精密寸法測定用プローブセンサー(電気マイクロ)

デジタル測定ネットワーク DIGITAL MEASURING NETWORK www.solartronmetrology.com

“お客様へ高精度のリニア測定を実現するためのソリューションを提 供します。” “配合客户和合作伙伴提供完整的精 密线性测量解决方案” “Travailler avec nos clients et partenaires pour fournir des solutions de mesures linéaires précises et complètes” “Working with our customers and partners to provide complete precision linear measurement solutions” “Lavoriamo con i nostri clienti e partner per fornire soluzioni di misura lineare complete ed accurate” “Zusammenarbeit mit Kunden und Partnern für die Bereitstellung präziser Messlösungen” “Trabalhando com nossos clientes e parceiros para fornecer soluções precisas em medição linear” “Сотрудничество с клиентами и партнерами обеспечивает наилучшие комплексные решения в облaсти высокоточных систем линейных измерений” “Trabajamos con nuestros clientes y socios para proporcionarles soluciones completas en medides lineares de precísíon”

目次 ORBIT® デジタル測定ネットワーク ORBIT® コネクティビティ＆アプリケ ネットワークのセンサの選択 ページ 4 - 5 ーション ページ 8 - 11 ページ 6 - 7 デジタル測定プローブ フェザータッチ コンパクトプローブ ページ 12 - 15 ページ 16 - 17 ページ 18 - 19 ブロックゲージ & フレクシャ ミニプローブ 非接触レーザー三角測量 ページ 20 - 21 ページ 22 - 23 ページ 26 - 27 WiGauge™ リニアエンコーダ ORBIT® のアクセサリおよび電源モジ ページ 28 - 29 ページ 30 ュール ページ 31 エアゲージインターフェースモジュール Orbit®特殊モジュールおよびインター デジタルリードアウト ページ 32 - 33 フェースモジュール ページ 40 - 43 ページ 34 - 39 ORBIT® ゲージソフトウェア 4.0 プローブのティップ トランスデューサの寸法 ページ 44 - 49 ページ 52 - 53 ページ 54 - 64 www.solartronmetrology.com 3

ORBIT® 　デジタル測定ネットワーク エンコーダ デジタル デジマチック入力 アナログ 入力 入出力 ブロックゲージ 入力 ひずみゲージ 入力 USB インターフェース イーサネット インターフェース RS232 インターフェース PLC インターフェース ワイヤレス インターフェース ミニチュア 変位 ト ランスデューサ SIシリーズ コントローラー 変位 トランスデューサー レーザー三角測量 デジタルプローブ（イ ンラインコネクタ） 4 www.solartronmetrology.com

性能の高さとコストの高さは比 例しません。工業や研究におけ る品質基準は厳しさを増してい ブロックゲージ ますが、経費節約に対する要求 フレクシャ ミニ も高 プローブ まり続けています。Orbit®は、生 DUSM 産ラインや研究施設における精 シングルリーフ　 密測定や位置決めに対するあら フレクシャ ゆる要求に、前向きな解決策を 提供します。 レバー プローブ Orbit®システムアーキテクチャ は、高い電気的保護等級と優れ た耐ノイズ性を持つ堅牢な機械 リニアエンコーダ 的設計によって構成されており、 必要に応じて有効かつ高精度な データを得ることができます。 すべてのソーラトロン製品は、厳 しい試験により、長い動作寿命 を提供しております。 ボディ外径3mm プローブ ウルトラフェザータ ッチ フェザータッチ デジタル デジタルプローブ（イ プローブ(DP) ンラインコネクタ） www.solartronmetrology.com 5

ORBIT® コネクティビティ Orbitを使用すると、1つのスタックに最大200個のプローブ、レーザー、また はサードパーティ製センサーを接続できます。 その後、PC、PLC、または読 み取り装置に出力します。 ソーラトロンのデジタル入出力モジュール（DIOM）は、PLCまたはライトタ ワーへのシンプルなI/Oを可能にします。 接触センサーと非接触センサーの両方を簡単 にネットワーク化し、給電できます。 Orbitを使用して、ロードセルや熱電対などの サードパーティ製センサーを同期して出力しま す。 ソーラトロンのプロトコルインターフェースモジュール（PIM）は、世界で最 も普及しているPLCインターフェースへの接続を提供します。 6 www.solartronmetrology.com

