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縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での 圧力制御および真空封止用バルブ
◆自動学習機能
◆閉時間1秒
◆短い制御応答時間
◆簡易メンテナンス
◆200° Cまでベーク可能(任意)
◆EtherCAT
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このカタログについて
ドキュメント名 | コントロールアングルバルブ SERIES 62.0 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 217.3Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | VAT株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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VAT GROUP AG
SERIES 62.0
コントロールアングル
バルブ
PASSION. PRECISION. PURITY.
縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での
圧力制御および真空封止用バルブ。
‒ 自動学習機能 ‒ 簡易メンテナンス
‒ 閉時間1秒 ‒ 200° Cまでベーク可能(任意)
‒ 短い制御応答時間 ‒ EtherCAT
技術データ
20°Cでのリーク率 < 1 x 10E-9 mbar l/s
20°Cでの圧力範囲 最小: 1 x 10E-8 mbar
最大: 1.2 bar (abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧 最大: 1.1 bar
サイズ 第1回サービスまでのサイクル数 DN 50 DN 100
DN 50 mm (2”) 圧力制御 2 百万 百万
DN 100 mm (4”) 閉/開 百万 200,000
アクチュエーター
ステッピングモーター
クローズドループ制御 温度
バルブボディ, プレート, ベローズ 150°C
フィードスルー
ベローズ 周囲温度 ≤ 50°C
標準フランジ
DN 50 ISO-KF 材料
DN 100 ISO-K
バルブボディ (ニッケルも可), プレート AISI 316L (1.4404 or 1.4435)
その他フランジ径 ベローズ AISI 316Ti (1.4571)DN 40, DN 80
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SERIES 62.0
コントロールアングルバルブ VAT GROUP AG
技術データ (続き)
シール: ボンネット、プレート Viton
軸シール ベローズ
取付け方向 自由
インターフェイス
RS232, RS485, DN 50 DN 100
Logic, DeviceNet, EtherCAT コントローラー 搭載型 別置き型
制御可能な最小コンダクタンス 0.1 ls-1 0.2 ls-1ヒーター
DN 100, 200°C 最大ストローク 14.5 mm 30 mm
a) 断熱カバー 最少閉時間 ≤ 1.2 s ≤ 1 s ベローズヒーター付き
b) 断熱カバー 圧力制御時の閉時間 ≤ 1.8 s ≤ 2.5 s
ベローズヒーターなし 開時間 ≤ 1.8 s ≤ 2.5 s
DN 50 (2") DN 100 (4")
A P D O Q A P D O Q
mm 70 91 50 280 30 mm 120 148 102 285 110
inch 2.76 3.58 2 11 1.18 inch 4.72 5.83 4.02 11.2 4.3
N D1 B1 S N
mm 141 52.2 74.9 91 mm 95
inch 5.55 2.06 2.95 3.58 inch 3.75
WWW.VATVALVE.COM
VAT株式会社 VAT Vakuumventile AG
〒221-0056 (Headquarter)
神奈川県横浜市神奈川区 Seelistraße 1
金港町2番地6 横浜プラザビル7F 9469 Haag
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