大型角型ゲートバルブ TWINVAT　SERIES 06.1

SERIES 06.1 TWINVAT - 大型角型ゲートバルブ 最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の 軽量バルブ。 技術データ リーク量 1) ：バルブボディ、バルブ < 1 × 10-7 mbar Is-1 シート (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよび ≤ 1 bar (≤ 1 × 10-5 Pa) ゲートにかけ得る許容最大差圧2) バルブを開けるときの許容最大差圧 ≤ 5 mbar (≤ 500 Pa) 開口サイズ 100 × 1000 mm (3.94“ × 39.37“) 300 × 3800 mm ( 11.81“ × 149.60“) リミットスイッチ/電圧 24V DC PNP (NPN optional) 第1回サービスまでのサイクル数3) 百万回 開/閉時間 ≤2 s（開口高さ150 mm） 軸シール Oリング軸シール – 軽 量コンポーネントによる高速動作速度 取付け方向 アクチュエータ上向または下向 – メ ンテナンス中のシステム停止時間なし – 3つの異なるサービスポジション – メ ンテナンス中の安全モード 許容温度 バルブボディ、ゲート ≤ 120 °C アクチュエータ ≤ 60 °C 電磁弁 ≤ 50 °C 加熱および冷却速度 ≤ 40 °C h-1 シートとゲート間の温度差 ≤ 40 °C 材質 バルブボディ、ゲート EN AW-6082 (3.2315)または EN AW-5083 (3.3547) アクチュエータシャフト AISI 316 (1.4401) プレッシャーエレメント内のベローズ AISI 633 (AM 350) 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 2) バルブボディの内部圧力をモニターする必要がある。 3) 加熱なし、クリーンな条件下で SERIES 06.1 TWINVAT -大型角型ゲートバルブ

SERIES 06.1 TWINVAT -大型角型ゲートバルブ オプション － プロセス制御ユニット（PCU）および電磁弁 重量 － 標準以外のシール材 （開口150 x 1600 mm – Gen 6） － ベローズ バルブ 160 kg (353 lbs) － ゲートのグランド接続 － 表面処理、例：硬質アルマイト加工 ゲート 14 kg (31 lbs) － 垂直取り付け位置：アクチュエータ横向 プレッシャービームアセンブリ 37 kg (82 lbs) － バルブボディ内の圧力を検出するための真空計 プレッシャーアセンブリ付き 73 kg (161 lbs) アクチュエータ Functional principle Easy maintenance Top cover Valve body Gate Horizontal actuator Gate Actuator flange Atm Vac Vertical actuator shaft OPEN CLOSED SERVICE POSITION 3 圧空アクチュエータ： T-MOTIONのゲート システム停止時間なし： 複動シリンダー　垂直および水平動作 （垂直および水平運動）： 1つのゲートが1つのチャンバー内の での開閉位置用のリミットスイッチ付き 両方のゲートシールのシートへの 真空を保持する。 平行な接触 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com