【半導体製造事例】効果的なウェハプローバ検査をアドバンテックのマシンオートメーションソリューションで実現

【事例】効果的なウェハープローバ・検査を アドバンテックのマシンオートメーションソリューションで 実現 【課題】 ・ ウェハープローバ（テスト）において、各 デバイス、スイッチからの入力データを 高精度・正確に計測したい ・アドバンテックの最新産業用PC＋データ 収集用カードの包括的ソリューションで、 複数のデバイス・スイッチからのデータ入 力・出力を高い精度で実現 ロケーション：台湾 背景 ウエハテストは、半導体デバイスを製造する際に行われる重要な工程で、ウェハプローバと呼ばれる検査装置で行れます。ウェーハテスト は、WFT（ウェハファイナルテスト）、EDS（電子ダイソート）、CP（サーキットプローブ）などがあります。ウェーハプローバでは、電気的特性を正 確に測定することが求められていました。この目標を達成するためには、周辺機器限定のスイッチ/デバイスの量を正確な位置に時間的に制 御する必要があります。 使用製品 【PCIE-1812】 【PCIE-1824】 【PCIE-1753】 【DAQNavi/SDK】 250kS/s,16bit,8ch, 16bit、32/16chアナログ出力 96chデジタル入出力 DAQ ソフトウェア 同時サンプリング PCI Expressカード PCI Expressカード 開発ツール マルチファンクションPCIE DAQカード 【ACP-4340】 【AIMB-787】 4U ラックマウントシャーシ 産業用ATXマザーボード 第10世代 インテル® Core™ i9/i7/i5/i3/ Pentium®/Celeron® ATX

Semiconductor システム要件 ・ウェーハを活性化するための16ビット分解能のアナログ出力と、250KS/sのサンプリングレートを同時に持つ個別の8chアナログ入力等、 多彩で正確なDAQ（データ収集）ソリューション。 システム概要 ・アドバンテックの包括的なソリューションにより、ユーザーは簡単にウエハプローバ/テスタ装置を構築することが可能。 ・高密度デジタル入出力カードのPCIE-1753は、最大96個の周辺機器限定スイッチ/デバイスを短時間内に制御し、 精密な位置決めを実現。 ・PCIE-1812とPCIE-1824は、電気的特性をアクティブにして正確に測定するためのアナログ出力を行う。 ・PCIE-1812は、ウェハを起動した後、短時間で8点の電気特性を同時に測定することが可能 システム構成 DAQNavi/SDK DAQ ソフトウェア開発ツール ACP-4340 AIMB-787 PCI/PCIE PCIE-1824 PCIE-1812 16-bit,32/16-ch 250 kS/s, 16-bit, 8-ch, アナログ出力 同時サンプリング PCI Express カード マルチファンクションPCIE DAQカード ウェハー活性化 I-Vカーブ測定 PCIE-1753 x2 PCI Express カード 表示灯 ボタン リミットスイッチ フォトインタラプタ I/O アドバンテックが選ばれた理由 産業用PCやDAQカードに加え、ソフトウェア開発キット「DAQNavi」によって、データ収集（DAQ）と制御/テストシステムを構築 するためのユーザーの要求を満たし、ユーザーが望むことを実際に実現出来たことがポイントでした。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/