【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】半導体業界、医療技術、研究および自動車業界における各種真空用途向け

溶接ベローズ 溶接ベローズ 半導体業界、医療技術、研究および自動車業界における各種真空用途向け 高気密性 クリーン パーティクルフリー お客様ごとに カスタマイズした ソリューション 機能原理 OD ID OD Outside diameter ID Inside diameter EA lf Free length per convolution EA Effective area 382 2018 www.vatvalve.com lf

溶接ベローズ ストローク 軸方向 横方向 角度 Rz (+) Ry Yc / Ye RP R R 結果として生じる軸方向の力 RP フランジからフランジへの最 小設置長さ Lc 圧縮時ベローズの長さ Ø 曲げ角度 Le 伸長時のベローズの長さ Lf 自由時ベローズの長さ：製造時の長さ Lcy 所与の横方向ストロークに対する最小設置長さ Lmax フランジからフランジまでの最大設置長さ Ley 所与の横方向ストロークに対する最大設置長さ Lmin フランジからフランジまでの最小設置長さ Lmax フランジからフランジまでの最大設置長さ Rz 結果として生じる軸方向の力 Lmin フランジからフランジまでの最小設置長さ Z エッジ溶接ベローズの軸方向ストローク Ry 結果として生じる横方向の力 Zc エッジ溶接ベローズの圧縮ストローク Yc Lcyのエッジ溶接ベローズの横ストローク Ze エッジ溶接ベローズの伸長ストローク Ye Leyのエッジ溶接ベローズの横ストローク Zy 横方向オフセットのためのエッジ溶接ベローズの軸方向ストローク 角度回転点 ベローズ半径 ベローズの中央 （標準） L-RP L-RP RP R R RP エンドピースの中央 L-RP ベローズの外側 L-RP L-R RPP RP R I R R 半径 Y 横移動 L-RP エンドピースから回転点への変位 RP 回転点 Ø 曲げ角度 www.vatvalve.com 2018 383 Le Lf Y Lc Zc Ze Lmin Z Lmax Ley Lcy Zy Y Lmin Lmax L-RP

溶接ベローズ 技術データおよび注文情報 標準ベローズ 材質： ステンレススチール 316L 特徴： 使用温度 450 ºCまで可 最大 50万回の負荷スイッチ 非磁性 極めて高い耐食性 下記表の値は、以下の作動条件による。 許容最大差圧：Pi = 0, Pa = 1 bar / 使用時の温度：室温 / ベークアウト温度：80 ºC / サイクル数：10 000 他の運転条件や特定のソリューションについては、お問い合わせ下さい。 解析 メタル Fe C Si Mn P S Cr Mo Ni % Rest ≤ 0.03 ≤ 1.0 ≤ 2.0 ≤ 0.045 ≤ 0.03 16.0–18.0 2.0–3.0 10.0–14.0 特徴 Rp 0.2 Rm E-Module 密度 許容温度 透過性 300 N/mm2 600 N/mm2 200 000 N/mm2 8.0 kg/dm3 -250/+350 ºC 1.003–1.005 µr 内 外 長圧 長自 軸 膜 有 バ 径 径 さ縮 さ由 方 壁 効 ネ 時 時 向 の エ 定 ベ ベ ス 厚 リ 数 ロ ロ ト さ ア ： ー ー ロ 軸 ズ ズ ー 方 の の ク 向 DN mm inch mm inch mm mm mm mm cm2 N/mm 10 4.80 0.189 12.70 0.500 0.27 0.53 0.36 0.08 0.70 80 6 0.236 13 0.512 0.27 0.50 0.32 0.08 0.80 105 8 0.315 16 0.630 0.27 0.65 0.48 0.08 1.30 60 8.60 0.339 16.20 0.638 0.20 0.55 0.55 0.05 1.30 25 9 0.354 20 0.787 0.35 0.80 0.60 0.08 1.90 55 9 0.354 31.50 1.240 0.36 1.35 1.18 0.10 4.30 55 10 0.394 20 0.787 0.33 0.60 0.50 0.10 2 45 16 13 0.512 26 1.024 0.32 0.90 0.80 0.08 3.40 55 16 0.630 31.50 1.240 0.45 1.20 1.15 0.13 5 95 16 0.630 35 1.378 0.43 1.15 1.35 0.13 5.90 49 25 18.50 0.728 31.50 1.240 0.37 0.90 0.85 0.10 5.30 95 19 0.748 37 1.457 0.40 1.60 1.55 0.13 6.90 70 21 0.827 39 1.535 0.43 1.10 1.40 0.13 7.80 49 21 0.827 41 1.614 0.50 1.85 1.90 0.13 8.40 75 21 0.827 49 1.929 0.55 2.30 2.10 0.15 11.30 65 21.10 0.831 34.90 1.374 0.35 1.05 1.10 0.10 6.60 75 22 0.866 40.70 1.602 0.43 1.25 1.40 0.13 8.50 50 24 0.945 35 1.378 0.33 0.70 0.70 0.10 7.20 82 26 1.024 41 1.614 0.44 1.25 1.40 0.13 9.40 135 26 1.024 46 1.811 0.45 1.80 1.90 0.13 11.10 75 40 31 1.220 49 1.929 0.43 1.10 1.40 0.13 13.40 48 31 1.220 51 2.008 0.50 1.80 1.90 0.13 14.20 65 35 1.378 48 1.890 0.33 0.90 0.80 0.10 14 90 35 1.378 49 1.929 0.33 0.90 0.90 0.10 14.40 90 35.60 1.402 56 2.205 0.43 1.20 1.45 0.13 17.50 60 36 1.417 56 2.205 0.50 1.80 2 0.13 17.60 65 36 1.417 72 2.835 0.75 2.50 3.43 0.20 25.80 90 38 1.496 51 2.008 0.35 1.10 1.05 0.10 16.10 85 39 1.535 59 2.323 0.50 2 2 0.13 19.90 65 384 2018 www.vatvalve.com