ORBIT® アプリケーション 世界的なセンサーメーカーであるソーラトロン・メトロロジーは、さまざまな産業や用途における変位測定用のセンサー技 術を豊富に取り揃えています。 より多様なリニア測定アプリケーションに対応するため、測定および計測用センサーとトランスデューサーの品揃えを常に 進化させているソーラトロンは、お客様が正確な精密測定を行うための技術、取り組み、リソースを備えています。 ベアリング産業 ソーラトロンのプローブは、高分解能、繰り返し精度、頑丈な 構造により、理想的な選択肢となっています。 タービンブレード ソーラトロンプローブは、複数のポイントを瞬 時にチェックすることができます。 EVバッテリーポーチ 平面度、厚さ、その他の重要な寸法をチェックします。 ガラス フェザータッチおよびウルトラフェザータッチ プローブは、曲面ガラスやデリケートな素材に 傷を付けたり、へこませたりすることはありま コネクティングロッド せん。 フレクシャを使用して、内径や中心点間の距離をチェックする ことができます。 内径測定とアライメント プロセスモニタリング ミニプローブは、内径、アライメント、真円度、そ 接触式プローブを使用して、金属板へのネジの挿入距離など の他の特性の検査に使用できます。 の移動距離をモニターします。 www.solartronmetrology.com 7

ORBIT® ネットワークのセンサの選択 それぞれ独自の利点がある、一連のリニア測定センサから選択できます。 接触測定 デジタルプローブおよびトランスデューサ` 低接触圧の「フェザータッチ」プローブ f 高精度 f 最小3gから20gの接触圧 f 高繰り返し精度 f ガラス等の傷つき易いデリケートな測定面に最適 f 堅牢 f ナイロン製、窒化ケイ素製、およびルビー製の f コンパクトなサイズ 接触子を使用可能 f 低接触圧 f デジタルプローブと同様に高正確度かつ高分解能 f 長寿命 f 光、ほこり、油の影響が少ない f 絶対測定 f すべての表面状態で機能 f 最高のコストパフォーマンス f 幅広い測定環境に対応 f 幅広い製品に対応 特殊センサ リニアエンコーダ f ボアや隙間など、ペンシルタイプでは測定が f グラススケール 難しいケース用のセンサ f フルスケールレンジで最高の正確度を実現 f 複数の測定レンジやサイズから選択可能 f 優れた分解能と再現性 f 堅牢な設計 カスタム製品 ソーラトロン・メトロロジーでは、経験豊富な設計チームがお客様と密接に連携してカスタマイズされた測定ソ リューションを作成してきました。測定に関する問題を解決するために特殊センサが必要な場合は、お近くのソ ーラトロンの代理店にお問い合わせください。 例：カスタマイズされたフェザー・タ ッチ・プローブ f ガラス産業用に構築 f ストローク30mm（ただし、測定 自動化 計測 ベンチテスト 医療 レンジは終端の5mm） f グラス搬送時にティップをクリア f 位置フィードバック f 組み立ての確認 f スチール・ブレード・ケーブル f レベル測定 f 閉ループ制御 付きの直角アウトレット f 機械調整 f ツールの位置決め 8 www.solartronmetrology.com

非接触測定 レーザー三角測量 f Orbit® LT2（高精度）およびOrbit® LT1（基本精度） モデル f 非常にコンパクト： 幅わずか20mm f 追加のコントローラーは不要 f Orbit®ネットワークを介して他のセンサーと接続 可能 f 簡単なセットアップと調整 その他の製品 位置制御および変位の測定 ソーラトロンでは、産業状態、研究施設、および試験環境に応じて使用可能なあらゆる変位センサを 提供しています。ほぼすべての変位センサについてもOrbit®測定ネットワークと統合できます。 制御 位置 フィードバック 変位トランスデューサは、以下の領域で使用されてきました。 エネルギー 輸送 試験 構造 エレクトロニクス f 運動制御 f 構造監視 f 距離制御 f 材料試験 f 亀裂監視 f 研究 主なアプリケーション要素 f 素材 f 環境 f 最適な推奨センサについて f 面の粗さ f 湿度 は、お近くのソーラトロンの f 公差 f 温度 代理店にお問い合わせくだ f 測定スピード f 振動 さい。 f 接触することに問題はないか f センサの取り付け f 非接触で測定可能か www.solartronmetrology.com 9

