LIQUID | 液体用製品
VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、 熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。
◆LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
◆ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給。
◆熱に対して不安定な Low-k、High-k、各種メタルなどの気化供給に最適。
◆ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室でブローアップガスによりミスト化されることで効率よく気化。
◆耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 軽接触式気化器 VU-900 Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 153.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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液体用製品
軽接触式気化器
■概 要
●VU-900シリーズは、液体が気化室に接触する機会を少なくすることで、
熱変質を起こすことなく安定気化供給することが可能な気化器です。
●LM-3000L シリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。
■特 長
●ソレノイドアクチュエータ搭載により、精密制御された液体を気化供給
●熱に対して不安定な Low-k、High-k、各種メタルなどの気化供給に最適
●ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、気化室でブローアップガス
によりミスト化されることで効率よく気化
●耐久性、シール性に優れたシール材を採用することで、メンテナンス性が向上
型式名 VU-0920N VU-0912N VU-0914N
最大気化流量 H2O 5g/min 7g/min 30g/min
制御流量範囲 10～ 100% F.S.
必要差圧 50 ～ 300kPa
耐圧 1MPa(G)
バルブ動作 ノーマリクローズ -
最大消費電力 120V 800W -
240V 800W 2400W 8400W
熱電対 K Type 1pc K Type 2pc
推奨温調方式 PID
最高使用温度 300℃ 200℃
サーマルスイッチ 350℃ ±9℃ Open 230℃ ±10℃ Open
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接液部材質 SUS316L, Ni-Co, ポリイミド SUS316L SUS316L, PFA
シール材 Au Au, カルレッツ ® カルレッツ ®
バルブ方式 ソレノイドアクチュエータ -
取付姿勢 コネクタ上方、配管ライン水平 コネクタ水平下方、配管ライン水平
重量 5kg 7kg 20kg
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