溶接ベローズ 内 外 長圧 長自 軸 膜 有 バ 径 径 さ縮 さ由 方 壁 効 ネ 時 時 向 の エ 定 ベ ベ ス 厚 リ 数 ロ ロ ト さ ア ： ー ー ロ 軸 ズ ズ ー 方 の の ク 向 DN mm inch mm inch mm mm mm mm cm2 N/mm 50 46 1.811 62.50 2.461 0.50 1.45 1.50 0.13 24 130 46 1.811 71 2.795 0.50 2.30 2.40 0.13 28.50 60 46 1.811 72 2.835 0.43 1.50 1.75 0.13 29.10 49 46 1.811 88 3.465 0.70 3.30 3 0.20 39.20 96 51 2.008 76 2.992 0.50 2.40 2.60 0.15 33.30 85 63 52 2.047 62 2.441 0.33 0.85 0.60 0.10 26.10 120 52 2.047 95 3.740 0.75 3.60 3.40 0.20 46.70 75 60 2.362 88 3.465 0.55 2.70 2.80 0.15 45.10 80 65 2.559 90 3.543 0.50 2.40 2.80 0.15 49 95 65 2.559 108 4.252 0.80 2.65 2.75 0.20 63.20 35 100 70 2.756 94 3.701 0.55 2.35 2.65 0.15 54.70 95 75 2.953 100 3.937 0.60 2.40 2.90 0.15 62.20 95 77.50 3.051 120 4.724 0.75 3.50 3.60 0.20 81.20 85 80 3.150 108 4.252 0.55 2.25 2.50 0.15 71.90 80 82 3.228 125 4.921 0.75 3.70 3.80 0.20 88.90 80 90 3.543 110 4.331 0.50 1.45 1.40 0.15 80.40 145 90 3.543 120 4.724 0.60 2.80 2.80 0.15 89.50 70 90.50 3.563 135 5.315 0.70 4.20 4.20 0.20 105.10 80 92 3.622 149 5.866 0.85 4.75 4.60 0.25 122 95 100 3.937 150 5.906 0.66 2.20 2.50 0.20 129.30 66 102 4.016 128 5.039 0.50 1.50 1.90 0.15 106.60 145 102 4.016 132 5.197 0.60 2.60 3.10 0.15 110.70 75 102.50 4.035 150 5.906 0.90 4.40 4.60 0.25 131.40 135 160 110 4.331 140 5.512 0.50 1.50 2 0.15 126.20 115 110 4.331 160 6.299 0.80 4.25 3 0.20 150 40 115 4.528 145 5.709 0.55 2.60 3.10 0.15 136.30 75 120 4.724 140 5.512 0.50 1.25 1.70 0.15 135.30 125 127 5 157 6.181 0.70 2.60 3.20 0.20 162.30 100 135 5.315 165 6.496 0.66 1.90 2 0.20 180.90 140 150 5.906 180 7.087 0.66 1.75 2 0.20 218.50 175 150 5.906 185 7.283 0.75 2.60 3.40 0.20 225.70 140 156 6.142 186 7.323 0.75 2.60 3.30 0.20 234.50 200 200 170 6.693 210 8.268 0.66 2 2.25 0.20 290.50 120 173 6.811 203 7.992 0.65 2.50 3.20 0.15 283.10 100 180 7.087 209 8.228 0.65 2.15 3.10 0.15 302.80 95 180 7.087 215 8.465 0.75 2.80 3.40 0.20 312.90 148 200 7.874 235 9.252 0.75 3 3.50 0.20 379 160 I 250 230 9.055 265 10.433 0.70 2.80 3.50 0.20 490 160 250 9.843 280 11.024 0.66 2 2 0.20 560.70 333 250 9.843 285 11.220 0.80 3.20 3.20 0.20 572 200 300 280 11.024 330 12.992 0.90 3.30 3.50 0.20 745.40 150 300 11.811 340 13.386 0.80 3.20 3.60 0.20 818.20 200 400 360 14.173 440 17.323 2 7.50 6 0.30 1286.20 150 400 15.748 480 18.898 1.45 5 4.50 0.40 1553.60 350 www.vatvalve.com 2018 385

