リークテスター　MICRO-FLOW

MICRO-FLOW リーク検査 お客様のリーク検査の課題を解決するトップクラスのエアリーク検査ソリューション

リークテスター 定評ある革新的技術 革新的な Micro-Flow 技術を搭載した弊社のリークテスターは、業界 で唯一無二のものです。特許を取得した Micro-Flow センサーは、短 いサイクルタイムでのリーク検査が可能で、温度の安定性はトップ クラスです。さらに、弊社のリークテスターは、他のエアリーク検査 方法に比べて高い感度、ロバスト性、再現性を実現します。弊社の技 術と製品は、SAE、USP、ASTM など、複数の国際規格で認められて います。 Micro-Flow テスターに加えて、さまざまな接続ソリューションと サービスを世界中のネットワークを通じて提供しています。 リークテスター  圧力およびフローテスター  Mass Extraction（真空）テスター  校正リーク  流量標準／校正器 エンジニアリングおよび  すぐに使える卓上型検査ソリューション 製造  カスタムソリューションの技術サポート サービス  製品サポート：設置、年 1 回の校正、修理  プロセス統合および認定のサポート （USP <1207>、GMP など）  ISO 17025 認定校正サービス – 有害ガスの使用を含む検査サー ビス ATC by Pfeiffer Vacuum Micro-Flow 技術は、米国インディアナポリスを拠点とする ATC （Advanced Test Concepts）が開発しました。 ATC は、30 年以上にわたって、自動車、医薬品、エレクトロニクス など、さまざまな産業にリーク検査ソリューションを提供していま す。2017 年、ATC はファイファーバキュームの一員になりました。  ATC は 1987 年創業  カスタム機械のメーカーとしてスタートした ATC は、より良い リーク検査方法の必要性を認識  特許を取得した Micro-Flow センサー技術を開発  世界中の施設が ATC の技術を導入  ISO 17025:2005 校正機関（A2LA 認定） 2

アプリケーション 弊社の Micro-Flow リークテスターは、漏れ流量を直接測定する、さ まざまな産業に適用可能な汎用性の高いソリューションです。産業 用製品、自動車部品、医薬品の製造など、お客様のあらゆる用途に合 わせたサポートを提供できます。これまでも、感度と分解能の精度を 高め、オペレーターに依存しないロバストな検査ソリューションに よる直接測定の実現を手助けしてきました。弊社製品の詳しい仕様 を以下に示します。お客様の用途のニーズを分析するためのより詳 しい情報については、弊社のアプリケーションエンジニアにお問い 合わせください。 産業用途例 自動車  パワートレイン – トランスミッションおよびエンジン  燃料およびブレーキシステム  バッテリー  空調システム 医薬品容器完全性試験機  非経口薬剤バイアル瓶およびプレフィルドシリンジ  充填済み点滴および血液バッグ  使い捨て処理バッグ  自動注入装置 医療機器リーク検査  薬物投与装置  カテーテル  体内埋め込み装置  パウチ 電子機器および家電  水の侵入を防止するためのリーク検査 （IP67 または類似する等級）  半導体部品  ディスプレイ、コンピュータ、ハードドライブ  MEMS その他の用途  航空宇宙  空調システム部品  石油・ガス産業 その他多数 アプリケーション 医薬品包装 パワートレインなどの 電子機器 自動車部品 （IP 等級試験） 3

リークテスター Micro-Flow 技術（圧力） Micro-Flow 技術 Micro-Flow 技術の中心は、弊社の Intelligent Gas Leak Senso（r IGLS） です。これらのセンサーは流量、圧力、温度を測定し、リークレート、 すなわち欠陥サイズに正比例した出力を提供します。 大気圧を上回る圧力では、右側の図に示すように Micro-Flow セン サーを使用します。検査対象の装置またはアセンブリから空気が漏 れている場合、放出された空気が Micro-Flow センサーから補充され、 定圧が維持されます。損失が発生すると、流量に比例した電気信号が 生成されます。Micro-Flow センサーは、検査対象ユニット（UUT） の補充に使用する蓄圧器と一緒に動作します。 センサーの感度は最高 5 · 10-4 mbar l/s です。通常、この種の検査方 法で必要なのは、簡単な固定器具のみです。 Micro-Flow 製品概要 E-PDQ (EQ) E2 IPE2 IPE2 アプリケーション 自動車産業 医療機器 空調製品 4

