いまトレンドの「リモート設備管理」を知ろう！6つの成功事例【半導体製造編】

【事例】コンプレッサー/クリーンドライエア（CDA）シス テムにおける状態基準保全（CBM）をリモートで実現 【課題】 ・コンプレッサー、 クリーンドライエア（CDA）システ ムの状態をリモートで監視・制御・検査したい ・LoRaWANゲートウェイ/5Gルータで、 信頼性の高いワイヤレス通信を実現 ・耐環境性に優れた振動センサで、コンプ レッサーの状態データを送信 ・柔軟に入出力のカスタマイズが出来る LoRaWAN通信リモートI/Oで、温度・ 湿度等の設備の情報をスムーズに取得 ロケーション：台湾 背景 　半導体製造において、多くのコンプレッサ/クリーンドライエア（CDA）システムが、製造工程の空圧部品を駆動するために使用されて います。具体的には製造プロセス機器の空気圧コンポーネントの駆動、バルブ機能の制御、製造プロセス機器の空圧部品の駆動、バ ルブ機能の制御、材料・機器の洗浄などの目的の為です。製造プロセスを円滑に進めるためには、CDA システムは保守・保全部門に よる監視が必要です。特に近年競争が激しくなっている半導体業界では、効率的な生産の為にもワイヤレス（無線）での遠隔監視も求 められています。 システム要件 ・プラグアンドプレイで遠隔地の施設を監視・制御・検査して状態基準保全（CBM）出来るワイヤレスソリューション 使用製品 【WISE-6610】 【WISE-2410】 【WISE-4610】 【WISE-S617T】 【96PD-THS16B】 【ICR-4453】 産業用 LoRaWAN LoRaWAN LoRaWAN WISE-4610用 温度・湿度センサ ハイスピード　5Gルータ/ 8チャンネルゲートウェイ ワイヤレス 振動センサ IoT ワイヤレス 2AI/2DI/1DOモジュール エッジコンピュータ（ゲートウェイ） リモート I/O 1×RS-485通信付

Semiconductor Sysシteスmテ Dムe概sc要ription WISE-6610 is a LoRaWAN gateway which supports Modbus TCP protocol can connect to any SCADA system in the world. WISEア-2ド41バ0 oンffeテrsッ anク eはasユy wーayザ forー roのtat要ing件 faをcili満ty iたnspすecたtioめn aにpp幅lic広atioいn Lboy RfoalloWwAinNgソ ISリOュ-10ー81シ6 sョtaンn・da製rd品. Mをor用eov意er,し WてISおE-2り4、10 also supports 3-axis vibration detection and with IP66 rating, wide temperature design can conquer harsh environment where compセreンssサor ーlocをate通d.じて上がってきた各種設備の状態のデータを、ゲートウェイを介してリモート監視する事を実現しました。 WISE-4610 with its’ WISE-S617 flexible I/O solution fulfill different kinds of remote facility monitoring and controlling application. It has・ MDOod fbour s wTiCtcPh プcoロntトroコl aルndに h対as応 AIし/DたI/RLoSR-4a8W5A cNhゲanーneトlsウ foェr sイen：sWoIrS aEn-d6 p6l1c0 cでon、nセecンtioサn.から上がってきた振動データや電流などの情報を世界 中のSCADAシステムに接続可能。 ・振動センサ：WISE-2410は、ISO-10816規格に準拠した回転設備の検査アプリケーションを簡単に実現。WISE-2410は3軸の振動検出に も対応しており、IP66規格に準拠した広温度範囲の設計により、コンプレッサーが設置されている過酷な環境にも対応。 シス・環テ境ムや設構備成の電流監視用のフレキシブルI/O WISE-S617を備えたLoRaWANリモートI/O：WISE-4610を提供し、 環境や設備の電流監視を行う。 ユーザーサービスへ ユーザーサービスへ / LAN WISE-6610 ICR-4453 LoRaWAN ゲートウェイ 5G ルータ & ゲートウェイ シリアル通信 WISE-2410 (RS-232/RS-485) LoRaWAN スマート振動センサ WISE-4610 LoRaWAN I/O モジュール 96PD-THS16B 温度＆湿度センサ アドバンテックが選ばれた理由 Advantech LoRaWAN solution provides an easy, reliable and cost affective private network environment for different kinds of faアcilドityバ mンonテitoッrクingの aLpopRlicaaWtiAonN iソnリseュmーicoシndョuンctがor、 in半du導str体y.産業における様々な設備監視アプリケーションのために、簡単で信頼性が高く、コス ト効果の高いプライベートネットワーク環境を提供する事が出来たことが、今回のユーザーの満足度を高める結果になりました。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/