溶接ベローズ 技術データおよび注文情報 標準ベローズ 材質： ステンレススチール AM350 特徴： 最小設置寸法 使用温度 250 ºCまで可 最大 1,000万回の負荷スイッチ 弱磁性 耐食性 下記表の値は、以下の作動条件による。 許容最大差圧：Pi = 0, Pa = 1 bar / 使用時の温度：室温 / ベークアウト温度：80 ºC / サイクル数：10 000 他の運転条件や特定のソリューションについては、お問い合わせ下さい。 分析 メタル Fe C Si Mn P S Cr Mo Ni N % Rest 0.07–0.11 ≤ 0.5 0.5–1.25 ≤ 0.04 ≤ 0.03 16.0–17.0 2.5–3.25 4.0–5.0 0.07–0.13 特徴 Rp 0.2 Rm E-Module 密度 許容温度 透過性 500 N/mm2 1150 N/mm2 200 000 N/mm2 8.0 kg/dm3 +20/+200 ºC 10–15 µr 内 外 長圧 長自 軸 膜 有 バ 径 径 さ縮 さ由 方 壁 効 ネ 時 時 向 の エ 定 ベ ベ ス 厚 リ 数 ロ ロ ト さ ア ： ー ー ロ 軸 ズ ズ ー 方 の の ク 向 DN mm inch mm inch mm mm mm mm cm2 N/mm 10 6 0.236 13 0.512 0.30 0.65 0.50 0.06 0.80 75 8 0.315 20 0.787 0.30 1.20 1.10 0.08 1.80 49 8.60 0.339 16.20 0.638 0.27 0.75 0.65 0.06 1.30 34 9 0.354 19.05 0.750 0.27 1.05 1 0.06 1.80 37 9 0.354 20 0.787 0.32 1.10 1.15 0.08 1.90 65 9 0.354 31.50 1.240 0.40 1.75 1.80 0.10 4.30 60 9.40 0.370 23 0.906 0.27 1.35 1.40 0.06 2.50 25 16 13 0.512 26 1.024 0.32 1.35 1.60 0.08 3.40 52 16 0.630 31.50 1.240 0.45 1.65 1.70 0.10 5 60 25 18.50 0.728 31.50 1.240 0.32 1.30 1.60 0.08 5.30 55 19 0.748 37 1.457 0.45 1.90 2.15 0.10 6.90 52 21 0.827 41 1.614 0.50 2.40 2.60 0.10 8.40 52 21 0.827 49 1.929 0.50 3.10 3.50 0.13 11.30 52 23 0.906 43 1.693 0.45 2.40 2.65 0.10 9.50 47 26 1.024 41 1.614 0.40 1.70 1.90 0.10 9.40 90 26 1.024 46 1.811 0.45 2.15 2.60 0.10 11.10 65 40 31 1.220 51 2.008 0.50 2.40 2.80 0.10 14.20 45 36 1.417 56 2.205 0.50 2.50 3 0.10 17.60 40 38 1.496 51 2.008 0.40 1.50 1.85 0.10 16.10 100 39 1.535 59 2.323 0.50 2.50 3 0.10 19.90 40 50 46 1.811 62.50 2.461 0.40 1.75 2.25 0.10 24 90 46 1.811 71 2.795 0.50 2.85 3.60 0.13 28.50 60 46 1.811 88 3.465 0.65 4 4 0.15 39.20 65 51 2.008 76 2.992 0.50 2.95 3.80 0.13 33.30 65 63 60 2.362 88 3.465 0.50 3.20 4.20 0.13 45.10 60 63.50 2.500 77 3.031 0.35 1.40 2 0.10 39.60 120 65 2.559 90 3.543 0.54 2.80 3.80 0.13 49 65 386 2018 www.vatvalve.com

