大型角型ゲートバルブ SOLVAT　SERIES 06.6

SERIES 06.6 大型角型ゲートバルブ SOLVAT PVセルおよび大型成膜装置用 お客様指定のデザインに柔軟に対応（例：水冷、加熱 プロセスからの保護）。 技術データ 開口サイズ 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式： 複動シリンダー　リミットスイッチ付き ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール Oリング軸シール リーク量1) バルブボディ < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 ≤1 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 ≤5 mbar 第1回サービスまでのサイクル数1) 2) 百万回 – 短 い開閉時間による高いスループット 開/閉時間1) ≤2 s（開口高さ100 – 過 酷なプロセスおよび高温用の設計 mm） – バルブのフランジ面間距離が小さい 取付け方向2) アクチュエータ上向、 下向、横向 リミットスイッチ 電圧 10 -30 V DC PNP (NPN optional) 許容温度 1) バルブボディ、フランジ：アルミ ≤120 °C ニウム バルブボディ、フランジ：ステンレ ≤200 °C ススチール アクチュエータ、リミットスイッチ ≤80 °C 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 2) アクチュエータ横向取付の場合、第1回サービスまでのサイクル数は50万回に低減される。 SERIES 06.6 TWINVAT -大型角型ゲートバルブ

SERIES 06.6 大型角型ゲートバルブ SOLVAT オプション － 2 4 V DC インパルス電磁弁（その他はお問い 材質 合わせ下さい） バルブボディ、ゲート、フランジ：ア EN AW-6082 (3.2315), － ベローズ ルミニウム EN AW-5083 (3.3547) － バルブボディおよびゲートの水冷機構 バルブボディ、ゲート、フランジ：ス AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) － 開位置での圧空ロック機構 テンレススチール アクチュエータシャフト AISI 304 (1.4301) 硬質クロムメッキ ベローズ AISI 316Ti (1.4571) ボンネットおよびプレートシール Viton シール ゲート、フランジ、軸シール FKM (Viton®) Functional principle 1 2 3 OPEN CLOSED, UNLOCKED CLOSED, LOCKED 1 Valve body 2 Gate 3 Gate seal バルブ側シート 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com