【事例】スクラバー(排ガス洗浄装置)における 状態基準保全（CBM）をリモートで実現 【課題】 ・リモートで遠隔地設備（スクラバー）のシス テム全体の監視や制御を行いたい Background ・アドバンテックのLoRaWAN製品群で、 信頼性のあるリモート監視・制御・検査を 実現 ・過酷環境に耐えうる振動センサ設置で3 軸の振動検知にも対応 ・柔軟なI/Oに対応したリモートI/Oで、 様々なデータ収集やスイッチ制御を実現 ロケーション：台湾 背景 　半導体製造におけるスクラバー(排ガス洗浄装置)システムは、IC製造において最も重要なプロセス機能の1つであるウェーハ洗浄を行うように設計され ているため、プロセス全体を遠隔で監視することが重要になります。 　このプロジェクトでは、回転設備、スクラバーポンプ、検査ソリューション、可変周波数ドライブ（VFD）の温度検出ソリューションが要求され、VFDの近く にある換気システムを有効/無効にするためのリアルタイムアクション機能が必要でした。 システム要件 ・　プラグアンドプレイで遠隔地の設備を監視・制御・検査できるワイヤレスソリューション（スクラバーポンプの振動検査、環境監視と換気システムのリア ルタイム制御など） 使用製品 【WISE-6610】 【WISE-2410】 WISE-4610 WISE-S617T 96PD-THS16B 産業用 LoRaWAN LoRaWAN LoRaWAN WISE-4610用 温度・湿度センサ 8チャンネルゲートウェイ ワイヤレス 振動センサ ワイヤレス リモート I/O 2AI/2DI/1DOモジュール 1×RS-485通信付

Semiconductor システム概要 ・Modbus TCPプロトコルに対応したLoRaWANゲートウェイ：WISE-6610で、世界中のSCADAシステムに接続可能 ・LoRaWAN対応振動センサ：WISE-2410で、ISO-10816規格に準拠した回転設備の検査アプリケーション簡単に実現。WISE-2410は WISE-2410は3軸の振動検知にも対応しており、IP66規格に準拠した広い温度範囲の設計により、スクラバーポンプが設置されている過 酷な環境にも対応 ・LoRaWANリモートI/Oで、様々な遠隔設備の監視・制御アプリケーションに対応。I/OプラグのWISE-S617との組み合わせで、スイッチ 制御用のDO、センサーやPLC接続用のAI/DI/RS-485チャンネルも対応 シ ステム構成 顧客のSCADAシステム等へ 4G LTE / LAN WISE-6610 LoRaWAN ゲートウェイ WISE-2410 LoRaWAN スマート 振動センサ WISE-4610 LoRaWAN I/O モジュール 96PD-THS16B 温度・湿度センサ アドバンテックが選ばれた理由 アドバンテックのLoRaWANソリューションが、半導体産業における様々な設備監視アプリケーションのために、簡単で信頼性が高く、コスト 効果の高いプライベートネットワーク環境を提供する事が出来たことが、今回のユーザーの満足度を高める結果になりました。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/