ORBIT® デジタル測定ネットワークの使用 Orbit®測定ネットワークは、迅速に、簡単かつコスト効率よく組み立てられるモジュラシステムです。 リニアプローブだけでなく、多くの異なる種類のセンサを簡単に接続できます。ネットワークの特長 となる要素はソフトウェアドライバおよびプログラムライブラリです。これらが高速データキャプチャと その処理を実行可能にします。 選択可能な スプレッドシートに直接ア 基本ソフトウェアパッケー フルソフトウェアパッケージ クセス ジの使用 を使用 Windows®用Orbit®サポー Windows®用Orbit®サポ ートパックをインストール Windows®用Orbit®サポー トパックのインストール する トパックをインストールし ます。 Excel®アドインのインスト ール Orbit® GCSの使用 Orbit®ゲージソフトウェア トランスデューサーの読み 4.0をインストール Orbit®からExcel®へのデー タ読み込み、事後処理、グ 取り値を表示し、データを ファイルに記録します。 SPC、オートメーション接 ラフィック生成 続、複数のデータ出力形 式を備えた本格的パッケ ージ Orbit® ゲージソフトウェア4.0は、手動、半自動、完全自動のアプリケーションに対応できる本格的なソフトウェアパッケージ です。200を超えるセンサーを作動させ、複数のSPCフォーマットでデータを出力することができます。 OrbitGCSは使いやすいアプリケーションで、ユーザーはネットワークを設定し、PC上にグラフィカルな形式でデータを表示 することができます。 データはExcel®に記録することもできます。Excel®アドインを使用すると、アプリケーション固有のスプレッドシートを簡単に 作成できます。 また、LabVIEW®とOrbit®の直接接続にも対応しています。ソーラトロンは、Linuxオペレーティングシステムに接続するため のドライバーも提供しています。 10 www.solartronmetrology.com

ORBIT® デジタル測定ネットワークの使用 Orbit®ネットワークをSPCまたはExcel®に接続するか、Orbit® Support Packを使用して独自のプログラ ムを構築することができます。PLCへの接続にはPLCインターフェースモジュール、スタンドアローン システムには表示器を使用可能です。 測定システム構成 独自のPCプログラムの作 成または既存のソフトウェ PLCを使用 スタンドアロンシステム アへの接続 Windows®用Orbit®サポー 標準PLC用プロトコルモ トパックのインストール ジュール（Modbus®TCP/ IP、EtherNet/IP®、Profinet® ソフトウェア不要 実績のあるシンプルな 、EtherCat®、CC-Link®）。 Orbit® Libraryコマンドを 使用して、Orbit® Network からデータを取得します。 高速同期データ取得には、 ダイナミックやリードバー PC ベースのシンプルなコ ストなどの高速測定モード ンフィギュレーションツー さまざまな機能を提供す を使用します。 ルで簡単セットアップ る表示器 Orbit® Library は、Windows XP®以降のすべてのWindows®オペレーティングシステムに搭載されてい る、Microsoft®. Net Framework用に設計されています。このライブラリを使用することで、Orbit®システムの開発 を大幅に簡易化することができます。Orbit®ライブラリの主な特長の一つに、複数の方法で ネットワークからデータを取得する機能があります。これによって、多くの一般的な測定問題を解決できます。 特長 Windows® 10、8.1、7、およびXP（64ビットと32ビットの両方） Orbit® Library - Microsoft .NET Frameworkベース OrbMeasureLiteアプリケーション – 無料のシンプルなアプリケーション（ソフトウェア作成不要） Excel® Add In - Orbit®から直接Excel®にデータ表示可能 Orbit® Libraryテストアプリケーション - すべてのOrbit®コマンドのソースコードが含まれており、 このコードはお客様が独自のアプリケーションを開発するために使用可能 言語別のサンプルプログラム 詳細なドキュメントとヘルプファイル www.solartronmetrology.com 11