Micro-Flow センサーを 使用したさまざまな圧力 リーク リーク 条件でのエアリーク検査 蓄圧器 蓄圧器 1 待機 – 蓄圧器：P0 2 充填 – すべての分岐：P0 – IGLS：フローなし – IGLS：フローなし - UUT：リーク リーク リーク 蓄圧器 蓄圧器 3 安定 – リーク：PUUTが減少 4 検査 – リークによる一定のフロー – IGLS：フロー開始 – IGLS：流量を測定 Micro-Flow の基本構成 （E2 の例） オリフィス 絶縁タンク 検査対象 ユニット 高精度レギュレータ カスタマーベネフィット  検査のスピード – たとえば圧減衰と比較して 25～40%速いな ど、他を圧倒する速さ  従来のエアリーク検査技術よりも高感度 – 最高 5 · 10-4 mbar l/s （3 · 10-3 ccm）  環境変化の影響が最小限 – 環境変化による間違った結果を大幅 に低減  高い精度 – 不良品を通すリスクなしに、歩留まりを高めるしき い値の設定が可能  再現性 – 多大な損失をもたらす問題である誤った不具合の検出 を低減  部品サイズの影響を受けない – 1 つの設定で複数のサイズの部 品に対応し、リスクと時間を低減  毎日の校正が不要 – 安定した検査条件で、リーク検査結果を追 跡可能  リーク流量を直接測定 – Micro-Flow リーク測定システムでリー ク流量を正確に測定  簡単に使える – 産業用の高耐久設計 5

リークテスター Mass Extraction 技術（真空） Mass Extraction 技術 Micro-Flow センサー技術の特別な使用形態が、Mass Extraction 技術 です。基本原理は Micro-Flow と同様ですが、感度を高めるため、真 空条件で検査を行います。この方法には、連続流／滑り流条件（低真 空）、遷移流／分子流状態（中真空）で動作するセンサーが取り入れ られています。また、この技術は包装材、電子筐体などの密閉容器の リーク検査にも使用できます。検査対象ユニットを 1 mbar 以下の圧 力条件の真空チャンバーに置き、チャンバーを排気した後、チャン バーと負圧貯蔵タンクの間の流量から、検査部品のリークレートを 測定します（右側の図）。この方法では、最高 7 · 10-7 mbar l/s の感 度を実現できます。 Mass Extraction は、USP <1207>（医薬品指針）および ASTM（ASTM: F3287 - 17、Mass Extraction 法による包装材のリークの非破壊検出） により承認されています。 Mass Extraction 製品概要 E-PDQ (MQ) VE2 ME3 ME2 アプリケーション 医薬品包装 電子機器 医療機器 6

Mass Extraction を使用し たさまざまな圧力条件での リーク リーク エアリーク検査 負圧貯蔵 負圧貯蔵 タンク タンク 1 待機 – 負圧貯蔵タンク：P0 2 充填 – すべての分岐：P0 – IGLS：フローなし – IGLS：フローなし - UUT：リーク リーク リーク 負圧貯蔵 負圧貯蔵 タンク タンク 3 安定 – リーク：Pchamberが増加 4 検査 – リークによる一定のフロー – IGLS：フロー開始 – IGLS：リークにより流量を測定 Mass Extraction の 基本構成（VE2 の例） オリフィス 混合 タンク 検査対象 ユニット 真空ポンプ カスタマーベネフィット  密封製品／容器に特に適合（CCIT1)など）  トレーサーガスを使用しない非破壊検査  超高感度 – 最高 7 · 10-7 mbar l/s（<1 μm）のリークレートを検出  別個のグロスリーク検査でより大きな不具合を検出 – すばやく確実な グロスリーク検出  環境変化の影響が最小限 – 環境変化による間違った結果を大幅に低減  高い精度 – 不良品を通すリスクなしに、歩留まりを高めるしきい値の設定が可能  再現性 – 多大な損失をもたらす問題である誤った不具合の検出を低減  部品サイズの影響を受けない – 1 つの設定で複数のサイズの部品に対応し、 リスクと時間を低減  毎日の校正が不要 – 安定した検査条件で、リーク検査結果を追跡可能  医薬品指針である USP <1207>などの業界標準で承認 – 妥当性検査処理が容易  ASTM 認証取得（F3287-17） 1) 容器完全性試験 7

