. 0.1 % s.p. 0.2 % s.p. 0.2 % s.p. 0.2 % s.p. 繰り返し精度 % (対フルスケール) ² 0.02 % FS 0.01 % FS 0.02 % FS 0.01 % FS 0.02 % FS 0.02 % FS 0.02 % FS 精度 % (対測定値) ³ 2 % s.p. 0.8 % s.p. 1 % s.p. 0.8 % s.p. 1 % s.p. 2 % s.p. 2 % s.p. 精度 % (対フルスケール) ³ 0.2 % FS 0.08 % FS 0.1 % FS 0.08 % FS 0.1 % FS 0.2 % FS 0.2 % FS 標準セトリングタイム 100 ms 100 ms (ご要望に応じて 50 ms も対応可能) 100 ms 制御範囲 ⁵ 1000:1 500:1 通信インターフェース RS485、DeviceNet、アナログ電圧 RS485、DeviceNet、アナログ電圧、アナログ電流 (ご要望に応じて IO-Link も対応可能) RS485 RS485、I²C、アナログ電圧 5 (Profibus ⁵) 校正ガス Air/N₂、O₂、H₂、He、CH₄、N₂O、Ar、CO₂ Air/N₂、O₂ Air/N₂、O₂、H₂、He、CH₄、N₂O、Ar、CO₂ Air/N₂、O₂、N₂O、Ar、CO₂ (ご要望に応じて SF₆、CF₄、C₄F₈、NH₃、CO、CH₃F、Xe、Ne、Kr 及び その他のガス も対応可能) (ご要望に応じて その他のガス も対応可能) ガス接続継ぎ手 Legris、G ¼" ねじ ダウンマウント、Swagelok、VCR、VCO、UNFねじ ダウンマウント プッシュイン、ダウンマウント 最大動作圧力 10 bar (145 psig) 外部漏れ率 9 × 10–⁹ mbar l/s (He) 9 × 10–⁶ mbar l/s (He) 9 × 10–⁹ mbar l/s (He) 9 × 10–⁶ mbar l/s (He) 9 × 10–⁹ mbar l/s (He) 2 sccm 閉バルブからの漏れ率 1 × 10–⁶ mbar l/s (He) 電源 14.0 〜 26.0 VDC 22.8 〜 25.2 VDC 動作 0 〜 50 °C (32 〜 122 °F) 5 〜 50 °C (41 〜 122 °F) 1 slm = standard liters per minute, sccm = standard cubic centimeters per minute 2,3 どちらかの高い方、s.p. = セットポイントの % (s.p.) = 測定値 (m.v.) = レート = 読取り値、FS = フルスケール 4 より小さな流量範囲は、ご要望に応じて対応可能 ⁵ ご要望に応じて対応可能

マスフローメーター 評価キット 当社マスフローコントローラーは、全てバルブなしのマス 評価キット EK-F5X を使用すると、当社マスフローコント フローメーターとしても利用可能です。 ローラーとマスフローメーターを簡単かつ迅速に評価でき 最高の精度と高い耐圧性を備えた最高性能の流量計で ます。使いやすく、検査目的の正確な測定も行えます。 す。MFC バリエーションと同じパフォーマンスと構成の柔 評価キットは、RS485-to-USB 変換ケーブル、100/240 V 軟性を発揮します。 AC アダプター、アダプターケーブル (M8 端⼦)、クイック スタートガイドで構成されています。 カスタマイズソリューション 当社のソリューションプロバイダーとしての豊富な実績を備えた最先端のセンサー技術がカスタマイズされたセンサーとコ ントローラーにより、高性能なガスフローコントロールシステムのサポートを可能にしています。お客様の要件を深く理解し、 カスタムメードのソリューションの基盤を形成することを目指しています。こうした優れた技術により、お客様に様々なメリッ トを提供します。 高速流量制御 柔軟かつ効率的なコスト管理 CMOS チップに集積された MEMS センサーは、熱質量が 当社の技術により、高性能かつコスト効率の高いカスタマ 小さいため、超高速の応答時間を可能にしています。セン イズされたセンサーソリューションを確実に実装し、お客様 シリオンは、マスフローコントローラー市場で比類のない の要件に柔軟に対応できます。特定のアプリケーションに 50ms 以下の設定時間を達成できます。 おいては、パフォーマンスまたは価格効率に重点を置くこ とができます。 小流量対応 コンパクトかつ軽量 流体力学とフローチャネル設計に関する経験と専門知識 高度に集積することで、非常にコンパクトかつ軽量な設計 を活かした当社のマスフローコントローラーは、ml/min が可能になります。様々なボディ素材を採用して、重量を 以下の非常に小さい範囲までの流量を制御できます。 最小限に抑えることができます。

テクノロジーを中心に、 未来に備えて。 www.sensirion.com