【事例】半導体製造現場におけるロボット・CVD/PVD 装置のデータ収集をコンパクトリモートI/Oで実現 【課題】 ・ロボットやCVD/PVD装置から電流等のパラ メータをリアルタイムで取得・分析したい ・機械周辺の設置スペースが限られている ため、小型のデータ収集機器が必要 ・コンパクトなリモートI/Oで、場所を取ら ず効果的にデータ収集 ・収集パラメータは、高性能ファンレス産 業用PC:UNOシリーズを仮想サーバとして 効果的にデータ分析 ・リモートI/Oと仮想サーバの接続は、産 業用スイッチングハブで信頼性の高い通信 を実現 ロケーション：台湾 背景 　ICの設計からウェハーの製造、基板の組み立て、テストまでの製造工程が確立された半導体製造。これらの製造工程には、生産歩留まりを向上させる ため異なる生産ラインからウェハーを移動させるロボットや、ウェハー上に薄膜を形成するためのPVD（Physical　Vapor　Deposition）やCVD（Chemical Vapor　Deposition）装置等が使用されています。 　今回のプロジェクトのユーザーは、ロボットやCVD/PVD装置の効率を高めるため、電源電流やその他の重要なパラメータの効率的な測定を求めてい ました。そのため、パラメータをデータ収集機器でキャプチャしてサーバへ送り、分析する事が必要でした。 システム要件 ・機械周辺の設置スペースが限られているため、安定したイーサネットケーブルを介して主要機器の電源電流やその他の主要パラメータをリアルタイム に取得するためには、コンパクトなリモートI/Oモジュールが必要。 ・仮想サーバーにデータを送信する際には、ユーザーのセキュリティポリシーや生産ラインの作業に応じたシステムコンフィグレーションの要件を満たす ため、動的なIPアドレスやポート番号の割り当ての許可等が必要。 ・I/Oモジュールがデータを収集・送信している間、サーバーはFDC(Fault Detection and Classification)法などのデータ分析を実行して、効率性を高め、 生産のダウンタイムを減らす必要がある。 使用製品 【ADAM-6217】 【ADAM-6250】 【EKI-2728】 【EKI-1524】 【UNO-3283G】 8AI IoT Modbus/SNMP/ 8DI/7DO IoT Modbus/ 8GE 4-port RS-232/422/485 Intel® Core™ i MQTT 2 ポート SNMP/MQTT 2ポート アンマネージド シリアルデバイス 産業用ファンレスPC イーサネット　リモート イーサネット　リモート イーサネットスイッチ サーバ 2 x GbE, 2 x mPCIe, HDMI, I/O I/O DVI-I

Semiconductor システム概要 ・手のひらサイズのコンパクトなデザインのイーサネットリモートI/O：ADAM-6200を各装置の近くに設置。機械のセンサー間の配 線を最小限に。 ・8chのアナログ入力を備えたあADAM-6217により、機械の電圧/電流パラメータを1,000サンプル/秒のサンプリングレートで収 集。 ・収集されたパラメータは、イーサネットを介して仮想サーバコンピュータのUNO-3283Gに送信。Modbus/TCPプロトコルにより、 ホストの構成に応じてIPアドレスとポート番号を動的に調整することが可能。 ・将来的なプロジェクト要件の変更に合わせて、異なる種類のADAMリモートI/Oシリーズを選択可。 ・民生品に比べて耐環境性に優れた産業用イーサネットスイッチ：EKI-2000シリーズで、信頼性の高いデータ通信とサーバーへ の接続を確保。 システム構成 UNO-3283G （仮想サーバ） EKI-2728 イーサネット アナログ入力 シリアル通信 ADAM-6217 ADAM-6250 EKI-1524 (RS-232/422/485) 　　　電流 　　　電流 　　　電流 ロボット CVD装置 PVD装置 アドバンテックが選ばれた理由 　半導体製造業のユーザーにとって、継続的な機械の稼働と生産歩留まりが重要なポイントとなります。アドバンテックのリモートI/Oモ ジュールと産業用スイッチでデータを取得し、データ分析のために仮想サーバに送信します。これにより、管理能力、機械の効率性、 安定性、およびスケーラビリティが向上させる事が顧客満足に繋がりました。 アドバンテックの豊富なカスタマイズの経験は、半導体産業の様々なプロジェクトの要件を満たすことができます。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/

半導体ウェハープラントの自動廃棄物処理システム の点検をLoRaWANで省力化・リモート化 【課題】 ・廃棄物処理システムのモーターやファンの 危険な場所での人による点検を軽減し、効 率化を図りたい ・ISO-10816規格に準拠したワイヤレス振動 センサで、回転設備の振動データを的確に送信 ・産業用LoRaWANゲートウェイを使用し、 世界中のSCADAシステムに接続出来るリモート 監視を実現 ロケーション：台湾 背景 ハイテク製品の製造には、多くの危険な化学物質が使用されているため、廃棄処理システムの導入が必要です。ある半導体工場の 検査スタッフは、廃棄物処理システムのモーターやファンに異常がないか、携帯型の振動計を使って常にチェックしています。しかし、 工場内には20台以上の排気ファンがあるため、人事的に点検頻度は1日1回に限られています。また、廃棄物処理装置はほとんどが 工場の屋上に設置されているため、毎日登ったり降りたりするのは検査員にとって危険です。そのため、点検の省力化・効率化が求 められていました。 システム要件 ・廃棄物処理システムのモーターやファンを、遠隔で人手を使わずに自動監視してくれるソリューション 使用製品 【WISE-6610】 【WISE-2410】 【WISE-EdgeLink】 産業用 LoRaWAN LoRaWAN 200以上のI/Oドライバーをサポート 8チャンネルゲートウェイ ワイヤレス 振動センサ ゲートウェイソフトウェア

