大型ドアー L-VAT　SERIES 07.8

SERIES 07.8 大型ドアー L-VAT FPDおよびPV製造装置用。 優れたパーティクル性能を備えたショックフリー L-Motionバルブ 特長 開口サイズ 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式： 複動シリンダー　リミットスイッチ付き ゲート材質 アルミニウム シール技術 L-VAT：用語解説参照 – シ ョックフリーな L 字動作 – パーティクルフリー、 技術データ バイブレーションフリーな動作 リーク量1) ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1 – 保 有コストが低い （Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向 ≤ 1 bar バルブ開方向 ≤ 5 mbar 第1回サービスまでのサイクル数1) 2) 百万回 開/閉時間 ≤ 2.5 s 許容温度 1) ゲート ≤ 120 °C アクチュエータ、リミットスイッチ ≤ 80 °C 材質 ゲート EN AW-5083 (3.3547) アクチュエータシャフト AISI 304 (1.4301)、硬質クロムメッキ 接続部材 EN AW-6082 (3.2315) 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 2) アクチュエータ横向取付の場合、第1回サービスまでのサイクル数は50万回に低減される。 SERIES 07.8 大型ドアー L-VAT

SERIES 07.8 大型ドアー L-VAT オプション －24 V DC インパルス電磁弁 シール (その他はお問い合わせ下さい） ゲート FKM (Viton®) －表 面処理　例：アルミニウム、硬質アルマイ ト加工またはニッケルメッキ加工 アクチュエータ、圧力プレート FKM (Viton ®)およびNBR －標準以外のシール材 ポジション 取付け方向 アクチュエータ上向、下向 リミットスイッチ、電圧 10 – 30 V DC PNP (NPN optional) Open Closed, unlocked Closed, locked 1 2 3 4 1 Gate seal 2 Gate 3 Actuator 4 System chamber 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com