振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

SERIES 65.5 振子式コントロールバルブ SEMI、FPDプロセスの圧力制御 および真空封止用バルブ 特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 主な特長 サイズ DN 250 mm（10"） アクチュエータ サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質 アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニ ウム 標準フランジ ISO-F、JIS アルミニウム 技術データ リーク量1) バルブボディ： アルミニウム < 1 · 10-9 mbar ls-1 硬質アルマイト加工 アルミニウム < 1 · 10-5 mbar ls-1 リーク量1) バルブシート： アルミニウム < 1 · 10-9 mbar ls-1 硬質アルマイト加工 アルミニウム < 1 · 10-4 mbar ls-1 使用圧力範囲1) アルミニウム < 1 · 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) 硬質アルマイト加工 < 1 · 10-6 mbar アルミニウム to 1.2 bar (abs) 第1回サービスまでの 圧力コントロール 二百万回 サイクル数2) 閉／開 50 000 許容温度2) バルブボディ ≤ 120℃ コントローラ 最大50℃ （推奨≤ 35℃） 材質 バルブボディ、プレート EN AW-6061 (3.2311) T651 その他の部材 AISI 316L (1.4404, 1.4435) SST A4-80、Ni-PTFE シール ボンネット、プレート、 ボディ、軸シール FKM (Viton®) 硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール アクチュエータ O-リング回転軸シール 取付け方向 自由3) コンダクタンス（分子流） 22 000 ls-1 制御可能な最小コンダク – 高速、パーティクルフリーな動作 タンス（分子流） 2 ls-1 – 正確な圧力制御 - 次ページに続く - – サービスポート装備 1) バルブの加熱なしの条件下で。 （PC接続用とCPAソフトウェア用） 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。3) バルブシートをチャンバー側に取付けを推奨。 SERIES 65.5 振子式コントロールバルブ

SERIES 65.5 振子式コントロールバルブ オプション、カスタムソリューション 技術データ アクチュエータ － 適応型アルゴリズム 最大差圧 運転中のプレート 1 200 mbar （fix PID制御、アップストリーム制御、 5 mbar ソフト排気制御） 絞り運転時間 0.5 s バルブ 標準閉／開時間 開 → 閉 2 s － お 客様指定のフランジ 例： チャンバー直 閉 → 開 0.7 s 付け用の角型フランジ 重量 36 kg / 79 lbs － 標準以外のシール材料 － KF ポート付きのボディ － ヒ ーター（断熱カバー付き）、バルブ加熱 温度120 °Cまで。 Functional principle 5 1 4 2 1 Gate 3 21 GAactetuator shaft 32 ATctwuaot-oarx sish aaftctuator 43 TwAoc-tuaxaitso ar cfteueadtothr rough seal 54 AGctuaateto sr efeaeldthrough seal 5 GVaatelv see asle at side バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com