Semiconductor Sシysスteテmム D概e要scription ・ISO-10816規格に準拠したワイヤレス振動センサの「WISE-2410」で、ファンなどの回転設備の検査アプリケーションを簡単に実 現。3軸振動検知にも対応しており、IP66規格に準拠した広い温度範囲での使用が可能なため、廃棄物処理施設のような厳しい 環境にも対応 ・Modbus TCPプロトコルに対応した産業用LoRaWANゲートウェイ「WISE-6610」で、世界中のあらゆるSCADAシステムに接続可能 システム構成 SCADA ISO 10816 クラウドサービス Service WISE-6610 他社製 LoRaWAN ゲートウェイ ゲートウェイ IP66 2 year 5 Km CSV ACK WISE-2410 センサー アドバンテックが選ばれた理由 アドバンテックのLoRaWANソリューションは、簡単で信頼性の高い、コスト効果の高いプライベートネットワーク環境を提供する事 が出来、半導体産業における様々な設備監視アプリケーションに使用できる事が顧客にとっての大きな魅力でした。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/

効果的なウェハープローバ・検査を アドバンテックのマシンオートメーションソリューションで 実現 【課題】 ・ ウェハープローバ（テスト）において、各 デバイス、スイッチからの入力データを 高精度・正確に計測したい ・アドバンテックの最新産業用PC＋データ 収集用カードの包括的ソリューションで、 複数のデバイス・スイッチからのデータ入 力・出力を高い精度で実現 ロケーション：台湾 背景 ウエハテストは、半導体デバイスを製造する際に行われる重要な工程で、ウェハプローバと呼ばれる検査装置で行れます。ウェーハテスト は、WFT（ウェハファイナルテスト）、EDS（電子ダイソート）、CP（サーキットプローブ）などがあります。ウェーハプローバでは、電気的特性を正 確に測定することが求められていました。この目標を達成するためには、周辺機器限定のスイッチ/デバイスの量を正確な位置に時間的に制 御する必要があります。 使用製品 【PCIE-1812】 【PCIE-1824】 【PCIE-1753】 【DAQNavi/SDK】 250kS/s,16bit,8ch, 16bit、32/16chアナログ出力 96chデジタル入出力 DAQ ソフトウェア 同時サンプリング PCI Expressカード PCI Expressカード 開発ツール マルチファンクションPCIE DAQカード 【ACP-4340】 【AIMB-787】 4U ラックマウントシャーシ 産業用ATXマザーボード 第10世代 インテル® Core™ i9/i7/i5/i3/ Pentium®/Celeron® ATX

Semiconductor システム要件 ・ウェーハを活性化するための16ビット分解能のアナログ出力と、250KS/sのサンプリングレートを同時に持つ個別の8chアナログ入力等、 多彩で正確なDAQ（データ収集）ソリューション。 システム概要 ・アドバンテックの包括的なソリューションにより、ユーザーは簡単にウエハプローバ/テスタ装置を構築することが可能。 ・高密度デジタル入出力カードのPCIE-1753は、最大96個の周辺機器限定スイッチ/デバイスを短時間内に制御し、 精密な位置決めを実現。 ・PCIE-1812とPCIE-1824は、電気的特性をアクティブにして正確に測定するためのアナログ出力を行う。 ・PCIE-1812は、ウェハを起動した後、短時間で8点の電気特性を同時に測定することが可能 システム構成 DAQNavi/SDK DAQ ソフトウェア開発ツール ACP-4340 AIMB-787 PCI/PCIE PCIE-1824 PCIE-1812 16-bit,32/16-ch 250 kS/s, 16-bit, 8-ch, アナログ出力 同時サンプリング PCI Express カード マルチファンクションPCIE DAQカード ウェハー活性化 I-Vカーブ測定 PCIE-1753 x2 PCI Express カード 表示灯 ボタン リミットスイッチ フォトインタラプタ I/O アドバンテックが選ばれた理由 産業用PCやDAQカードに加え、ソフトウェア開発キット「DAQNavi」によって、データ収集（DAQ）と制御/テストシステムを構築 するためのユーザーの要求を満たし、ユーザーが望むことを実際に実現出来たことがポイントでした。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/

