【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.2

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 SEMI, FPD, PV, SOLAR, 産業分野の圧力制御用バルブ 特に高速で高度なプロセスに最適（例：CVD） 汚れたプロセスでも信頼の開閉動作 優れた圧力制御能力 サービスポート装備 （PC接続用またはサービス BOX接続用） DN 25 – 50 DN 63 – 320 主な特徴 サイズ DN 25 – 320 mm (1" – 12") アクチュエータ コントローラ搭載型ステッピングモーター バルブボディの材質 アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール O-リング回転軸シール 標準フランジ ISO-KF, ISO-F 機能原理 Double seal of rotary feedthrough 1 Controller 2 Coupling 3 Bearing 4 Double seal 5 Plate 6 Valve body バルブプレートはバルブ開口のコンダクタンスを可変させる絞り要素として動作します。 バルブ本体と一体化されたコントローラは、設定圧力を実現するために必要なプレートの 開度を計算します。用語解説「フィードバック圧力制御」に記載の動作原理図も参照下さい。 また、エンコーダがステッピングモーターの位置をモニターしており、汚れたプロセスに おいても、高速で正確な圧力制御を実現しております。 126 2018 www.vatvalve.com

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 技術データ リーク量 1) バルブボディ < 1 · 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 1) 1 · 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) 第 1回サービスまでのサイクル数 2) 2 百万 許容温度 2) バルブボディ ≤ 150 ºC アクチュエータ：周囲温度 最大 50 ºC（推奨 ≤ 35 ºC） 材質 アルミニウムボディ /プレート EN AW-6082 (3.2315) ステンレスボディ /プレート AISI 316L (1.4404 or 1.4435) B シャフト AISI 316L (1.4404 or 1.4435) その他の部位 iglidur®X, AISI 316L (1.4404 or 1.4435) シール 軸シール FKM (e. g. Viton®) 軸シール O-リング回転軸シール 取付け方向 自由（ポンプ側のシャフト推奨） （ （コ （呼 分 分コ制 許プ 閉標 閉標 ア重 ス重 び 子ン ン御 容レ ／準 ポ／準 ル量 テ量 内 流ダ 子 流ダ可 最ー 開 ジ開 ミ： ン： シ 径 ）クタ ） ク能 大ト 時 時 ニ レ ） タ最 差に 間 ョ間 ウ スン ン少 圧か ン ム ス ス ス け 制 バ チ 得 御 ル ー る 用 ブ ル バ アルミニ ステンレス アルミニ ステンレス ル ウム スチール ウム スチール ブ mm inch ls-1 ls-1 mbar s s s kg lbs kg lbs 25 1 22 0.15 1000 0.3 0.3 0.09 0.09 2 4.40 2.50 5.50 40 11／ 2 80 0.25 1000 0.3 0.3 0.09 0.09 2.10 4.60 2.60 5.70 50 2 150 0.30 1000 0.3 0.3 0.09 0.09 2.40 5.30 3 6.60 63 21／ 2 360 0.45 1000 0.3 0.3 0.09 0.09 2.60 5.70 4.10 9 80 3 850 0.65 1000 0.3 0.3 0.09 0.09 2.80 6.20 4.70 10.40 100 4 1 400 0.85 800 0.3 0.3 0.09 0.1 3 6.60 5 11 160 6 3 800 1.70 300 0.3 0.3 0.1 0.13 4.20 9.30 7.20 15.90 200 8 7 800 2.80 150 0.3 0.3 0.13 0.17 4.70 10.40 10 22 250 10 15 000 5 100 0.3 0.6 0.17 0.27 5.70 12.50 12.30 27.10 320 12 27 000 6 75 0.6 n. a. 0.27 n. a. 10.40 23 n. a. n. a. 1) バルブの加熱なしの条件下で。 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 圧力コントローラの技術データ：184–189頁参照 www.vatvalve.com 2018 127 « » DN

