【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】UHVゲートバルブ

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 研究開発および産業の UHVアプリケーションの標準バルブ 潤滑剤が不要 Vulcanizedゲートシール付き DN63–200（用語解説参照） メンテナンスが簡単 Manual Pneumatic 3-position pneumatic 主な特徴 サイズ DN 63 – 320 mm (21／ 2" – 12") アクチュエータ 手動式：クランクハンドル式 圧空作動式：複動シリンダー 3位置圧空作動式：複動シリンダー バルブボディの材質 ステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ ISOF, CF-F, ASA-LP, JIS シール技術 VATLOCK方式（用語解説参照） 機能原理 CLOSED 1 Gate 2 Counter-plate 3 Leaf springs 4 Ball pairs OPEN 5 Ball detents 6 Gate seal 7 Spring stop  Valve seat side 44 2018 www.vatvalve.com

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 技術データ リーク量 バルブボディ < 5 · 10-10 mbar ls-1 バルブシート < 1 · 10-9 mbar ls-1 A 使用圧力範囲 DN 63 – 200 1 · 10-10 mbar to 1.6 bar (abs) DN 250 – 320 1 · 10-10 mbar to 1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 DN 63 – 200 ≤ 1.6 bar DN 250 – 320 ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 ≤ 30 mbar 第 1回サービスまでのサイクル数 50 000 許容温度 1) バルブボディ ≤ 250 ºC（ バルブ開） / ≤ 200 ºC（ バルブ閉） 手動アクチュエータ ≤ 250 ºC 圧空アクチュエータ ≤ 200 ºC 電磁弁 ≤ 50 ºC リミットスイッチ ≤ 80 ºC 加熱および冷却速度 ≤ 50 ºC h-1 材質 バルブボディ AISI 304 (1.4301) 機構 DN 63 – 200 AISI 316L (1.4404) DN 250 – 320 AISI 304 (1.4301) ベローズ AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール ボンネット メタル ゲート FKM (Viton®) 軸シール ベローズ 取付け方向 自由 電磁弁 24 V DC, 5.4 W (others on request) リミットスイッチ：接点容量 電圧 ≤ 50 V AC/DC 電流 ≤ 1.2 A バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き 手動式バルブ 圧空作動式バルブ 2) （ （（ 呼 にA 分コ ス 重 作 の圧 閉 重 び よ寸子ン ト 量 動 容空 ／ 量 内 る法流ダ ロ 圧 量ア 開 径 ）や） ク ー 力 ク 時 ） タ ク 範 チ 間フ ン 当 囲 ュ ラ ス た エ ン り ー ジ 回 タ 種 転 類 数 mm inch ls-1 n kg lbs bar psi l ft3 s kg lbs  63 21／ 2    600 10  9 20 4 – 7 58 – 102 0.08 0.0028 1  9  20  80 3    765 10  9 20 4 – 7 58 – 102 0.08 0.0028 1  9  20 100 4  1 740 13 11 24 4 – 7 58 – 102 0.11 0.0038 1.20 12  26 160 6  5 880 17 16 35 4 – 7 58 – 102 0.14 0.0049 1.50 17  37 200 8 12 200 17 29 64 4 – 7 58 – 102 0.25 0.0087 2 29  64 250 10 21 690 40 51 112 5 – 7 73 – 102 0.35 0.0122 4 52 115 320 12 29 130 45 89 196 5 – 7 73 – 102 0.48 0.0167 5 91 200 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 2) 3位置圧空作動式バルブの技術データはお問い合わせ下さい。 www.vatvalve.com 2018 45 min. – max. overpressure DN

