UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

SERIES 10.8 UHVゲートバルブ 研究開発および産業のUHVアプリケーションの 標準バルブ 技術データ サイズ DN 63 – 320 mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ クランクハンドルによる手動式 圧空作動式：複動シリンダー 3位置圧空作動式：複動シリンダー ボディ材質 ステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS 手動式 圧空作動式 シーリング技術 VATLOCK リーク量 バルブボディ < 5 × 10-10 mbar ls-1 バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 63 – 200 1 x 10-10 mbar to 1.6 bar (abs) DN 250 – 320 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る DN 63 – 200 ≤ 1.6 bar 許容最大差圧 DN 250 – 320 ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの ≤ 30 mbar 許容最大差圧 第1回サービスまでの 50 000 サイクル数 加熱および冷却速度 ≤ 50 °C h-1 取付け方向 自由 電磁弁 24 V DC, 5.4 W (others on request) リミットスイッチ：接点容量 電圧 ≤ 50 V AC / DC 電流 ≤ 1.2 A バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示 付き 3位置圧空作動式 – 潤滑剤不要 – D N 63-200用 Vulcanized シール – メンテナンスが容易 SERIES 10. 8 UHVゲートバルブ

SERIES 10.8 UHVゲートバルブ オプション、カスタムソリューション 許容温度1) アクチュエータ バルブボディ ≤ 250℃（バルブ開）、≤ 200℃（バルブ閉） － 多様な電磁弁オプション 手動アクチュエータ ≤ 250℃ － 緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 － 2 重リミットスイッチ（開、閉それぞれの 圧空アクチュエータ ≤ 200℃ 位置に 2 つのリミットスイッチ付き） 電磁弁 ≤ 50℃ － 耐熱リミットスイッチ リミットスイッチ ≤ 80℃ バルブ － お客様指定のフランジ、水冷機構あり / なし － 標準外のシール材料 材質 － V ulcanized シールに代わる O- リングシール バルブボディ AISI 304 (1.4301) のゲート（図 1）　DN 63、100、160、200 － 窓付きゲート / 各種金属箔取付けに対応した メカニズム DN 63 – 200 AISI 316L (1.4404) 特殊バルブ　DN 63、100、160、200 DN 250 – 320 AISI 304 (1.4301) ベローズ AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール ボンネット メタル ゲート FKM (Viton®) 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com