真空封止アプリケーション用　高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

SERIES 09.1 高真空ゲートバルブ 真空封止アプリケーション用。 特に堆積物の多いアプリケーションに最適。 技術データ サイズ DN 50 – 160 mm (2“ – 6“) アクチュエータ 手動式：クランクハンドル式 圧空作動式：複動シリンダー ボディ材質 ステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ ISO-KF, ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技術 ウェッジシール 手動式 リーク量 バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1 バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1 使用圧力範囲 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る ≤ 1.2 bar 許容最大差圧 バルブを開けるときの ≤ 1 bar 許容最大差圧 第1回サービスまでの 5,000 サイクル数1) ベローズ軸シールの 100,000 サイクル数1) 取付け方向 自由 電磁弁 24 V DC, 5.4 W (others on request) リミットスイッチ：接点容量 電圧 10 – 30 V DC 電流 ≤ 0.5 A 電力 max. 10 W 圧空作動式 – 最大差圧で開閉 温度2) – セ ルフクリーニング式 バルブボディ ≤ 150 °C ウェッジシールで過酷な 手動／圧空アクチュエータ ≤ 100 °C プロセスにも対応 電磁弁 ≤ 50 °C – 頑丈 リミットスイッチ ≤ 60 °C – 容易なメンテナンス 1) プロセスによっては、より短いサービスサイクルになる。 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 09.1 高真空ゲートバルブ

SERIES 09.1 高真空ゲートバルブ オプション、カスタムソリューション 材質 アクチュエータ － イ ンパルス電磁弁：停電時、 バルブボディ AISI 304 (1.4301) バルブの最終位置を保持 ゲート AISI 304 (1.4301) － 別置き用電磁弁付き － 多種の電磁弁電圧（標準：24 V DC） ベローズ AISI 633 (AM350) バルブ － O-リング軸シール シール － 軸シール用のPTFEベローズ ボンネット、ゲート FKM (Viton®) － ポート付き（粗引き（バイパス）、 ベント、排気またはゲージ用） （図1、様々なポート位置が可能） Functional principle 1 2 3 4 CLOSED OPEN 1 Gate 2 Sliding element 3 Gate Seal 4 Bellows バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com