大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　SERIES 06.8

SERIES 06.8 大型角型ゲートバルブ FLAPVAT PVセルおよび大型成膜装置用。 多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。 技術データ 開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm – 保 有コストが低い (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) – 短 い開閉時間による高いスループット アクチュエータ 圧空作動式： – お客様指定のデザイン 複動シリンダー　リミットスイッチ付き ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール 回転軸シール リーク量1) バルブボディ < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向 ≤1 bar バルブ開方向 ≤10 mbar (optional 1 bar) バルブを開けるときの許容最大差圧 ≤5 mbar 第1回サービスまでのサイクル数1) 2) 百万回 開/閉時間1) ≤1.2 s（開口サイズ80 ｘ 1500 mm） 取付け方向2) アクチュエータ上向、 下向、横向 リミットスイッチ 電圧 10 -30 V DC PNP (NPN optional) 許容温度 1) バルブボディ、ゲート： ≤120 °C アルミニウム バルブボディ、ゲート： ≤200 °C ステンレススチール アクチュエータ ≤80 °C 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 2) アクチュエータ横向取付の場合、第1回サービスまでのサイクル数は50万回に低減される。 SERIES 06.8 FLAPVAT -大型角型ゲートバルブ

SERIES 06.8 大型角型ゲートバルブ FLAPVAT オプション － 24 V DC インパルス電磁弁（その他はお問い 材質 合わせ下さい） バルブボディ、ゲート、フランジ： EN AW-5083 (3.3547) － 標 準以外のシール材 アルミニウム － バ ルブボディおよびゲートの水冷機構 バルブボディ、ゲート、フランジ： AISI 304 (1.4301) － 開位置での圧空ロック機構 ステンレススチール － 0.1MPaの差圧対応 アクチュエータシャフト SAE 1045 (1.1191) 軟窒化および酸化処理 シール ゲート、フランジ、軸シール FKM (Viton®) Functional principle 1 2 3 4 OPEN CLOSED 1 Bonnet flange 2 Gate seal 3 Gate 4 Valve body バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com