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 オプション、 カスタマイズソリューション オプションによっては運用できないバルブ口径や、組み合わせての適応ができないものが あります。また、オプション運用により技術データの数値に変更が生じることがあります。 Pic. 2 アクチュエータ Pic. 1 – DN 100 までの超高速アクチュエータ（0.1 s） – 締切りバルブ制御用信号出力 – 特別な制御アルゴリズム（fix PID、アップストリーム制御、ソフト排気制御） – «ポジション制御用 » 4000段階の分解能（Pic. 1）：注文番号 613 . . - . . M1 バルブ – 標準外のバルブサイズ、例：DN 10 – 他のフランジ形式　例：JIS保守用フランジ、ASA-LP、CF-F – お客様指定のフランジ – 表面処理　例：硬質アルマイト加工、ニッケルメッキ – 標準以外のシール材料 – ヒーター（断熱カバー付き）（Pic. 2） – ヒーターの有無にかかわらずバブル加熱温度 200 ºC – 苛酷な生産プロセス仕様、DN 160まで。 例：1気圧までの差圧に対応、コンタミの多いプロセス向け – «バタフライバルブと締切り用バルブ »の組合せバルブ：Series95.1、95.2参照 スペアパーツ スペアパーツは豊富に取り揃えております。製品の詳細情報やご注文については お問い合わせ下さい。 スペアパーツに関するお問い合わせの際は、識別タグに表示されたバルブのシリア ルナンバーを指定して下さい。 別売付属品 バルブ取付け用真空継ぎ手類：Series31、32参照 128 2018 www.vatvalve.com

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 注文情報 標準バルブ コントローラ搭載型 ステッピングモーター DN Ordering numbers aluminum stainless steel mm inch ISO-KF ISO-F ISO-KF ISO-F 25 1 61228-KA x y 61228-KE x y 40 11／ 2 61232-KA x y 61232-KE x y 50 2 61234-KA x y 61234-KE x y B 63 21／ 2 61236-PA x y 61236-PE x y 80 3 61238-PA x y 61238-PE x y 100 4 61240-PA x y 61240-PE x y 160 6 61244-PA x y 61244-PE x y 200 8 61246-PA x y 61246-PE x y 250 10 61248-PA x y 61248-PE x y 320 12 61250-PA x y – x y センサーの コントローラ構成： G = basic version インターフェイス 数量 A = with SPS G = RS232 1 H = with PFO H = RS232 2 C = with SPS and PFO V = RS232 + analog output 1 T = basic version with VC master W = RS232 + analog output 2 V = with SPS and VC master C = Logic (analog / digital) 1 U = with PFO and VC master E = Logic (analog / digital) 2 W = with SPS, PFO and VC master P = DeviceNet® 1 Q = DeviceNet® 2 D = Profibus 1 SPS = センサー電源供給 F = Profibus 2 （± 15 V DCセンサー用電源供給） J = RS485 1 K = RS485 2 PFOS = 停電対策オプション Y = Ethernet 1 （停電時に自動的にバルブ開 / 閉） Z = Ethernet 2 VC = バルブクラスター L = CC-Link 1 （複数のバルブを同期をとって制御） N = CC-Link 2 I = EtherCAT 1 X = EtherCAT 2 S = VC slave (without interface) 例：61240-PAGG = I SO-F、DN 100フランジ、アルミニウムボディ、RS232インターフェイス、1セ ンサー «ポジション制御用 » バルブの注文番号については、「オプション」を参照下さい。 圧力コントローラについては、184 – 189頁を参照下さい。 注文情報 バルブの基本注文番号（Ordering number）と «-X»：-Xは指定してください。 オプション付きバルブ 例：61236-PEGG-X, X = 150 ºCのヒーター付き www.vatvalve.com 2018 129