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 オプション、 カスタマイズソリューション Dia. 1 アクチュエータ – インパルス電磁弁：停電時、バルブの最終位置を保持 – 別置き用電磁弁付き O-ring seal Vulcanized seal – 多種の電磁弁電圧（標準：24 V DC） See glossary – 緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 – 2重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位置に 2つのリミットスイッチ付き） Dia. 2 – 耐熱リミットスイッチ： 手 動アクチュエータ用：最高ベークアウト温度 250ºC、 圧空アクチュエータ用：最高ベークアウト温度 200ºC – C接点付きリミットスイッチ バルブ – お客様指定のフランジ、水冷機構あり /なし – 標準以外のシール材料 – O-リングシールのゲート（Dia. 1）、DN 63, 100, 160, 200（標準：Vulcanizedシール） – ポ ート付き（粗引き（バイパス）、ベント、排気またはゲージ用）（Dia. 2）：A, B の位置に取り付け可能  Valve seat side mm 63 80 100 160 200 250 320 DN valve inch 21／2 3 4 6 8 10 12 Recommended port Dia. 3 40 40 40 40 40 40 40CF-F mm 110 110 120 205 260 335 415 X inch 4.33 4.33 4.72 8.07 10.24 13.19 16.34 mm 44 64 64 64 68 62 72 Y inch 1.73 2.52 2.52 2.52 2.68 2.44 2.83 Other ports on request – 省スペース / コンパクト型：DN 200 + 250のみ（Dia. 3） – 各種金属箔の取付けに対応した特殊バルブ – 窓付きゲート（Dia. 4）、DN 63, 100, 160, 200 Window screwed into gate. Window material: e. g. borosilicate  Valve seat side Seals: elastomer 1 Valve body Dia. 4 2 Gate 3 Elastomer seal 4 Window 5 Screwed window retainer  Valve seat side mm 63 100 160 200 DN valve inch 21／2 4 6 8 Optically free mm 40 43 68 90 diamter «S» inch 1.57 1.69 2.67 3.54 mm 4 4 6 6 Thickness of glass inch 0.15 0.15 0.23 0.23 46 2018 www.vatvalve.com

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 スペアパーツ スペアパーツは豊富に取り揃えております。製品の詳細情報やご注文については お問い合わせ下さい。 スペアパーツに関するお問い合わせの際は、識別タグに表示されたバルブのシリア A ルナンバーを指定して下さい。 別売付属品 – バルブ取付け用真空継ぎ手類：Series32、33参照 – ヒーター 注文情報 標準バルブ 手動式 クランクハンドル式 DN Ordering numbers CF-F CF-F JIS保守用 mm inch ISO-F metric threads UNF threads ASA-LP フランジ  63 21／2 10836-PE01 10836-CE01 10836-UE01 10836-TE01 10836-JE01  80 3 10838-PE01 10838-CE01 10838-UE01 10838-TE01 10838-JE01 100 4 10840-PE01 10840-CE01 10840-UE01 10840-TE01 10840-JE01 160 6 10844-PE01 10844-CE01 10844-UE01 10844-TE01 10844-JE01 200 8 10846-PE01 10846-CE01 10846-UE01 10846-TE01 10846-JE01 250 10 10848-PE01 10848-CE01 10848-UE01 10848-TE01 10848-JE01 320 12 10850-PE01 on request on request 10850-TE01 10850-JE01 リミットスイッチ付き：108 . . - . E08 圧空作動式 複動シリンダー DN Ordering numbers（電磁弁電圧を指定して下さい） 電磁弁付き CF-F CF-F JIS保守用 リミットスイッチ付き mm inch ISO-F metric threads UNF threads ASA-LP フランジ  63 21／2 10836-PE44 10836-CE44 10836-UE44 10836-TE44 10836-JE44  80 3 10838-PE44 10838-CE44 10838-UE44 10838-TE44 10838-JE44 100 4 10840-PE44 10840-CE44 10840-UE44 10840-TE44 10840-JE44 160 6 10844-PE44 10844-CE44 10844-UE44 10844-TE44 10844-JE44 200 8 10846-PE44 10846-CE44 10846-UE44 10846-TE44 10846-JE44 250 10 10848-PE44 10848-CE44 10848-UE44 10848-TE44 10848-JE44 320 12 10850-PE44 on request on request 10850-TE44 10850-JE44 電磁弁なし、リミットスイッチなし：108 . . - . E14 電磁弁なし、リミットスイッチ付き：108 . . - . E24 電磁弁付き、リミットスイッチなし：108 . . - . E34（電磁弁電圧を指定して下さい） 3位置圧空作動式 複動シリンダー DN