リークテスター センサー Micro-Flow センサー 弊社の Micro-Flow リークテスターは、独自の優れたセンサー技術を 提供します。他の流量計と比較して、弊社のセンサーは温度伝達また は機械的動作の原理に基づいて動いてはいません。流量、圧力、温度 を測定し、リークレート、すなわち欠陥サイズに正比例した出力を提 供します。これにより、流量の測定の安定性と確実性を飛躍的に高 め、温度変化などの環境影響を低減します。 弊社のテスターのセンサーは、主にお客様が扱う圧力範囲、お客様が 検出する必要がある流量に基づいて、お客様固有の用途に合わせて 選定されています。タイプとサイズが豊富なセンサーにより、エア リーク検査の従来の感度と精度を保つことができます。 概要 IGLS および IMFS センサーの一般仕様  運転時温度範囲：0～50 °C  保管時温度範囲：-25～50 °C  ガスは括弧内に表記 （大気、窒素、ヘリウム、アルゴン、二酸化炭素） （他のガスを使用する場合は、弊社にご相談ください） センサーの仕様 センサーの型名 IL2-C IL2-L IL2-M Intelligent Gas Leak Sensorセンサーのタイプ （IGLS） 最小流量範囲 0～1 cc/min 0～1 l/min 0～0.025 cc/min 最大流量範囲 0～500 cc/min 0～25 l/min 0～5 cc/min 圧力範囲 2～500 psia / 0.15～34.5 bar abs 気圧 – 100 psia / 7 bar abs 2～65 psia / 0.15～4.5 bar abs タイプ 絶対、微細加工 絶対、微細加工 絶対、微細加工 読み取り値の+/- 1%（オプションで 読み取り値の+/- 1%（オプションで 読み取り値の+/- 2%（オプションで流量測定誤差 0.6%）、校正範囲 0.6%）、校正範囲 1%）、校正範囲 1) 1 µg/min = 1.3 · 10-5 mbar l/s（STP） 8

センサーの設計 圧力リークテスターと Micro-Flow センサー テスター IL2-C IL2-L IL2-M IL2-KM IL2-HP IF2-HF LCD イーサ タッチ ネット スクリーン E-PDQ (EQ) ■ ■  ■ E2 ■ ■ ■ ■ ■ IPE2 ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ IPE2-HP ■ ■ ■ 圧力リークテスターと Micro Extraction センサー テスター IL2-C IL2-L IL2-M IL2-KM IMFS LCD イーサ タッチ ネット スクリーン E-PDQ (MQ) ■ ■  ■ VE2 ■ ■ ■ ■ ■ ■ ME3 ■ ■ ■ ■ ■ ME2 ■ ■ ■ ■ ■ ■ ■ ME2-Packaging ■ ■ ■ ■ ■ ■ IPE2 ■ ■ ■ ■ ■ ■ *E-PDQ にはリモートディスプレイがオプションで用意されています。 IL2-KM L2-HP IMFS IF2-HF Intelligent Molecular Flow Sensor（IMFS） Intelligent Gas Flow Sensor（IGFS） 0～10 cc/min 0～1 cc/min 0～1 μg/min1) 0～50 l/min 0～250 cc/min 0～25 cc/min 0～400 μg/min1) 0～10,000 l/min 2～65 psia / 0.15～4.5 bar abs 気圧 – 2100 psia / 145 bar abs 0～0.2 psia / 0～13 mbar abs 気圧 – 100 psia / 7 bar abs 絶対、微細加工 絶対、静電容量 絶対、静電容量 絶対、微細加工 読み取り値の+/- 2% 1% 読み取り値の+/- 2%、校正範囲 読み取り値の+/- 5% 流量の+/- 1% （オプションで ）、校正範囲 （オプションで 2%）、校正範囲 （オプションで 0.6%）、校正範囲 9

