低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

SERIES 54.1 低価格オールメタルアングル バルブ （極） UHV アプリケーションの真空プロセス用 技術データ リーク量（バルブボディ、バルブシート） < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲 XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 ≤ 2 bar － シールは FLEX VATRING 方式 バルブを開けるときの許容最大差圧 ≤ 1 bar 1 ) － シール面の変形は バルブの寿命 ≥ 1,000 サイクル 弾性変形の範囲内 ベークアウト温度2) ≤ 300 °C（開、閉位置において） － 標準的な六角レンチ、 加熱および冷却速度 ≤ 60 °C h-1 トルク管理不要 材質 AISI 316L (1.4404, 1.4435) － コンダクタンス大 （バルブボディ、メカニズム、ベローズ） － F LEX VATRING は2回まで シール（ボンネット、プレート） メタル 交換可能 軸シール ベローズ 取付け方向 自由 バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き コンダクタンス（分子流） DN16 : 5 ls-1 DN40 : 50 ls-1 DN63 : 105 ls-1 締切りに必要な力 機械的に止まるまで閉める 1）> 0.1 MPa 但し、サイクル減少。 2）最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 54.1 低価格オールメタルアングルバルブ

SERIES 54.1 低価格オールメタルアングルバルブ Functional principle 2 3 1 1 FLEX VATRING 2 Bonnet seal 3 Bellows Valve seat side 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com