Ordering numbers（電磁弁電圧を指定して下さい） 電磁弁付き CF-F CF-F JIS保守用 リミットスイッチ付き mm inch ISO-F metric threads UNF threads ASA-LP フランジ  63 21／ 2 10836-PE48 10836-CE48 10836-UE48 10836-TE48 10836-JE48  80 3 10838-PE48 10838-CE48 10838-UE48 10838-TE48 10838-JE48 100 4 10840-PE48 10840-CE48 10840-UE48 10840-TE48 10840-JE48 160 6 10844-PE48 10844-CE48 10844-UE48 10844-TE48 10844-JE48 200 8 10846-PE48 10846-CE48 10846-UE48 10846-TE48 10846-JE48 250 10 10848-PE48 10848-CE48 10848-UE48 10848-TE48 10848-JE48 320 12 10850-PE48 on request on request 10850-TE48 10850-JE48 電磁弁なし、リミットスイッチ付き：108 . . - . E28 注文情報 バルブの基本注文番号（Ordering number）と «-X»：-Xは指定してください。 オプション付きバルブ 例：10846-CE44-X、X = Aの位置にある CF-F 40 のポート www.vatvalve.com 2018 47

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 寸法図 Valve with manual actuator Valve with manual actuator DN 63 – 200 (21／ 2" – 8") DN 250 – 320 (10" – 12")  Valve seat side Projection E g Required for dismantling e Mechanical position indication d Leak detection hole i For attachment DN mm 63 80 100 160 200 250 320 inch 21／2 3 4 6 8 10 12 K mm 27 27 27 27 34.50 41 54 inch 1.06 1.06 1.06 1.06 1.36 1.61 2.13 L mm 406 421 461 551 660 841 1038 inch 15.98 16.57 18.15 21.69 25.98 33.11 40.87 M mm 57 57 73 99 125 160 198 inch 2.24 2.24 2.87 3.90 4.92 6.30 7.80 N mm 191 205 246 336 430 559 724 inch 7.52 8.07 9.68 13.23 16.93 22.01 28.50 O mm 115 115 145 200 250 344 448 inch 4.53 4.53 5.71 7.87 9.84 13.54 17.64 O1 mm 112 112 143 192 240 321 396 inch 4.41 4.41 5.63 7.56 9.45 12.64 15.59 P mm 70 70 70 70 80 80 114 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.15 4.49 Q mm 180 180 220 290 350 450 560 inch 7.09 7.09 8.66 11.42 13.78 17.72 22.05 S mm 11 11 9 25 38.50 65 80 inch 0.43 0.43 0.35 0.98 1.52 2.56 3.15 T mm 185 185 185 185 195 239 271 inch 7.28 7.28 7.28 7.28 7.68 9.41 10.67 U mm 70 70 70 70 90 90 90 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.54 3.54 3.54 U1 mm 83 83 83 83 103 103 103 inch 3.27 3.27 3.27 3.27 4.06 4.06 4.06 W mm 76 76 76 76 94 134 134 inch 2.99 2.99 2.99 2.99 3.70 5.28 5.28 フランジ寸法：50–51頁参照 48 2018 www.vatvalve.com

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 寸法図 Valve with pneumatic actuator Valve with pneumatic actuator DN 63 – 200 (21／ 2" – 8") DN 250 – 320 (10" – 12") A  Valve seat side f Position indicator Projection E g Required for dismantling d Leak detection hole b Compressed air connection h Emergency operation c Electrical connection i For attachment e Mechanical position indication DN mm 63 80 100 160 200 250 320 inch 