ビームストッパー/ ビームストッパーインサート　SERIES 79.0 / 79.3

SERIES 79.0 / 79.3 ビームストッパー/ ビームストッパーインサート フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用 技術データ サイズ DN 63 – 160 mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ 圧空作動式：複動シリンダー ボディ材質 ステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ CF-F リーク量 ビームストッパーボディ < 5 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲 UHV to 1 bar (abs) ビームストッパー、SERIES 79.0 第1回サービスまでの 5 000 サイクル数 (option : 50 000) 加熱および冷却速度 ≤ 80 °C h-1 取付け方向 自由 圧空圧力 4 – 7 bar (min. – max. overpressure) 58 – 102 psi 閉止に要する時間 DN 63 1 s DN 100 2 s DN 160 3 s ビーム負荷 Beam Ø < 60 mm max. 5 kW Beam Ø > 60 mm max. 6 kW 基準負荷 max. 25 W / mm 2 冷却水量 min. 15 l / min. ベークアウト温度 1) ビームストッパーボディ ≤ 250 °C 圧空アクチュエータ ≤ 80 °C (option: 200 °C) 冷却水 ≤ 15 °C 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 ビームストッパーインサート、SERIES 79.3 – 水 冷部と真空部との間に 溶接部やロー付け部なし – 工業用 – UHV対応 SERIES 79.0 / 79.3 ビームストッパー /ビームストッパーインサート

SERIES 79.0 / 79.3 ビームストッパー /ビームストッパーインサート オプション、カスタムソリューション 材質 アクチュエータ ビームストッパーボディ、 AISI 304 (1.4301) － 耐 熱リミットスイッチ：圧空アクチュエータ メカニズム の最高ベークアウト温度 200 ° C1) ベローズ AISI 316L (1.4404) （標準：80℃） 水冷プレート 銅 ビームストッパー － 水 冷機構なし シール － お客様指定のフランジ － ポ ート付き（粗引き（バイパス）、ベント、 ボンネット メタル 排気またはゲージ用） 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により 変わる。 Functional principle 2 4 1 3 CLOSED OPEN 1 Beam stopper body 2 Copper plate 3 Bellows 4 Watercooling 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com