リークテスター – E-PDQ Micro-Flow、Mass Extraction のためのコンパクト設計 E-PDQ は、小型部品の製造中のリーク検査をすばやく行い、製品が リーク気密性の要件を確実に満たすようにします。コンパクトな設 計は装置の統合に最適です。圧力用途には EQ、真空用途には MQ が あります。 カスタマーベネフィット  コンパクト設計 – 統合が容易  一体化された蓄圧器（負圧貯蔵タンク） – 検査のセットアップが簡単  高いコスト効率 – 迅速な投資回収 ソリューション例 ライフサイエンス産業向け マルチステーションリーク・フロー検査装置 アプリケーション 医療機器 電子機器 バルブ 10

技術データ 1) E-PDQ EQ MQ 適用可能な Micro-Flow センサー IL2-M、IL2-KM リークレート／感度 0.03 cc/min 以上 圧力範囲 > 14.5 psia / 1 bar abs 2 psia / 0.138 bar abs ≤ 65 psia / 4.5 bar abs ≤ 14.5 psia / 1 bar abs 寸法 幅 102 × 高さ 159 × 奥行き 254 mm （コネクタ、固定具を含まず） ガス クリーンドライガス、大気、窒素（さらに他のガスも検出可能） 空気圧接続 テストポート⅛インチ Swagelok®、空気／真空供給¼インチ Swagelok® デジタル入力 5～30 V DC、光絶縁、起動、停止、テストタイプ、リモート圧力スイッチ デジタル出力 5～30 V DC、光絶縁、合格、不合格、テストタイプ、テストオン、クランプ、カスタム出力 アナログ出力 シングルチャネル、0～5 V DC 圧力制御 電源 24 V DC（最大電流 2 A） インターフェイス RJ-45 イーサネットまたは RS-232 シリアルインターフェイス 1) 具体的な技術仕様は使用するセンサーによって異なります。 弊社は、お客様の用途に最適な構成の選定を支援します。 製品の特徴  コンパクトな設計で省スペースを実現  複数のキャビティを 1 台のマシンで同時に検査可能なラックマ ウント設計  バージョン EQ は Micro-Flow 圧力検査に対応  バージョン MQ は真空下での Mass Extraction 検査に対応  LeakTek プログラム、データ記憶装置を搭載した Bluetooth 対 応のグラフィカルなリモートタッチスクリーン 2)  過酷な運転条件に対応した、データ記憶装置を搭載しないリ モートタッチスクリーン  バルブ、シーケンスコントローラを含む自動化された検査回路  イーサネットまたはシリアルポートによるデジタルおよびアナ ログ I/O インターフェイス  読みやすい LED で検査の状態を表示：検査中、合格、不合格 2) Microsoft Windows® 10 に対応 11

リークテスター – E2 Micro-Flow によりさまざまな圧力検査に対応 弊社の E2 テスターは、圧減衰と比較して 25～40%速い効率の高さ で人気があります。過酷な産業用途に加え、無菌、クリーンルーム用 途（オプションのステンレス鋼ハウジング）向けに提供されます。グ ラフィカルなディスプレイ、リアルタイムの特性グラフ、タッチスク リーンは非常に使いやすく、検査のセットアップを損なう危険もあ りません。オプションで動的または静的に IP アドレスを割り当て、 LAN によるリモートインターフェイスを実現することも可能です。 カスタマーベネフィット  バランスおよび急速充填機能を搭載した自動化された圧力検査 回路 – 時間を節約  スタンドアロン用途向けの使いやすいオペレーターインター フェイス – 検査のセットアップが簡単  高いコスト効率 – 迅速な投資回収 ソリューション例 自動車のクーラントタンク用デュアルステーションリークテスター アプリケーション 自動車 医療機器 機械部品 （燃料部品） （排水装置） （ギアボックスハウジング） 12