ORBIT® - あらゆる用途に最適 データは、信頼できるソースから生成された場合にのみ価値があります。 インジケータラン 標準的なトラン プは、電源とデー スデューサケー タ伝送が有効で ブルはすべて、 あることを表示 最適な電気的ス 内部の電気 クリーニングを 的スクリーニ 行うために、フ ングを行う頑 ォイル層入りの 丈かつ軽量 ポリウレタンケ なボディ ーブルを使用。 ケーブルは柔 硬化処理済 軟性にも優れて みのステン いる。 レススチー ルより加工 磁場から保護 不活性で側 するための内 PIE（プローブ　インターフ ェース　エレクトロニクス） 面からの衝 部スクリーン 撃に強いチ タンコアキ ャリア プロープは、横荷重 を伴う厳しい 優れた再現 「段カム」試験に 性と長寿命 プローブのティ 対する耐性を を実現する、 ップが中心を外 持つように設計。 カーボン/ク れていても優れ 横荷重環境下でも再 ロームのボ た再現性を提 現性を維持したまま ールを使用 供する、頑丈に 頑丈かつ軽量な設 1300万回 した精密ベア 設計された回 計。35mm DINレール 以上の耐性有 リング 転防止機構 マウントへの取付。セ ンサのアドレスを保持 的確なデータ収集 + 強力な処理 = ゆるぎない結果 正確な測定データも、ノイズの多 信頼できるセンサは、すべての データは、表示可能/実行可 い信号状況や電気的な干渉に対す データ処理システムにおいて 能でなければ意味がありま る耐性が低い場合に損なわれる場 重要です。ソーラトロンのOrbit® せん。Orbit®は、PCとPLCベ 合があり、結果の再現性に影響を ベースセンサと機械インターフ ースのシステムの両方で使 及ぼす可能性があります。Orbit®で ェースはすべて、新しいサイク 用可能な、さまざまな表示や は、センサからクリーンで再現可能 ルからだけでなく、何百万もの 表示器、インターフェースモ なデータを最大読み取り回数3906 サイクルから信頼できる ジュール、およびソフトウェア 回/秒で高速処理して伝送します。 データを生成するために設計 を提供します。Excel®アドイ されています。 ンはExcel®にデータを転送 するための簡単な方法の一 つです。PLCシステムはさま ざまなインター フェースで処理できます。 12 www.solartronmetrology.com

ORBIT® デジタル測定プローブ 接触式ゲージプローブは多くの場合、幅広い測定アプリケーションおよび位置決めアプリケーションに、もっとも コスト効率の良いソリューションを提供します。このプローブには優れたな横荷重耐性が あります。通常の上下動（横荷重なしの場合）では、1億サイクル以上の耐久性を有します。 DP/S - スプリングプッシュ f 0.5, 1, 2, 5, 10, 12, 20, 30 mmの測定範囲 f 正確度 0.1µm（最高） f 分解能　最大0.01µm f 繰り返し精度　最大0.05µm DP/0.5/S f 接触圧　0.7N（オプションあり） f IP65準拠のシーリング スプリングプッシュタイプのデジタルプローブは、ゲージング産業において非常に便利な機能です。 非常に高い分解能、優れた直線性、データ速度の速さに、優れた測定の繰り返し精度が組み合わされています。 長寿命の精密ベアリングとIP65準拠のシーリングにより、プローブは測定を何百万回行ってもその性能を維持で きます。 DP/P - エアープッシュ f 2, 5, 10, 12, 20, 30 mmの測定範囲 f 正確度 0.1µm（最高） f 分解能　最大0.01µm f 繰り返し精度　最大0.05µm f 接触圧　0.7N（1bar） f IP65準拠のシーリング f 空気圧作動(ゲータ使用) f バキュームリトラクトオプションを使用可能 エアー式トランスデューサは、自動ゲージングアプリケーションでの使用や、スプリングプッシュトラン スデューサでは処理できない、または処理が難しい細部にアクセスする際に最適です。標準エアー プローブはIP65準拠のシーリングに対応しており、湿潤環境や油環境でも長い動作寿命を維持できす。 DJ/P - エアープッシュ エアベント f 2, 5, 10, 12, 20 mmの測定範囲 f 内蔵ピストンによる作動（ゲータ未使用） f 標準エアープローブと同様の性能 ジェット「Jタイプ」プローブは、内蔵ピストンで作動するという点を除いて標準エアー式トランスデューサと同じ です。高ティップ圧を使用できますが、空気がプローブフロントに近い排気口から排気されるため、IP等級は低く なります。これらのプローブは、ゲータに穴が開いた場合でも継続して作動します。 DSP/S - デジタルショートプローブ f 標準デジタルプローブより最大25%短い直径8mmプローブ f 標準プローブと同じ直線性、分解能、再現性。 f 特別仕様の4mmレンジプローブもご用意しています。 f ライトアングルタイプもございます。 標準的なデジタル変位センサーよりもかなり短く、従来のLVDTセンサーよりもはるかに短いデジタルショートプ ローブ（DSP/S）は、LVDTセンサーの長所をすべて維持しながら、優れた性能を発揮します。 13 AIR ON AIR OFF AIR ON