溶接ベローズ 内 外 長圧 長自 軸 膜 有 バ 径 径 さ縮 さ由 方 壁 効 ネ 時 時 向 の エ 定 ベ ベ ス 厚 リ 数 ロ ロ ト さ ア ： ー ー ロ 軸 ズ ズ ー 方 の の ク 向 DN mm inch mm inch mm mm mm mm cm2 N/mm 100 70 2.756 94 3.701 0.50 2.70 3.50 0.13 54.70 70 71.40 2.811 84.10 3.311 0.37 1.25 1.75 0.10 48.40 155 75 2.953 100 3.937 0.54 2.80 3.80 0.13 62.20 65 80 3.150 108 4.252 0.60 2.70 3.60 0.15 71.90 77 89.60 3.528 133.40 5.252 0.85 4.50 5 0.20 102.80 85 90 3.543 120 4.724 0.60 3 4.20 0.13 89.50 55 90.50 3.563 135 5.315 0.85 4.90 5.20 0.20 105.10 80 101.60 4 139.70 5.500 0.55 3.25 4.30 0.15 118.70 43 102 4.016 132 5.197 0.70 3 4.40 0.15 110.70 80 102.50 4.035 150 5.906 0.85 5.10 6 0.20 131.40 90 160 115 4.528 145 5.709 0.70 2.85 3.50 0.15 136.30 80 127 5 157 6.181 0.75 2.95 4.20 0.15 162.30 85 150 5.906 185 7.283 0.90 3.20 4 0.20 225.70 166 160 6.299 185 7.283 0.65 2.65 3.80 0.13 238.10 87 160 6.299 210 8.268 1.10 5.15 5.80 0.25 277.40 120 200 180 7.087 215 8.465 0.70 2.75 4.10 0.15 312.90 80 200 7.874 235 9.252 0.70 3.20 4.30 0.15 379 74 250 250 9.843 285 11.220 0.70 3.20 4.20 0.15 572 74 320 270 10.630 310 12.205 0.80 3.30 4 0.20 672.60 140 300 11.811 340 13.386 0.80 3.50 4.60 0.20 818.20 90 400 430 16.929 480 18.898 1.10 4.50 5.60 0.25 1652.70 280 技術データおよび注文情報 特殊ベローズ LI 技術仕様 注文番号 レーストラック 長 長 プ コ 材 プロファイル さ さ ロ ー 質（ （ フ ナ 長 短 ァ ー 辺 辺 イ 半 ） ） ル 径 幅 LI r LI Lq b r mm mm mm mm 長方形 レースト 150 80 9 – 316L 150-80-RS プロファイル ラック 210 30 15 – 316L 210-30-RS 240 120 15 – 316L 240-120-RS I 292 38 12.5 – AM350 292-38-RS 959 138 28 – 316L 959-138-RZ LI 長方形 300 190 19.5 20 316L 300-190 836 231 35 60 316L 836-231 楕円形 楕円 127 57.16 12.7 – 316L 127-57.2 プロファイル その他の形状およびサイズはお問い合わせ下さい。 www.vatvalve.com 2018 387 Lq Lq Lq b b b

溶接ベローズ エンドピースの事前確認 お客様仕様のエンドピース お客様仕様のエンドピース 溶接ベローズ 溶接ベローズ * 図面にしたがって下加工 最小リップ距離 D-OD 2 <15 b ≥3 D-OD ≥15 2 <60 b ≥5 D-OD 2 >60 b ≥7 標準エンドピース ワンパートエンドピース DN ID OD Di Da S 材質ステンレススチール 316L mm inch mm inch mm mm mm その他の材質については 10 8 0.315 16 0.630 8 10 4 お問い合わせ下さい。 16 16 0.630 31.50 1.240 16 18 4 25 26 1.024 46 1.811 24 28 4 40 39 1.535 59 2.323 38 41.30 4 50 51 2.008 76 2.992 53 57 4 他の開口サイズについても、ご要望により製作します。 Lは選択式 ツーパートエンドピース DN ID OD Di Da S 材質： ステンレススチール 316L mm inch mm inch mm mm mm （ベローズ接続部） 63 65 2.559 90 3.543 66 70 5 ステンレススチール 304（パイプ部） 75 75 2.953 100 3.937 72.10 76.10 5 その他の材質については 100 102 4.016 132 5.197 104 108 5 お問い合わせ下さい。 130 127 5 157 6.181 123 129 5 ワンパートエンドピースも併用可能 160 150 5.906 185 7.283 150 156 5 200 200 7.874 235 9.252 200 206 6 250 250 9.843 285 11.220 250 256 6 300 300 11.811 340 13.386 300 306 6 350 360 14.173 440 17.323 350 356 10 400 400 15.748 480 18.898 400 406 10 500 520 20.472 640 25.197 500 506 15 630 690 27.165 810 31.890 650 662 16 他の開口サイズについても、ご要望により製作します。 Lは選択式、最低 20 mm 388 2018 www.vatvalve.com