21／2 3 4 6 8 10 12 K mm 27 27 27 27 34.50 41 54 inch 1.06 1.06 1.06 1.06 1.36 1.61 2.13 L mm 342 358 414 521 626 796 1010 inch 13.46 14.07 16.30 20.51 24.65 31.34 39.76 M mm 57 57 73 99 120 161 198 inch 2.24 2.24 2.87 3.90 4.73 6.34 7.80 N mm 191 205 246 336 429 558 723 inch 7.52 8.07 9.68 13.23 16.89 21.97 28.46 O mm 115 115 145 200 250 344 448 inch 4.53 4.53 5.71 7.87 9.84 13.54 17.64 O1 mm 112 112 143 192 230 321 396 inch 4.41 4.41 5.63 7.56 9.06 12.64 15.59 P mm 70 70 70 70 80 80 114 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.15 4.49 Q mm 180 180 220 290 350 450 560 inch 7.09 7.09 8.66 11.42 13.78 17.72 22.05 S mm 11 11 9 25 38.50 65 80 inch 0.43 0.43 0.35 0.98 1.52 2.44 3.15 T mm 151 151 168 185 197 238 287 inch 5.94 5.94 6.61 7.28 7.76 9.37 11.30 U mm 70 70 70 70 90 90 90 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.54 3.54 3.54 U1 mm 83 83 83 83 103 103 103 inch 3.27 3.27 3.27 3.27 4.06 4.06 4.06 V mm 145 145 145 145 150 150 150 inch 5.71 5.71 5.71 5.71 5.91 5.91 5.91 W mm 80 80 80 80 89 89 89 inch 3.15 3.15 3.15 3.15 3.50 3.50 3.50 フランジ寸法：50–51頁参照 www.vatvalve.com 2018 49

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 フランジ寸法図 ISO-F DN mm 63 80 100 160 200 250 320 DN 63 – 320 (2½" – 12") inch 2½ 3 4 6 8 10 12 A mm 70 70 70 70 80 100 120 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.94 4.72 B mm 130 145 165 225 285 350 425 inch 5.12 5.71 6.50 8.86 11.22 13.78 16.73 C mm 110 125 145 200 260 310 395 inch 4.33 4.92 5.71 7.87 10.24 12.20 15.55 D mm 70 76 100 150 200 261 306 inch 2.76 2.99 3.94 5.91 7.87 10.28 12.05 E × F 4 × M8 8 × M8 8 × M8 8 × M10 12 × M10 12 × M10 12 × M12 G mm 13 13 13 13 15 15 18 inch 0.51 0.51 0.51 0.51 0.59 0.59 0.71 H mm 83 102 153 213 318 – –inch 3.27 4.02 6.02 8.39 12.52 I mm 3 3 5 5 5 – –inch 0.12 0.12 0.20 0.20 0.20 CF-F, metric threads DN mm 63 80 100 160 200 250 DN 63 – 250 (2½" – 10") inch 2½ 3 4 6 8 10 O. D. inch 4½ 4⅝ 6 8 10 12 A mm 70 70 70 70 80 100 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.94 B mm 113.50 117.50 151.60 202.40 253.20 350 inch 4.47 4.63 5.97 7.97 9.97 13.78 C mm 92.10 102.40 130.20 181 231.80 284 inch 3.63 4.03 5.13 7.13 9.13 11.18 D mm 70 76 100 150 200 254 inch 2.76 2.99 3.94 5.91 7.87 10.00 E × F 8 × M8 10 × M8 16 × M8 20 × M8 24 × M8 32 × M8 H1 mm 82.50 91.65 120.70 171.45 222.40 273.15 inch 3.25 3.61 4.75 6.75 8.76 10.75 H2 mm 77.40 86.30 115.50 166 217 267 inch 3.05 3.40 4.55 6.54 8.54 10.51 CF-F, UNF threads DN mm 63 80 100 160 200 250 1) 250 2) DN 63 – 250 (2½" – 10") inch 