振子式高真空バルブ　SERIES 16.2

SERIES 16.2 振子式高真空バルブ コンパクトな真空封止用バルブ、 高真空アプリケーション用 特長 サイズ DN 200 – 550 mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式： 単動シリンダー　閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式： 単動シリンダー　閉動作はスプリング（NC） ボディ材質 アルミニウム 軸シール 回転軸シール 標準フランジ ISO-F, ASA-LP, JIS 技術データ – バ ルブの開閉時に振動・パーティ リーク量 バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls-1 バルブシート クルの発生が少ない 使用圧力範囲 1 × 10-8 mbar – ボ ディ分割構造により容易で迅速な to 1.2 bar (abs) メンテナンスが可能 プレートにかけ得る ≤ 1.2 bar – 分解、 クリーニング後の調整不要 許容最大差圧 バルブを開けるときの DN 200 ≤ 10 mbar 許容最大差圧 DN 250 – 550 ≤ 5 mbar 第1回サービスまでの 200 000 サイクル数 加熱および冷却速度 ≤ 30 °C h-1 軸シール 回転軸シール 電磁弁 24 V DC、5.4 W （その他はお問い合わせ下さい） 許容温度 1) バルブボディ ≤ 120 °C アクチュエータ ≤ 80 °C 電磁弁 ≤ 50 °C リミットスイッチ ≤ 80 °C 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 16.8 振子式高真空バルブ

SERIES 16.2 振子式高真空バルブ アクチュエータ －多種の電磁弁電圧 材質 （標準： 24 V DC） バルブボディ、プレート、シーリング －その他のアクチュエータの位置 リング バルブ DN 200 – 400 EN AW-5083 (3.3547), －お客様指定のフランジ EN AW-6082 (3.2315) －標準以外のシール材 DN 500 – 550 EN AC-42100 (3.2371) －断 熱カバー、 異常過熱防止スイッチ付き ヒーター 軸シール AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) －硬 質アルマイト加工またはニッケルメッキ （parts in contact with media） 加工ボディ －フランジのボルト穴にヘリコイルをセット － ポート付き （粗引き （バイパス）、 シール ベント、 排気またはゲージ用） ® － 窓付きプレート ボンネット、プレート、 FKM (Viton ) ダイナミック、軸シール ポジション 取付け方向 自由 リミットスイッチ：接点容量 電圧 ≤ 50 V AC / DC 電流 ≤ 1.2 A バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き Functional principle 2 1 3 4 5 6 5 1 Plate 6 Actuator shaft 2 Sealing ring 7 Pneumatic actuator 3 Plate seal 4 Dynamic seal 5 Pneumatics seal バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com