溶接ベローズ 標準フランジ ISO-KF (DIN 28403) DN OD Di d3 d4 f3 L S 材質：ス テンレススチール +0.2/0 316L mm inch mm mm mm mm mm mm その他の材質については 10 20 0.787 10 12.20 30 2.50 14 4 お問い合わせ下さい。 16 31.50 1.240 16 17.20 30 2.50 14 4 20 41 1.614 20 22.20 40 2.50 14 4 25 46 1.811 25 26.20 40 2.50 14 4 32 51 2.008 31 34.20 55 2.50 15 4 40 59 2.323 39 41.20 55 2.50 15 4 50 76 2.992 50 52.40 75 2.50 18.50 4 その他の «L» サイズについても、ご要望により製作します。 ISO-K (DIN 28404) DN OD Di Da d7 f3 b2 k 材質： ステンレススチール 316L mm inch mm mm mm mm mm mm 40 65 2.559 38 41.30 41.20 2.50 10 5.50 その他の材質については お問い合わせ下さい。 50 75 2.953 53 57 52.20 2.50 10 5.50 63 95 3.740 66 70 70 4.50 10 7 ワンパート /ツーパートエ 80 110 4.331 72.10 76.10 83 4.50 10 7 ンドピースに取付けられた メンブレンベローズ 100 130 5.118 104 108 102 4.50 10 7 125 155 6.102 123 129 127 4.50 10 7 160 180 7.087 150 156 153 4.50 10 7 200 240 9.449 200 206 213 4.50 10 7 250 290 11.417 250 256 261 4.50 10 7 320 370 14.567 300 306 318 4.50 15 10 400 450 17.717 400 406 400 4.50 15 10 500 550 21.654 500 506 501 4.50 15 10 630 690 27.165 600 608 651 4.50 20 12 固定 CF 回転式 CF DN ØB Di Da G k 材質：ステンレススチール 316L 材質：ステンレススチール 316L mm inch mm mm mm mm その他の材質については その他の材質については 10 1) 25.40 1 9 18 6 3 お問い合わせ下さい。 お問い合わせ下さい。 16 34 11／ 3 16 27 7.50 4.20 25 54 21／ 8 24 41.30 12 4.80 40 69.50 23／ 4 38 58.70 13 5.50 50 85.60 3 3／8 47.60 72.40 15.70 5.70 63 113.50 41／ 2 66 92.20 17.50 9.50 75 117.50 45／8 72.10 76.40 17.50 9.50 100 152 6 104 130.30 20 11 130 171.40 63／ 4 123 129 21 11.50 I 160 202.50 8 150 181 22 12 200 253 10 200 231.80 24.50 12.50 250 305 12 250 284 24.50 12.50 300 355.60 141／2 300 325.40 28.50 12.70 350 419.10 161／ 2 350 388.90 28.50 12.70 400 457 18 400 431.80 28.50 16 1) フランジ DN 10は固定フランジとしてのみ使用可能 www.vatvalve.com 2018 389

技術マニュアル ベローズ構造（軸、側、角度）/ 略語 ID 内径 [mm] OD OD 外径 [mm] ID n 巻き回数（メンブレン組数） t 壁厚 [mm] EA 有効範囲 [cm2] G エッジ溶接ベローズの重量 [g] EA Ic 畳み込み毎の圧縮の長さ [mm] If 畳み込み毎の自由度の長さ [mm] le 畳み込み毎の長さの延長 [mm] z 畳み込み毎の軸ストローク [mm] Lf 自在ベローズの長さ（= 製造の長さ） Rz (+) Lc 圧縮ベローズの長さ [mm] Le 延長ベローズの長さ [mm] Z エッジ溶接ベローズの軸ストローク [mm] Zc エッジ溶接ベローズの圧縮ストローク [mm] Ze エッジ溶接ベローズの延長ストローク [mm] SRCz 畳み込み毎の軸方向へのばね定数 [N/mm] SRz エッジ溶接ベローズの軸方向へのばね率 [N/mm] Fsrz Tエッジ溶接ベローズの軸方向への張力 [N] Fzp 軸方向への圧縮力 [N] Rz 結果として得るべき軸力 [N] Lmin フランジ間の最小設定の長さ [mm] Lmax フランジ間の最大設定の長さ [mm] Ry Yc / Ye Lcy 側ストロークの最小設定の長さ [mm] Ley 側ストロークの最大設定の長さ [mm] Zy 側オフセットのエッジ溶接ベローズの軸ストローク [mm] Yc Lcyにおけるエッジ溶接ベローズの側ストローク [mm] Ye Leyにおけるエッジ溶接ベローズの側ストローク [mm] SRCy 畳込み毎の側方向へのばね定数 [N/mm] SRy エッジ溶接ベローズの側方向へのばね率 [N/mm] Fsry エッジ溶接ベローズの側方向への張力 [N] Fyp 側方向への圧縮力 [N] Ry 結果として得るべき側力 [N] Lmin フランジ間の最小設定の長さ [mm] Lmax フランジ間の最大設定の長さ [mm] RP アングル移動の回転点 R 曲げ半径 [mm] RP Φ エッジ溶接ベローズの曲げ角度 [°] R 0613号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com アングル（角）・ストローク 側ストローク 軸ストローク 通常 Ley Le Lcy Zy Lf Lc Zc Ze If Lmin Lmin Z Lmax Lmax

