【半導体製造事例】半導体製造現場におけるロボット・装置のデータ収集をコンパクトリモートI／Oで実現

【事例】半導体製造現場におけるロボット・CVD/PVD 装置のデータ収集をコンパクトリモートI/Oで実現 【課題】 ・ロボットやCVD/PVD装置から電流等のパラ メータをリアルタイムで取得・分析したい ・機械周辺の設置スペースが限られている ため、小型のデータ収集機器が必要 ・コンパクトなリモートI/Oで、場所を取ら ず効果的にデータ収集 ・収集パラメータは、高性能ファンレス産 業用PC:UNOシリーズを仮想サーバとして 効果的にデータ分析 ・リモートI/Oと仮想サーバの接続は、産 業用スイッチングハブで信頼性の高い通信 を実現 ロケーション：台湾 背景 　ICの設計からウェハーの製造、基板の組み立て、テストまでの製造工程が確立された半導体製造。これらの製造工程には、生産歩留まりを向上させる ため異なる生産ラインからウェハーを移動させるロボットや、ウェハー上に薄膜を形成するためのPVD（Physical　Vapor　Deposition）やCVD（Chemical Vapor　Deposition）装置等が使用されています。 　今回のプロジェクトのユーザーは、ロボットやCVD/PVD装置の効率を高めるため、電源電流やその他の重要なパラメータの効率的な測定を求めてい ました。そのため、パラメータをデータ収集機器でキャプチャしてサーバへ送り、分析する事が必要でした。 システム要件 ・機械周辺の設置スペースが限られているため、安定したイーサネットケーブルを介して主要機器の電源電流やその他の主要パラメータをリアルタイム に取得するためには、コンパクトなリモートI/Oモジュールが必要。 ・仮想サーバーにデータを送信する際には、ユーザーのセキュリティポリシーや生産ラインの作業に応じたシステムコンフィグレーションの要件を満たす ため、動的なIPアドレスやポート番号の割り当ての許可等が必要。 ・I/Oモジュールがデータを収集・送信している間、サーバーはFDC(Fault Detection and Classification)法などのデータ分析を実行して、効率性を高め、 生産のダウンタイムを減らす必要がある。 使用製品 【ADAM-6217】 【ADAM-6250】 【EKI-2728】 【EKI-1524】 【UNO-3283G】 8AI IoT Modbus/SNMP/ 8DI/7DO IoT Modbus/ 8GE 4-port RS-232/422/485 Intel® Core™ i MQTT 2 ポート SNMP/MQTT 2ポート アンマネージド シリアルデバイス 産業用ファンレスPC イーサネット　リモート イーサネット　リモート イーサネットスイッチ サーバ 2 x GbE, 2 x mPCIe, HDMI, I/O I/O DVI-I

Semiconductor システム概要 ・手のひらサイズのコンパクトなデザインのイーサネットリモートI/O：ADAM-6200を各装置の近くに設置。機械のセンサー間の配 線を最小限に。 ・8chのアナログ入力を備えたあADAM-6217により、機械の電圧/電流パラメータを1,000サンプル/秒のサンプリングレートで収 集。 ・収集されたパラメータは、イーサネットを介して仮想サーバコンピュータのUNO-3283Gに送信。Modbus/TCPプロトコルにより、 ホストの構成に応じてIPアドレスとポート番号を動的に調整することが可能。 ・将来的なプロジェクト要件の変更に合わせて、異なる種類のADAMリモートI/Oシリーズを選択可。 ・民生品に比べて耐環境性に優れた産業用イーサネットスイッチ：EKI-2000シリーズで、信頼性の高いデータ通信とサーバーへ の接続を確保。 システム構成 UNO-3283G （仮想サーバ） EKI-2728 イーサネット アナログ入力 シリアル通信 ADAM-6217 ADAM-6250 EKI-1524 (RS-232/422/485) 　　　電流 　　　電流 　　　電流 ロボット CVD装置 PVD装置 アドバンテックが選ばれた理由 　半導体製造業のユーザーにとって、継続的な機械の稼働と生産歩留まりが重要なポイントとなります。アドバンテックのリモートI/Oモ ジュールと産業用スイッチでデータを取得し、データ分析のために仮想サーバに送信します。これにより、管理能力、機械の効率性、 安定性、およびスケーラビリティが向上させる事が顧客満足に繋がりました。 アドバンテックの豊富なカスタマイズの経験は、半導体産業の様々なプロジェクトの要件を満たすことができます。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/