【事例】半導体前工程のウェーハ光学検査を トータルソリューションで実現 【課題】 ・ 非破壊、非接触でウェーハを検査したい Background ・ロボットによるワークの搬送と同期して検査し たい ・生産性レベルを維持しながら、高精度の検 査分析を行いたい ・産業用PC＋検査カメラのソリューションで 高精度なウェーハを検査 ・ウェーハの研磨後、トリガー信号を検査システ ムに送ることで搬送システムと同期化 ・ソフトウェア「VisionNavi」で欠陥検査を行 い、「NG/OK」の信号を送信。 ロケーション：台湾 背景 半導体の前工程では、化学的な力と機械的な力を組み合わせて表面を平滑化する化学的機械的平坦化/研磨（CMP）プロセスにより、クラッ クやスクラッチ欠陥などの表面損傷が発生することがあります。このリスクに効果的に対処するには、非破壊、非接触、波長に敏感なビジョン検 査で表面の純度と平坦性を検査する必要があります。 　　本件の顧客は半導体業界でも有数のウェーハ製造会社で、CMP工程でのダメージや欠陥を見つけることができる検査システムを必要として いました。ウェハーの材質が特徴的なため、表面の純度と平面性を調べるために、非破壊、非接触、波長に敏感な画像検査が不可欠であり、 高精度なインライン検査を高速で行うことができる完全なシステムでした。　 システム要件 ・ビジョン検査システムにより、非破壊、非接触、で高精度な画像検査を行う ・自動化されたロボットハンドリングシステムによる搬送と同期して検査したい ・ウェハの種類や欠陥の種類が多いため、設置やメンテナンスの手間を減らしたい ・検査用コンピュータやカメラ、ソフトウェアも含めてマシンビジョンのトータルソリューション 使用製品 【IPC-220】 【PCIE-1674E-AE】 【PCIE-1730H】 【QCAM-GM1440-073CE】 第6/7世代Intel® Core™ i 4ポート PCIe GlgE ビジョン 32-Ch TTL, 32-Ch 産業用検査カメラ CPU搭載 フレームグラバーカード 絶縁デジタル入出力 コンパクト産業用PC PCIe カード Project Implementation

Semiconductor システム概要 ・高性能産業用PC、PoEカード（フレームグラバーカード）、検査カメラ、DIOカードに加え、ソフトウェアの 「VisionNavi」でトータルに半導体業界向けの高性能なビジョンシステムをサポート ・ウェーハが研磨された後、位置センサーがビジョンシステム（産業用PC）にトリガー信号を送信。異なるカメラア ングルからの複数の画像が ビジョンシステムに送られ、「VisionNavi」が欠陥検査のために画像を処理して 欠陥 検査を行い、ウェハーを検証。欠陥が検出された場合は「NG」信号を送ってウェハを拒絶し、問題ない場合は 「OK」信号を送ってウェハーをピックアップし、次の工程に移る。 ・「VisionNavi」はフローチャートをベースにしたユーザーフレンドリーなインターフェースで、開発や展開を簡素化 し、高度なビジョン・アプリケーションのための機能を分岐・ループさせ、複数のタスクやグローバル・シャッター付 きカメラをサポート ・画像データは復元され、顧客の現在の企業データベースと効果的に統合可能 システム構成 マシンビジョンアプリケーション用ソフト PCIE-1674E-AE IPC-220 PCIE-1730H 4ポート PCIe GlgE ビジョン 第6/7世代Intel® Core™ i CPU搭載 32-Ch TTL, 32-Ch フレームグラバーカード コンパクト産業用PC 絶縁デジタル入出力 PCIe カード QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE イーサネット 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ その他 アドバンテックが選ばれた理由 アドバンテックのマシンビジョン検査システムは、グローバルシャッター、産業用用高速度カメラ、マルチチャンネル・コン ピューティング・プラットフォーム、ビジョン・ソフトウェアを統合しています。そのため、顧客は互換性のある製品をどのように選 択するかを心配する必要がありませんでした。 　またVisionNaviソフトウェアは、グラフィカルでフローチャートベースのインターフェイスで設計されており、ユーザーはビジョン 検査アまたプリケーションの開発と展開を簡単に完了することができました。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/