技術マニュアル ベローズ組み立て：アングル（角）の回転点 ベIn ロBaーlgrズad半ius径（標準はデータシートに基づく） Mベitロteー deズs のBal中ge間s L-RP Φ Φ L-RP RP R R RP エMiンtteド Eピndーstüスckの中間 Aベuロsseーrhズalbの d外es側 Balges L-RP L-RP L-RP RP Φ RP Φ R R RRPP:= R回o転tat点ionspunkt RR:= Ra半d径iu（s 技(Te術ch説n明isc書he）s Handbuch) YY:= La側te移ra動lversatz L-RP: エンドピースから回転点への置き換え L-RP= Distanz vom Endstück zum RP 0613号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com YY YY L-RP

技術マニュアル エンドピースN-15000の加工前 最小リップ距離 カスタマイズのエンドピース b ※* 溶接ベローズ D-OD 2 < 15 b >_ 3 D-OD _> 15 _> 2 < 60 b 5 D-OD 2 > 60 b >_ 7 カスタマイズのエンドピース ※* 溶接ベローズ ※　図面の長さに0.5+0.20 mmの剰余でエンドピース加工前 0613号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com D D-OD OD 2

標準エンドピース エンドピース、1部品 ID OD Di Da S L CF L ISO-K A CF A ISO-K DN [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 10 8 16 8.0 10,0 4,0 15,0 - 18.0 - 16 16 31.5 16.0 18.0 4,0 15.8 - 20.0 - 25 26 46 24.0 28.0 4,0 23.2 - 29.0 - 40 39 59 38.0 41.3 4,0 23.5 34.5 29.0 40.0 50 51 76 53.0 57.0 4,0 28.3 34.5 34.0 40.0 ID OD Di Da S L CF L ISO-K A CF A ISO-K US Size [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] 1“ 0.3150 0.6299 0.3150 0.3937 0.1575 0.5906 - 0.7874 - 1-1/3“ 0.6299 1.2402 0.6299 0.7087 0.1575 0.6220 - 1.1417 - 2-1/8“ 1.0236 1.8110 0.9449 1.1024 0.1575 0.9134 - 1.1417 - 2-3/4“ 1.5354 2.3228 1.4961 1.6260 0.1575 0.9252 1.3583 1.3386 1.5748 3-3/8“ 2.0079 2.9921 2.0866 2.2441 0.1575 1.1142 1.3583 0.0000 1.5748 エンドピース、2部品 ID OD Di Da S L CF L ISO-K A CF A ISO-K DN [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 63 65 90 66.0 70.0 5.0 26.5 33.0 36.0 40.0 75 75 100 72.1 76.1 5.0 26.5 33.0 36.0 40.0 100 102 132 104.0 108.0 5.0 30.0 33.0 41.0 40.0 130 127 157 123.0 129.0 5.0 30.5 37.0 42.0 44.0 160 150 185 150.0 156.0 5.0 31.0 37.0 43.0 44.0 200 200 235 200.0 206.0 6.0 38.0 37.0 50.5 44.0 250 250 285 250.0 256.0 6.0 38.5 37.0 51.0 44.0 300 300 340 300.0 306.0 6.0 42.3 44.0 55.0 54.0 350 360 440 350.0 356.0 10.0 47.3 - 60.0 - 400 400 480 400.0 406.0 10.0 44.0 48.0 60.0 58.0 500 520 640 500.0 506.0 15.0 - 52.0 - 62.0 630 690 810 650.0 662.0 15.0 - 55.5 - 68.0 ID OD Di Da S L CF L ISO-K A CF A ISO-K US Size [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] 4-1/2“ 2.5591 3.5433 2.5984 2.7559 0.1969 1.0433 1.2992 1.4173 1.5748 4-5/8“ 2.9528 3.9370 2.8386 2.9961 0.1969 1.0433 1.2992 1.4173 1.5748 6“ 4.0157 5.1969 4.0945 4.2520 0.1969 1.1811 1.2992 1.6142 1.5748 6-3/4“ 5.0000 6.1811 4.8425 5.0787 0.1969 1.2008 1.4567 1.6535 1.7323 8“ 5.9055 7.2835 5.9055 6.1417 0.1969 1.2205 1.4567 1.6929 1.7323 10“ 7.8740 9.2520 7.8740 8.1102 0.2362 1.4961 1.4567 1.9882 1.7323 12“ 9.8425 11.2205 9.8425 10.0787 0.2362 1.5157 1.4567 2.0079 1.7323 14“ 11.8110 13.3858 11.8110 12.0472 0.2362 1.6654 1.7323 2.1654 2.1260 16-1/2“ 14.1732 17.3228 13.7795 14.0157 0.3937 1.8622 - 2.3622 - 18“ 15.7480 18.8976 15.7480 15.9843 0.3937 1.7323 1.8898 2.3622 2.2835 24" 20.4724 25.1969 19.6850 19.9213 0.5906 - 2.0472 - 2.4409 25-1/2“ 27.1654 31.8898 25.5906 26.0630 0.5906 - 2.1850 - 2.6772 その他のエンドピースの長さ、管の直径、材料についてはご相談ください。 2部品エンドピースも１部品エンドピース同様に製造可能です。 ※　全ての線測定はCOMVAT「- A寸法」をご参照ください。 標準１部品エンドピース：316L 標準２部品エンドピース：316L(ベローズ結合) 304(管) 0616号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com