2½ 3 4 6 8 10 10 O. D. mm 4½ 4⅝ 6 8 10 12 1) 13 ¼ 2)inch A mm 70 70 70 70 80 100 100 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.94 3.94 B mm 113.50 117.50 151.60 202.40 253.20 350 350 inch 4.47 4.63 5.97 7.97 9.97 13.78 13.78 C mm 92.10 102.40 130.20 181 231.80 284 306.30 inch 3.63 4.03 5.13 7.13 9.13 11.18 12.06 D mm 70 76 100 150 200 254 254 inch 2.76 2.99 3.94 5.91 7.87 10.00 10.00 × 5 × 5 × 5 × 5 × 5 × 5 × 316 16 16 16 16 16 8 E × F 8 / " 10 / " 16 / " 20 / " 24 / " 32 / " 30 / " 24 UNF 24 UNF 24 UNF 24 UNF 24 UNF 24 UNF 24 UNF H1 mm 82.50 91.65 120.70 171.45 222.40 273.15 294.64 inch 3.25 3.61 4.75 6.75 8.76 10.75 11.60 H2 mm 77.40 86.30 115.50 166 217 267 288.30 inch 3.05 3.40 4.55 6.54 8.54 10.51 11.35 1) Projection E O. D. 12"は VAT標準品、 2) :O. D. 13¼"はオプション：注文番号 10848-UE44-X, X = O. D. 13¼  Valve seat side 50 2018 www.vatvalve.com

UHVゲートバルブ、SERIES 10.8 フランジ寸法図 ASA-LP DN mm 63 80 100 160 200 250 320 DN 63 – 320 (2½" – 12") inch 2½ 3 4 6 8 10 12 A with or without O-ring groove ASA-LP 2 – 3 4 6 8 10 For orders with O-ring groove specify: «A», «B» or «A + B» A mm 70 70 70 70 80 100 120 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.94 4.72 B mm 152.40 177.80 190.50 225 279.40 350 425 inch 6.00 7.00 7.50 8.86 11.00 13.78 16.73 C mm 120.70 139.70 152.40 190.50 241.30 298.50 362 inch 4.75 5.50 6.00 7.50 9.50 11.75 14.25 D mm 70 76 100 150 200 254 300 inch 2.76 2.99 3.94 5.91 7.87 10.00 11.81 × E F 4 ⅜ " 4 × ⅜ " 8 × ⅜ " 8 × ⅜ " 8 × ¾" 8 × ¾" 12 × ¾" × 16 UNC 16 UNC 16 UNC 16 UNC 10 UNC 10 UNC 10 UNC G mm 15 15 15 15 19 19 19 inch 0.59 0.59 0.59 0.59 0.75 0.75 0.75 H mm 88.90 88.90 120.65 158.75 206.40 266.70 317.50 inch 3.50 3.50 4.75 6.25 8.13 10.50 12.50 O-ring mm 88.49 × 3.53 88.49 × 3.53 120.24 × 3.53 158.34 × 3.53 202.79 × 3.53 266.29 × 3.53 316.87 × 7.00 I. D. × D inch 3.48 × .139 3.48 × .139 4.73 × .139 6.23 × .139 7.98 × .139 10.48 × .139 12.47 × .275 JIS B 2290: 1998 / ISO 1609 DN mm 65 80 100 150 200 250 300 DN 65 – 300 (2½" – 12") inch 2 ½ 3 4 6 8 10 12 A mm 70 70 70 70 80 100 120 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 3.15 3.94 4.72 B mm 136 165 185 235 300 350 425 inch 5.35 6.50 7.28 9.25 11.81 13.78 16.73 C mm 120 135 160 210 270 320 370 inch 4.72 5.31 6.30 8.27 10.63 12.60 14.57 D mm 70 76 100 150 200 261 306 inch 2.76 2.99 3.94 5.91 7.87 10.28 12.05 E × F 4 × M10 8 × M10 8 × M10 8 × M10 8 × M12 12 × M12 12 × M12 G mm 13 13 13 13 15 15 16 inch 0.51 0.51 0.51 0.51 0.59 0.59 0.63 Projection E  Valve seat side www.vatvalve.com 2018 51