ソフト排気用アングルバルブ　SERIES 29.0

SERIES 29.0 ソフト排気用アングルバルブ 初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、 パーティクルの発生・基板の振動抑制用 技術データ リーク量 バルブボディ 1 × 10 – 9 mbar ls 1 バルブシート DN 63 – 80 DN 100 – 160 使用圧力範囲 1 × 10 – 8 mbar 1 × 10 – 7 mbar ～4 bar (abs) ～2 bar (abs) プレートにかけ得る 許容最大差圧 バルブ開方向 ≤ 1.2 bar ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 ≤ 4.0 bar ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの ≤ 1 bar ≤ 1 bar 許容最大差圧 – 大 きな差圧対応 第1回サービスまでの 三百万回 百万回 – 絞 り開口部はメモリでの設定が可能 サイクル数 – アングルおよびインラインボディ 軸シール（メインバルブ） ベローズ Oリング軸シール 電磁弁 24 V DC、9.0 W 24 V DC、9.0 W （その他はお問い合わせ下さい） 許容温度 1) バルブボディ ≤ 150 °C 電磁弁、 リミットスイッチ ≤ 80 °C DN 25 – 50 DN 63 – 80 アクチュエータ ≤ 120 °C ≤ 120 °C シール ボンネット、 プレート FKM (Viton®) 1) 高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 29.0 ソフト排気用アングルバルブ

SERIES 29.0 ソフト排気用アングルバルブ アクチュエータ －多種の電磁弁電圧 ポジション （標準 ： 24 V DC） 取付け方向 自由 －耐熱リミットスイッチ : 120°C リミットスイッチ ： 接点容量 バルブ 電圧 5 – 50 V AC / DC － CF フランジ 電流 5 – 100 mA －標準以外のシール材 バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き －お客様指定のボディ 材質 バルブボディ ： メインバルブ DN 25 – 63 DN 80 – 160 アルミニウム EN AW-6060 (3.3206), EN AC-42000 -6061 (3.3211), -6063 (3.3206), -6082 (3.2315) バルブボディ ： メインバルブ DN 25 – 160 ステンレススチール AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) DN 25 – 50 with bellows DN 100 – 1 60 with shaft feedthrough 1 2 3 4 5 7 2 1 3 4 5 8 6 1 Plate seal (soft-pump function) 1 Plate seal (soft-pump valve) 6 Bonnet seal (main valve) 2 Plate seal (valve) 2 Plate seal (main valve) 7 S etting of 3 Bellows 3 Bellows (soft-pump valve) the orifice opening 4 Bonnet seal 4 C losing sprin g 8 S haft feedthroug h 5 Setting of the orifice opening (soft-pump valve) (main valve) 5 B onnet sea l バルブシート側 (soft-pump valve) バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com