標準CFフランジ CFフランジ、固定 CFフランジ、回転 ØB フ ØB ランジ Di Da G US Flange Di Da G k DN [mm] [mm] [mm] [mm] k [mm] Size [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] 10※* 25.4 9.0 10.0 6.0 3.0 1“ ※* 1.0000 0.3543 0.3937 0.2362 0.1181 16 34.0 16.0 18.0 7.5 4.2 1-1/3“ 1.3386 0.6299 0.7087 0.2953 0.1654 25 54.0 24.0 28.0 12.0 4.8 2-1/8“ 2.1260 0.9449 1.1024 0.4724 0.1890 40 69.5 38.0 41.3 13.0 5.5 2-3/4“ 2.7362 1.4961 1.6260 0.5118 0.2165 50 85.6 47.6 51.0 15.7 5.7 3-3/8“ 3.3701 1.8740 2.0079 0.6181 0.2244 63 113.5 66.0 70.0 17.5 9.5 4-1/2“ 4.4685 2.5984 2.7559 0.6890 0.3740 75 117.5 72.1 76.1 17.5 9.5 4-5/8" 4.6260 2.8386 2.9961 0.6890 0.3740 100 152.0 104.0 108.0 20.0 11.0 6“ 5.9843 4.0945 4.2520 0.7874 0.4331 130 171.4 123.0 129.0 21.0 11.5 6-3/4" 6.7480 4.8425 5.0787 0.8268 0.4528 160 202.5 150.0 156.0 22.0 12.0 8“ 7.9724 5.9055 6.1417 0.8661 0.4724 200 253.0 200.0 206.0 24.5 12.5 10“ 9.9606 7.8740 8.1102 0.9646 0.4921 250 305.0 250.0 256.0 24.5 12.5 12“ 12.0079 9.8425 10.0787 0.9646 0.4921 300 355.6 300.0 306.0 28.5 12.7 14“ 14.0000 11.8110 12.0472 1.1220 0.5000 350 419.1 350.0 356.0 28.5 12.7 16-1/2" 16.5000 13.7795 14.0157 1.1220 0.5000 400 457.0 400.0 406.0 28.5 16.0 18“ 17.9921 15.7480 15.9843 1.1220 0.6299 ※　DN10フランジは固定フランジのみです。 標準材料： 304L/ご要望により316Lも可能です。 全てのCFフランジはスレッド･ボルト穴付き、ブラインドフランジで納品可能です。 0616号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com