技術データ 1) E2 適用可能な Micro-Flow センサー IL2-M、IL2-KM、IL2-C リークレート／感度 0.1 cc/min 以上 圧力範囲 14.5～165 psia / 1～11 bar（絶対） 寸法 幅 305 × 高さ 305 × 奥行き 305 mm （コネクタ、固定具を含まず） 膨張タンクおよび圧力調整器は外部に取り付け ガス クリーンドライガス、大気、窒素（さらに他のガスも検出可能） 空気圧接続 ¼インチ Swagelok® デジタル入力 5 V DC、光絶縁、起動、停止、タイプ、圧力スイッチ、検証 デジタル出力 30 V DC～20 mA、光絶縁、合格、不合格、クランプ、テストタイプ、排気およびカスタム アナログ出力 シングルチャネル、0～5 V DC 圧力制御 電源 115 V AC / 60 Hz、220 V AC / 50 Hz（オプション） インターフェイス RJ-45 イーサネットまたは RS-232 シリアルインターフェイス 1) 具体的な技術仕様は使用するセンサーによって異なります。弊社は、お客様の用途に最適な構成の選定を支援します。 製品の特徴  中型部品、高スループット  スタンドアロン用途向けの使いやすいオペレーターインター フェイス  バランスおよび急速充填機能を搭載した自動化された圧力検査 回路  タッチスクリーンを搭載した正面の TFT グラフィカルカラー ディスプレイ  検証オリフィス（オプション、校正リーク）  イーサネットまたはシリアルポートによるデジタルおよびアナ ログ I/O インターフェイス  クリーンルーム用のステンレス鋼筐体  複数の検査プロファイル  UL および CE 認証取得 13

リークテスター – VE2 大気を真空で使用した高感度リーク検査 モデル VE2 は人気のある Mass Extraction テスターで、追加の内蔵 急速充填回路により高スループットを実現し、大気を使用して、リー ク気密性が 1 · 10-4 sccs を超える中型部品を取り扱うことができま す。産業用途に加え、無菌、クリーンルーム用途（オプションのステ ンレス鋼ハウジング）向けに提供されます。 グラフィカルなディスプレイ、リアルタイムの特性グラフ、タッチス クリーンは非常に使いやすく、検査のセットアップを損なう危険も ありません。IP アドレスを割り当て、LAN によるインターフェイス を実現できます。 カスタマーベネフィット  大気を使用して、最高 1 · 10-4 sccs のリークを検出 - 高感度  バランスおよび急速真空排気機能を搭載した自動化された真空 検査回路 - 時間を節約  スタンドアロン用途向けの使いやすいオペレーターインター フェイス - 検査のセットアップが簡単 ソリューション例 パウチのリーク検査のセットアップ アプリケーション 給油口 パウチおよびトレイ バルブ 14

