真空封止用 角型ゲート/インサート MONOVAT　SERIES 02.2 / 03.2

SERIES 02.2 / 03.2 角型ゲート/インサート MONOVAT SERIES 02.2: ゲート 200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置の ロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。 特長 開口サイズ 32 x 222 mm to 100 x 500 mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ 圧空作動式：複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール シール技術 MONOVAT機構：VATカタログ参照 技術データ リーク量 1) 2) ボディ シート SERIES 03.2: インサート 　シール面: シール　メタル（表面処理なし） FKM (Viton®) 1・10-9 1・10-9 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム FKM (Viton®) 1・10-5 1・10-4 mbar ls-1 　ニッケルメッキアルミニウム FKM (Viton®) 1・10-9 1・10-9 mbar ls-1 　メタル（表面処理なし） FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-8 1・10-7 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-5 1・10-4 mbar ls-1 　ニッケルメッキアルミニウム FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-8 1・10-7 mbar ls-1 使用圧力範囲 　メタル（表面処理なし） < 1・10-9 mbar to 1.2 bar (abs) 　硬質アルマイト加工アルミニウム < 1・10-6 mbar to 1.2 bar (abs) 　ニッケルメッキアルミニウム < 1・10-9 mbar to 1.2 bar (abs) 許容最大差圧 3) ゲート: 1.2 bar バルブを開けるとき: ≤ 30 mbar 第一回サービスまでの up to 56 x 496 mm: ≥ 5 million サイクル数 1) 3) 4) > DN 56 x 496 mm: ≥ 1 million バルブの許容温度 3) ボディ/ゲート Alu, 標準リミットスイッチ: ≤ 80 °C ボディ/ゲート Alu, 耐熱リミットスイッチ: ≤ 150 °C ボディ/ゲート SS, リミットスイッチなし: ≤ 200 °C - 次項に続く - – ベ ローズをアクチュエータ内部に配置 1) することでプロセス側から保護 室温（25℃）で、クリーンな条件で。2) 測定条件： – PEEK材でできた差圧タブ ・ボディ：30s, He濃度≥20% – メ ンテナンスフリーのアクチュエータ ・シート：15s, He濃度≥30%3) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 – 簡単なゲート交換 4) ゲートの寿命を最大限にするためには圧空圧力を出来る限り低くすること、それでもバルブ閉止位 低ショック 置での所定のリーク量の値は確保できる。シールラインの長さ（ゲートのサイズ）、シール当たり– 面の公差、測定の精度および要求されるリーク量の値により、圧空圧力は規定の圧力範囲をわずか に超える事がある。 SERIES 02.2 / 03.2 角型ゲート /インサート MONOVAT

SERIES 02.2 / 03.2 角型ゲート /インサート MONOVAT オプション 技術データ アクチュエータ 材質 アルミニウム ボディ/ゲート: EN AW-5083 (3.3547), － バルブ閉および開の位置で圧空ロック機構 EN AW-6061 (3.3211), － 150℃までベーク可能 EN AW-6082 (3.2315) － 2重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位 ステンレススチールボディ/ゲート: AISI 316L (1.4404, 1.4435) 置に2つのリミットスイッチ付き） 差圧タブ、ストッパー PEEK (Polyetheretherketone) ベローズエンドピース、シャフト: AISI 316L (1.4404, 1.4435) ベローズ: AISI 633 (AM 350) クランプ部材: AISI 301 (1.4310) バルブ シール ボンネット、ゲート: FKM (Viton®) － 表面処理 － 冷却/加熱 軸シール ベローズ － お客様指定のシール材 取付け方向 アクチュエータ上向または下向 － ゲート用プロテクトシールド インパルス電磁弁 24 V DC, 2.5 W (others on request) その他はお問い合わせ下さい リミットスイッチ: 電圧: ≤ 50 V AC/DC 接点容量 電流: ≤ 0.1 A, ≤ 5 mA 接続: 9 pin subminiature D 圧空接続 内ネジ ⅛“ 開/閉時間 DN 56 x 496 mm: < 1 sまで 100 x 500 mm: < 2 s 詳しくはお問い合わせ下さい。 Functional principle Valve 02.2 Insert 03.2 closed open closed open 1 1 2 2 6 6 7 3 3 1 Valve body (02. 2) 4 4 Insert seat (03.2) 2 Gate 3 Gate seal 4 Bonnet seal 5 5 5 Bellows 6 Body seal, seat side 7 Body sealing surface, rear side バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com