標準ISOフランジ ISO-KF フランジ(DIN 28403) d4 d3 Di OD S f3 +0.2/0 L DN [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 10 30.0 12.2 10.0 20.0 4.0 2.5 14.0 16 30.0 17.2 16.0 31.5 4.0 2.5 14.0 20 40.0 22.2 20.0 41.0 4.0 2.5 14.0 25 40.0 26.2 25.0 46.0 4.0 2.5 14.0 32 55.0 34.2 31.0 51.0 4.0 2.5 15.0 40 55.0 41.2 39.0 59.0 4.0 2.5 15.0 50 75.0 52.4 50.0 76.0 4.0 2.5 18.5 DIN28403/標準材料：316L その他の長さd4に ついd3て はごD相i 談くOだDさ い。 S f3 +0.2/0 L DN [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] 10 1.1811 0.4803 0.3937 0.7874 0.1575 0.0984 0.5512 16 1.1811 0.6772 0.6299 1.2402 0.1575 0.0984 0.5512 20 1.5748 0.8740 0.7874 1.6142 0.1575 0.0984 0.5512 25 1.5748 1.0315 0.9843 1.8110 0.1575 0.0984 0.5512 32 2.1654 1.3465 1.2205 2.0079 0.1575 0.0984 0.5906 40 2.1654 1.6220 1.5354 2.3228 0.1575 0.0984 0.5906 50 2.9528 2.0630 1.9685 2.9921 0.1575 0.0984 0.7283 ISO-Kフランジ (DIN 28404) ØD Di Da k b2 d7 f3 DN [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] [mm] 40 65.0 38.0 41.3 5.5 10.0 41.2 2.5 50 75.0 53.0 57.0 5.5 10.0 52.2 2.5 63 95.0 66.0 70.0 7.0 10.0 70.0 4.5 80 110.0 72.1 76.1 7.0 10.0 83.0 4.5 100 130.0 104.0 108.0 7.0 10.0 102.0 4.5 125 155.0 123.0 129.0 7.0 10.0 127.0 4.5 160 180.0 150.0 156.0 7.0 10.0 153.0 4.5 200 240.0 200.0 206.0 7.0 10.0 213.0 4.5 250 290.0 250.0 256.0 7.0 10.0 261.0 4.5 320 370.0 300.0 306.0 10.0 15.0 318.0 4.5 400 450.0 400.0 406.0 10.0 15.0 400.0 4.5 500 550.0 500.0 506.0 10.0 15.0 501.0 4.5 630 690.0 600.0 608.0 12.0 20.0 651.0 4.5 DIN28404/標準材料：304 1部品エンドØピDー スかD2i部 品エDンa ドピーk スを搭b2載 したdメ7 ンブレf3ン ベローズ DN [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] [inch] 40 2.5591 1.4961 1.6260 0.2165 0.3937 1.6220 0.0984 50 2.9528 2.0866 2.2441 0.2165 0.3937 2.0551 0.0984 63 3.7402 2.5984 2.7559 0.2756 0.3937 2.7559 0.1772 80 4.3307 2.8386 2.9961 0.2756 0.3937 3.2677 0.1772 100 5.1181 4.0945 4.2520 0.2756 0.3937 4.0157 0.1772 125 6.1024 4.8425 5.0787 0.2756 0.3937 5.0000 0.1772 160 7.0866 5.9055 6.1417 0.2756 0.3937 6.0236 0.1772 200 9.4488 7.8740 8.1102 0.2756 0.3937 8.3858 0.1772 250 11.4173 9.8425 10.0787 0.2756 0.3937 10.2756 0.1772 320 14.5669 11.8110 12.0472 0.3937 0.5906 12.5197 0.1772 400 17.7165 15.7480 15.9843 0.3937 0.5906 15.7480 0.1772 500 21.6535 19.6850 19.9213 0.3937 0.5906 19.7244 0.1772 630 27.1654 23.6220 23.9370 0.4724 0.7874 25.6299 0.1772 0616号、技術仕様は変更する場合があります。 VAT Group AG www.vatvalve.com

VAT Bellows – Spec Sheet Customer Data: Check box for inch Check box for °F Company: Project Title : Contact: Issue Date (yyyy-mm-dd): E-mail: Author of this Issue: Phone: Customer's Drawing No.: Location: Customer's Spec Sheet: Commercial Objectives: Quantity for this year (pieces): Expected Future (pcs/year): Delivery Date (yyyy-mm-dd): Target Selling Price, if available: (specify currency) Membrane Properties: Bellows Material AM 350 AISI 316L Haynes 242 Titanium Gr.1/Gr.2 Other (please specify): Endpiece Material AISI 316L Haynes 242 Titanium Gr.1/Gr.2 Other (please specify): Bellows Dimensions min ID (mm): max OD (mm): Copy Exactly! Environment and Service Life: Temperature Operation (°C): Bake-out extended (°C): Bake-out compressed (°C): Vaccum Inside Outside Fatigue Requirement Number of cycles to be guaranteed: Operating Stroke: Total Length incl. Endpieces Lmax (mm): Lmin (mm): Length Bellows w/o Endpieces Le (mm): Lc (mm): Operating Stroke Axial (mm): Lateral at Le (mm): Angular (°): Lateral at Lc (mm): Additional Requirements: Mounting Position Vertical Horizontal Arbitrary Force or Springrate Constraints Yes (please specify): Endpiece Alignment (rotatory) Yes (please specify): Cleanliness Requirement Standard Customer Spec: Certificates to be submitted: Material certificate for bellows material Helium leak test certificate Material certificate for endpiece material Others (please specify) Remarks: VAT GBreolluopw sA SGpec Sheet for RFQ1 www.vatSvaplevce S.choemet

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