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 寸法図 Valve with integrated pressure controller and stepper motor Valve with integrated pressure controller and stepper motor DN 25 – 50 (1" – 2") ISO-KF DN 63 – 320 (21／ 2" – 12") ISO-F g Required for dismantling Projection E c Electrical connection f Position indicator DN mm 25 40 50 63 80 100 160 200 250 320 inch 1 11／ 2 2 21／ 2 3 4 6 8 10 12 A mm 50 57 57 30 30 30 30 30 30 35 inch 1.97 2.24 2.24 1.18 1.18 1.18 1.18 1.18 1.18 1.38 B mm 65 80 90 130 145 165 225 285 335 425 inch 2.56 3.15 3.54 5.12 5.71 6.50 8.86 11.22 13.19 16.73 B1 mm 39.90 54.90 74.90 – – – – – – –inch 1.57 2.16 2.95 C mm 110 125 145 200 260 310 395 – – –inch 4.33 4.92 5.71 7.87 10.24 12.20 15.55 D mm 25 40 50 63 80 100 150 200 250 312 inch 0.98 1.57 1.97 2.48 3.15 3.94 5.91 7.87 9.84 12.28 × × E F mm 4 9 8 9 8 × 9 8 × 11 12 × 11 12 × 11 12 × 13 × – – – inch 4 × 0.35 8 × 0.35 8 × 0.35 8 × 0.43 12 × 0.43 12 × 0.43 12 × 0.51 H mm 26.30 41.30 52.30 70 83 102 153 213 261 318 inch 1.04 1.63 2.06 2.76 3.27 4.02 6.02 8.39 10.28 12.52 I mm 3 3 3 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 inch 0.12 0.12 0.12 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 K mm 27 27 27 – – – – – – –inch 1.06 1.06 1.06 N mm 49.50 57 62 77.50 90 98.50 123.50 157 182 233 inch 1.95 2.24 2.44 3.05 3.54 3.88 4.86 6.18 7.17 9.17 O mm 208 216 221 236 249 257 282 316 341 391 inch 8.19 8.50 8.70 9.29 9.80 10.12 11.10 12.44 13.43 15.39 P mm 124 124 124 124 124 124 124 124 124 124 inch 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 4.88 R mm 70 70 70 70 70 70 70 70 70 70 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 S mm 90 90 90 90 90 90 90 90 90 90 inch 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 3.54 130 2018 www.vatvalve.com

バタフライコントロールバルブ、SERIES 61.2 寸法図 Valve with integrated controller and stepper motor: Valve with integrated controller and stepper motor: «position only» version, ordering number 613 . . - . . M1 «position only» version, ordering number 613 . . - . . M1 DN 25 – 50 (1" – 2") ISO-KF DN 63 – 320 (21／ 2" – 12") ISO-F B g Required for dismantling Projection E c Electrical connection f Position indicator DN mm 25 40 50 63 80 100 160 200 250 320 inch 1 11／2 2 21／2 3 4 6 8 10 12 A mm 50 57 57 30 30 30 30 30 30 35 inch 1.97 2.24 2.24 1.18 1.18 1.18 1.18 1.18 1.18 1.38 B mm 65 80 90 130 145 165 225 285 335 425 inch 2.56 3.15 3.54 5.12 5.71 6.50 8.86 11.22 13.19 16.73 B1 mm 39.90 54.90 74.90 – – – – – – –inch 1.57 2.16 2.95 C mm 110 125 145 200 260 310 395 – – –inch 4.33 4.92 5.71 7.87 10.24 12.20 15.55 D mm 25 40 50 63 80 100 150 200 250 312 inch 0.98 1.57 1.97 2.48 3.15 3.94 5.91 7.87 9.84 12.28 E F mm 4 × 9 8 × 9 8 × 9 8 × 11 12 × 11 12 × 11 12 × 13 × – – – inch 4 × 0.35 8 × 0.35 8 × 0.35 8 × 0.43 12 × 0.43 12 × 0.43 12 × 0.51 H mm 26.30 41.30 52.30 70 83 102 153 213 261 318 inch 1.04 1.63 2.06 2.76 3.27 4.02 6.02 8.39 10.28 12.52 I mm 3 3 3 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 4.50 inch 0.12 0.12 0.12 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 0.18 K mm 27 27 27 – – – – – – –inch 1.06 1.06 1.06 N mm 49.50 57 62 77.50 90 98.50 123.50 157 182 233 inch 1.95 2.24 2.44 3.05 3.54 3.88 4.86 6.18 7.17 9.17 O mm 191 198 204 219 232 240 265 299 323 373 inch 7.52 7.80 8.03 8.62 9.13 9.45 10.43 11.77 12.72 14.69 P mm 91 91 91 91 91 91 91 91 91 91 inch 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 R mm 70 70 70 70 70 70 70 70 70 70 inch 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 2.76 S mm 91 91 91 91 91 91 91 91 91 91 inch 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 3.58 www.vatvalve.com 2018 131