バタフライコントロールシステム　SERIES 61.2

SERIES 61.2 バタフライコントロールシステム SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用 バルブ。 特に高速で高度なプロセスに最適 例：CVD 技術データ サイズ DN 25 – 320 mm (1“ – 12“) アクチュエータ 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール 回転軸シール 標準フランジ ISO-KF, ISO-F DN 63 – 250 リーク量1) バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲1) 1 × 10 -8 mbar ～1.2 bar (abs) 第1回サービスまでの 二百万回 サイクル数 2) 取付け方向 自由（ポンプ側のシャフト 取付けを推奨） 許容温度 2) バルブボディ ≤ 150 °C アクチュエータ （周囲温度） 最大50°C（≤35°Cを推奨） 材質 DN 25 – 50 バルブボディ、 プレート ： EN AW-6082 (3.2315) アルミニウム バルブボディ、 プレート ： AISI 316L (1.4404 or 1.4435) ステンレススチール シャフト AISI 316L (1.4404 or 1.4435) ® – 優 れた圧力制御能力 その他の部材 iglidur X, AISI 316L (1.4404 or 1.4435) – サ ービス時期の自動検出 （コンタミネーション検出） シール – サ ービスポート装備 軸シール FKM (e.g. Viton®) （P C 接続用またはサービス BOX 接続用） 1) バルブの加熱なしの条件下で。 – コ ンタミの多いプロセスへの 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 優れた適応性 SERIES 61.2 バタフライコントロールシステム

SERIES 61.2 バタフライコントロールシステム オプション アクチュエータ バルブ － DN 100 まで超高速アクチュエータ （0.1 s） － 標準外のバルブサイズ　例 ： DN 10 － 締切りバルブ制御用信号出力 － お客様指定のフランジ － 適応型アルゴリズム （fix PID、 アップストリーム、 － 表面処理　例 ： アルミニウム、 硬質アルマイト加工 ソフト排気制御） またはニッケルメッキ加工 － 4000 ステップの分解能 － 標準以外のシール材 － ヒーター有り / なしの 200°C 対応仕様 － 苛酷な生産プロセス仕様、 DN 160 まで。 例 ： 1 気圧までの差圧に対応、 コンタミの多い プロセス向け Functional principle 1 Controller バルブプレートはバルブ開口のコンダクタンスを可変させる絞り要素とし 2 Coupling て動作します。バルブ本体と一体化されたコントローラは、設定圧力を実 3 Bearing 現するために必要なプレートの開度を計算します。また、エンコーダがス 4 Double seal テッピングモーターの位置をモニターしており、ますます要求が過酷に 5 Plate なってきている汚れたプロセスにおいても、高速で正確な圧力制御を実現 6 Valve body しております。 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com