半導体製造プロセスにおけるEFEMとロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適
◆シリーズ07.5より更に低発塵性能が向上
◆ウェハーに近い駆動機構はグリスフリーを実現
◆弁体背面のトーションバー機構による均等なシール性能を有するL字型動作
◆アクチュエータ内で発生したパーティクルを排出するための排気ポートを装備
◆D-SubとAMP接続
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このカタログについて
| ドキュメント名 | LINVAT大気ドアー SERIES 07.0 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.4Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | VAT株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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SERIES 07.0
LINVAT大気ドアー
半導体製造プロセスにおけるEFEMと
ロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適
特長
サイズ 1) up to 50 x 336 mm (1.97“ x 13.23“)
アクチュエータ 圧空作動式：複動シリンダー リミットスイッチ付き
ゲート材質 アルミニウム
軸シール ベローズ
シール技術 vulcanized seal
(O-リングシールはお問い合わせください)
技術データ
リーク量 2) up to 1 · 10-9 mbar ls-1
使用圧力範囲 < 1 · 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
圧空圧力 4 – 6 bar (58 – 88 psi)
第一回サービスまでの 3 million
サイクル数 2)
駆動時間 開: ≤ 1 s
閉: ≤ 1 s
許容温度 3) バルブシート、ゲート: ≤ 120 °C
リミットスイッチ付きアクチュエータ: ≤ 80 °C
材質 ゲート: EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211)
シャフト: AISI 316L (1.4404, 1.4435)
ベローズ: Teflon
シール ZALAK 5100（他のシール材はお問い合わせ下さい）
取付け方向 アクチュエータ上向または下向
1) その他のサイズはお問い合わせ下さい。
– シ リーズ 07.5 より更に低発塵性能が向上 2) 室温（25℃）、クリーンな環境、標準的な駆動速度と圧空圧力で。
3) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。
– ウ ェハーに近い駆動機構はグリスフリー
を実現
– 弁 体背面のトーションバー機構による
均等なシール性能を有する L 字型動作
– ア クチュエータ内で発生したパーティク
ルを排出するための排気ポートを装備
– D-Sub と AMP 接続
SERIES 07.0 LINVAT大気ドアー
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SERIES 07.0
LINVAT大気ドアー
オプション
－ 外界より密閉されたアクチュエータ機構
－ 耐食性のある材質
－ ゲート: 硬質アルマイト加工またはニッケルメッキ加工
Functional principle
closed optically closed open
1
5
2 3
4
1 Gate
2 Actuator
3 Actuator cover 6
4 Position indicator
5 Bellows (option)
6 House/home vacuum port
詳しくは弊社にお問い合わせください
WWW.VATVALVE.COM
VAT株式会社
（横浜本社）
神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6
横浜プラザビル7F
TEL: 045-440-0340
E-mail: sales01@vatvalve.com
（西日本事業所）
兵庫県姫路市北条宮の町113
TEL: 050-3819-9571
E-mail: sales01@vatvalve.com