高真空シリンダーバルブ　SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2

SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2 高真空シリンダーバルブ 大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケー ションの排気およびベント用。 過酷な環境にも対応 （粉末および腐食に対しての高い耐性）。 技術データ ボディ材質 アルミニウム 真空への露出部品 アルミニウム Series 25.0 Series 25.1 軸シール O-リング回転軸シール リーク量 バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1 バルブシート 使用圧力範囲 1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs) ゲートにかけ得る バルブ閉方向 ≤ 3.0 bar 許容最大差圧 バルブ開方向 ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの ≤ 1.2 bar 許容最大差圧 第1回サービスまでの 100,000 サイクル数 取付け方向 自由 リミットスイッチ：接点容量 電圧 10 – 30 V DC Series 25.2 電流 5 – 100 mA バルブの開閉位置表示 LED 1) 標準フランジ Series 25.0, 25.1 ISO-KF Series 25.2 ISO-KF《クロー》 – 最大級コンダクタンス 圧空圧力 4 – 8 bar – 開位置でのゲートシールを保護 開閉時間 0.6 s – 開および閉位置での機械的ロック – パーティクル発生が少ない DN 16 DN 25 DN 40 コンダクタンス（分子流） Series 25.0 5 16 46 Series 25.1 6 19 55 Series 25.2 ポート1→ポート2 8 31 90 ポート1→ポート3 7 24 67 1) リミットスイッチ付き SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2 高真空シリンダーバルブ

SERIES 25.0 / 25.1 / 25.2 高真空シリンダーバルブ オプション、カスタムソリューション 温度2) アクチュエータ － 圧空チューブ用継ぎ手 バルブボディ ≤ 120 °C － 120℃の機械式リミットスイッチ アクチュエータ ≤ 120 °C バルブ リミットスイッチ ≤ 80 °C － 標準以外のシール材 例：FFKM － シールが接着されたゲート － DN 40バルブはISO-KF DN 50「クロー」 フランジ付き 材質 － ステンレスボディ バルブボディ EN AW-6060 (3.3206), － ヒーターカートリッジDN 40 EN AW-6082 (3.2315) ゲート、ボンネットフランジ EN AW-6082 (3.2315) シャフト AISI 316L (1.4435) with Ni-PTFE coating ゲート取付けネジ、 A4-80 with Ni-PTFE coating 3) ワッシャー シール ボンネット、ゲート、 FKM (Viton®) 軸シール 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 3) 他のネジ材質についてはお問い合わせ下さい。 Functional principle 1 Gate seal 2 Bonnet seal 3 Feedthrough seal バルブシート側 1 2 3 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com