真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

SERIES 12.1 真空ゲートバルブ 研究開発および産業の低真空アプリケーションの 標準バルブ 技術データ サイズ DN 63 – 320 mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ プッシュロッドによる手動式 圧空作動式：複動シリンダー 手動式 ボディ材質 アルミニウム 軸シール O-リング軸シール 標準フランジ ISO-F、JIS シーリング技術 VATLOCK リーク量 バルブボディ、 < 1 × 10-9 mbar ls-1 バルブシート 使用圧力範囲 DN 63 – 200 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs) DN 250 – 320 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る DN 63 – 200 ≤ 1.6 bar 許容最大差圧 DN 250 – 320 ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの ≤ 30 mbar 許容最大差圧 第1回サービスまでの DN 63 – 100 200 000 サイクル数 DN 160 – 320 100 000 加熱および冷却速度 ≤ 30 °C h-1 取付け方向 自由 圧空作動式 電磁弁 24 V DC, 5.4 W (others on request) – 低コスト リミットスイッチ：接点容量 電圧 ≤ 250 V AC ≤ 50 V DC – 二分割ボディ 電流 ≤ 2 A ≤ 1.2 A – メンテナンス容易 バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き SERIES 12.1 真空ゲートバルブ

SERIES 12.1 真空ゲートバルブ オプション、カスタムソリューション 許容温度2) アクチュエータ バルブボディ ≤ 120℃ － 多様な電磁弁オプション 手動/圧空アクチュエータ ≤ 80℃ － 緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 － 2 重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位 電磁弁 ≤ 50℃ 置に 2 つのリミットスイッチ付き） リミットスイッチ ≤ 80℃ － 耐 熱リミットスイッチ： アクチュエータの最高ベークアウト温度 140 ° C 材質 バルブボディ DN 63 – 100 EN AW-5083 (3.3547), バルブ EN AW-6061 (3.3211) － お 客様の真空システムに挿入取付け（ボディ DN 160 – 320 EN AC-42100 (3.2371) なし） メカニズム DN 63 – 100 AISI 304 (1.4301) － 表面処理　例：硬質アルマイト加工 DN 160 – 320 EN AW-6082 (3.2315) － お客様指定のフランジ － 標準以外のシール材 － レーザーアプリケーション用のシャッター シール （シールなしゲート） ボンネット、ゲート FKM (Viton®) 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com