【半導体製造事例】スクラバー(排ガス洗浄装置)における状態基準保全（CBM）をリモートで実現

【事例】スクラバー(排ガス洗浄装置)における 状態基準保全（CBM）をリモートで実現 【課題】 ・リモートで遠隔地設備（スクラバー）のシス テム全体の監視や制御を行いたい Background ・アドバンテックのLoRaWAN製品群で、 信頼性のあるリモート監視・制御・検査を 実現 ・過酷環境に耐えうる振動センサ設置で3 軸の振動検知にも対応 ・柔軟なI/Oに対応したリモートI/Oで、 様々なデータ収集やスイッチ制御を実現 ロケーション：台湾 背景 　半導体製造におけるスクラバー(排ガス洗浄装置)システムは、IC製造において最も重要なプロセス機能の1つであるウェーハ洗浄を行うように設計され ているため、プロセス全体を遠隔で監視することが重要になります。 　このプロジェクトでは、回転設備、スクラバーポンプ、検査ソリューション、可変周波数ドライブ（VFD）の温度検出ソリューションが要求され、VFDの近く にある換気システムを有効/無効にするためのリアルタイムアクション機能が必要でした。 システム要件 ・　プラグアンドプレイで遠隔地の設備を監視・制御・検査できるワイヤレスソリューション（スクラバーポンプの振動検査、環境監視と換気システムのリア ルタイム制御など） 使用製品 【WISE-6610】 【WISE-2410】 WISE-4610 WISE-S617T 96PD-THS16B 産業用 LoRaWAN LoRaWAN LoRaWAN WISE-4610用 温度・湿度センサ 8チャンネルゲートウェイ ワイヤレス 振動センサ ワイヤレス リモート I/O 2AI/2DI/1DOモジュール 1×RS-485通信付

Semiconductor システム概要 ・Modbus TCPプロトコルに対応したLoRaWANゲートウェイ：WISE-6610で、世界中のSCADAシステムに接続可能 ・LoRaWAN対応振動センサ：WISE-2410で、ISO-10816規格に準拠した回転設備の検査アプリケーション簡単に実現。WISE-2410は WISE-2410は3軸の振動検知にも対応しており、IP66規格に準拠した広い温度範囲の設計により、スクラバーポンプが設置されている過 酷な環境にも対応 ・LoRaWANリモートI/Oで、様々な遠隔設備の監視・制御アプリケーションに対応。I/OプラグのWISE-S617との組み合わせで、スイッチ 制御用のDO、センサーやPLC接続用のAI/DI/RS-485チャンネルも対応 シ ステム構成 顧客のSCADAシステム等へ 4G LTE / LAN WISE-6610 LoRaWAN ゲートウェイ WISE-2410 LoRaWAN スマート 振動センサ WISE-4610 LoRaWAN I/O モジュール 96PD-THS16B 温度・湿度センサ アドバンテックが選ばれた理由 アドバンテックのLoRaWANソリューションが、半導体産業における様々な設備監視アプリケーションのために、簡単で信頼性が高く、コスト 効果の高いプライベートネットワーク環境を提供する事が出来たことが、今回のユーザーの満足度を高める結果になりました。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/