技術データ 1) VE2 適用可能な Micro-Flow センサー IL2-C、IL2-KM、IL2-M、大気圧から真空（2 psia）まで（138 mbar abs） リークレート／感度 1 · 10-4 sccs（1 · 10-4 mbar l/s） 圧力範囲 真空 – 2 psia（138 mbar abs）から大気圧まで 寸法 幅 305 × 高さ 305 × 奥行き 305 mm （コネクタ、固定具を含まず） 膨張タンクおよび真空調整器は外部に取り付け ガス クリーンドライガス、大気、窒素（さらに他のガスも検出可能） 空気圧接続 テストポートおよび真空 3/8 インチ Swagelok®（テスター側） デジタル入力 5 V DC、光絶縁、起動、停止、タイプ、圧力スイッチ、検証 デジタル出力 30 V DC～20 mA、光絶縁、合格、不合格、クランプ、テストタイプ、排気およびカスタム アナログ出力 シングルチャネル、0～5 V DC 圧力制御 電源 115 V AC / 60 Hz、220 V AC / 50 Hz（オプション） インターフェイス RJ-45 イーサネットまたは RS-232 シリアルインターフェイス 1) 具体的な技術仕様は使用するセンサーによって異なります。弊社は、お客様の用途に最適な構成の選定を支援します 製品の特徴  Micro-Flow センサー - IGLS2) （真空の生成）  バランスおよび急速真空排気弁を搭載した自動化された真空検 査回路  タッチスクリーンを搭載した正面の TFT グラフィカルカラー ディスプレイ  検証オリフィス（オプション、校正リーク）  イーサネットまたはシリアルポートによるデジタルおよび アナログ I/O インターフェイス  無菌、クリーンルーム用のステンレス鋼筐体  複数の検査プロファイル 2) Intelligent Gas Leak Sensor 15

リークテスター – IPE2、IPE2-HP 要求の厳しい用途に対応した高感度のすばやいエアリーク検査 モデル IPE2 は、弊社の最上位の産業向けリークテスターです。高圧 検査からデュアルチャネル能力まで、短いサイクルタイムが必須の 要求の厳しい用途に向けて設計されており、多用する場合や大型部 品の検査を想定して作られています。 カスタマーベネフィット  要求の厳しい用途に向けた高圧弁および固定具 – ロバスト性  より速いスループットを実現するデュアルチャネルオプション – 時間を節約  デュアルチャネルで真空検査と圧力検査を組み合わせることが 可能 – 柔軟性 ソリューション例 ラジエータ用デュアルステーションリークテスター アプリケーション ラジエータ 管類 自動車トランスミッション ハウジング 16

技術データ 1) IPE2、IPE2-HP 適用可能な Micro-Flow センサー IL2-C と IL2-L、IL2-M、IL2-KM、IL2-HP、IF2-HF（フロー／狭窄流／閉塞流検査） リークレート／感度 最高 0.02 cc/min 圧力範囲 ≤ 2100 psia（145 bar abs） 寸法 幅 686 × 高さ 610 × 奥行き 483 mm （コネクタ、固定具を含まず） 膨張タンクおよび圧力調整器は外部に取り付け ガス クリーンドライガス、大気、窒素（さらに他のガスも検出可能） 空気圧接続 ¼～½インチ Swagelok®（用途による） デジタル入力 5 V DC、光絶縁、起動、停止、タイプ、圧力スイッチ、検証 デジタル出力 30 V DC～20 mA、光絶縁、合格、不合格、クランプ、テストタイプ、排気およびカスタム アナログ出力 シングルチャネル、0～5 V DC 圧力制御 電源 115 V AC / 60 Hz、220 V AC / 50 Hz（オプション） インターフェイス RJ-45 イーサネットまたは RS-232 シリアルインターフェイス 1) 具体的な技術仕様は使用するセンサーによって異なります。弊社は、お客様の用途に最適な構成の選定を支援します。 製品の特徴  1～2 つの独立したテストチャネル - 圧力検査と真空検査を組み 合わせることが可能  シングルまたはデュアルテストチャネルと、圧力リーク検査、 狭窄流／閉塞流のテストチャネル  大量の複雑な部品を短いサイクルタイムで検査  高圧（HP）オプションには、シングルチャネル用の自動高圧検 査回路が搭載されています。  ステンレス鋼高圧検査回路（オプション）  スタンドアロン装置向けの使いやすいオペレーターインター フェイス  各テストチャネル用のイーサネットまたはシリアルポートによ るデジタルおよびアナログ I/O インターフェイス  ソートテストコントローラ（オプション） 17

リークテスター – ME2 高性能 Mass Extraction（真空）リークテスター モデル ME2 は、要求の厳しい高感度用途に向けた、大気を使用した 人気のある Mass Extraction テスターです。高スループットの中型部 品を想定して作られたこのテスターは、クリーンルームまたは産業 用途向けに提供されます。ME2 は、要求の厳しい医薬品用途である CCIT（容器完全性試験）に特に有用です。 カスタマーベネフィット  大気を使用して、欠陥サイズが最高 1 µm のリークを検出 – 高 感度  簡易なチャンバーの採用により、さまざまな部品に使用可能 – 柔軟性  スタンドアロン用途向けの使いやすいオペレーターインター フェイス – 検査のセットアップが簡単 ソリューション例 Mass Extraction テストカート（医薬品研究施設用） アプリケーション バイアル瓶 点滴バッグ バッテリー 18

技術データ 1) ME2 低真空 高真空センサー 適用可能な Micro-Flow センサー IL2-M、2 psia（138 mbar abs.）から大気圧 IMFS、校正範囲 0.01～0.2 psia（1～14 mbar abs.） まで校正（滑り流および粘性流状態） （分子流および遷移流状態） リークレート／感度 1 · 10-4 sccs（1 · 10-4 mbar l/s）、 7 · 10-7 sccs（1 · 10-7 mbar l/s、 2 psia（138 mbar abs.） 欠陥サイズ 0.2 μm）、0.02 psia（1 mbar abs.） 圧力範囲 真空 – 0.01 psia（1 mbar abs）から大気圧まで 寸法 – ME2（テスター） 幅 686 × 高さ 610 × 奥行き 483 mm （コネクタ、固定具を含まず） – オプションのカート 幅 711 × 高さ 1194 × 奥行き 508 mm 膨張タンク、真空生成、制御パッケージを外部のオプションのカートに取り付け ガス クリーンドライガス、大気、窒素、水蒸気（さらに他のガスも検出可能） 空気圧接続 - 給気 1/4 インチ Swagelok® - 真空 3/8～1 インチ NW（用途による） デジタル入力 5 V DC、光絶縁、起動、停止、タイプ、圧力スイッチ、検証 デジタル出力 30 V DC～20 mA、光絶縁、合格、不合格、クランプ、テストタイプ、排気およびカスタム アナログ出力 シングルチャネル、0～5 V DC 圧力制御 電源 115 V AC / 60 Hz、220 V AC / 50 Hz（オプション） インターフェイス RJ-45 イーサネットまたは RS-232 シリアルインターフェイス 1) 具体的な技術仕様は使用するセンサーによって異なります。弊社は、お客様の用途に最適な構成の選定を支援します。 製品の特徴  真空下での Mass Extraction 検査  中型部品、高スループット  自動化された真空検査回路、高気密リーク仕様に向けた独自設計  バランスおよび急速真空排気回路を内蔵  タッチスクリーンを搭載した正面のグラフィカルディスプレイ  検証オリフィス（オプション、校正リーク）  イーサネットまたはシリアルポートによるデジタルおよびアナロ グ I/O インターフェイス  クリーンルーム用のステンレス鋼筐体  さまざまなサイズのオイルレスの真空生成および制御パッケージ  テストカート（オプション）、1 つ以上のテストチャンバー （ツーリング）、すばやい工具交換 19

リークテスター – ME3 高性能 Mass Extraction（真空）インラインリークテスター モデル ME3 は、ATC の Mass Extraction 技術（真空）を利用した、容 器完全性試験用の高速インラインテスターです。数分の 1 ミクロンの 欠陥サイズを検出可能な高速生産ライン、マルチステーションによる 最大 120 ppm の高速生産を想定して作られた ME3 は、要求の厳しい 医薬品生産環境での CCIT（容器完全性試験）に特に有用です。 カスタマーベネフィット  大気を使用して、欠陥サイズが最高 1 µm のリークを検出 – 高感度  コンパクト設計 – 統合が容易  上流側でのグロスリークチェックにより、大きな欠陥を迅速に 特定 – 検査のスピード ソリューション例 点滴バッグの容器完全性試験を 100%インラインで実施 アプリケーション バイアル瓶 点滴バッグ バッテリー 20