D12P -厳しい環境で使用するための堅牢なプローブ f 厳しい環境で使用するための、より厚みのある堅牢な設計 f 直径12mmのボディに内蔵された直径5mmのシャフト f 優れた強度と横荷重耐性 堅牢なデジタルプローブは、標準プローブが損傷しやすい環境用のオプションです。これらの製品の基本性能 は、ø8 mmレンジと同じです。詳細については、ソーラトロンにお問い合わせください。 プローブオプション インラインコネクター f プラグ内部のチップにプローブの校正データをロード f ソフトウェアのプログラミングを必要とせず、プローブの交換 が簡単 f 標準デジタルプローブ、フレクシャー、ブロックゲージで使用可 能 f コネクターはIP67等級 f 取り付けが簡単な小径コネクター f 分解能は<0.01 µmまでプログラム可能 f トレーサブル校正 すべてのキーポイン トでエポキシ封止 IP68シーリング f プローブが侵入するすべての箇所を手作業でシール f IP68シーリングは第三者機関により検証済み f 標準スプリングプローブおよび空気圧プローブに適用可能（ジ ェットプローブまたはフェザータッチでは不可） f 油性または湿性環境に最適 ケーブルのカスタマイズ スチール ナイロン 装甲 f ケーブル長は最大10mまでカスタマイズ可能 f 様々なケーブル保護 ライトアングルアウトレット f 狭いスペースに最適 f プローブ性能に変化なし オフセット空気圧プローブ f 10mmまたは20mmのストロークを持つ空気圧プローブです が、ストロークエンドの測定範囲は2mmまたは5mmです。 f DP/10/2/Pの例 14

技術仕様 製品 (注 4) スプリング, エアープッシュ, 堅牢なプローブ スプリングプッシュ　ストレートケーブル DP/0.5/S DP/1/S DP/2/S DP/5/S DP/10/S DP/12/S DP/20/S DP/30/S DP/10/2/S エアー　ストレートケーブル DP/2/P DP/5/P DP/10/P DP/12/P DP/20/P DP/10/2/P 真空アキシャルケーブル DP/2/V DP/5/V DP/10/V DP/12/V DP/20/V DT/30/P N/A エアー　ストレートケーブル（ジェット） DJ/2/P DJ/5/P DJ/10/P DJ/12/P DJ/20/P DJ/10/2/P デジタルショートプローブ スプリングプ N/A N/A ッシュ DSP/2/S DSP/5/S N/A デジタルショートプローブ エアープッシュ N/A N/A N/A N/A N/A N/A 厳しい環境で使用するための堅牢なプ N/A ローブ D12P/5/S D12P/10/S ボディ外径 8h6 測定性能 測定レンジ (mm) 0.5 1 2 5 10 12 20 30 2 正確度 (% of Reading) (注1) 0.05 0.05 0.05 0.05 0.06 0.06 0.07 0.1 0.05 正確度 (% of Reading) (注1) - インライン コネクタ付き N/A 0.20 0.20 0.15 0.15 0.15 0.15 0.2 0.20 繰り返し精度（最低時）µm（注2） 0.10 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.25 0.5 0.15 繰り返し精度（通常）µm（注3） 0.05 0.05 0.05 0.05 0.07 0.07 0.10 0.25 0.05 分解能（µm） 0.01 0.01 0.01 0.02 0.04 0.05 0.08 0.12 0.01 プレトラベル（mm） 0.03 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 ポストトラベル（mm） 0.05 0.35 0.85 0.85 0.85 0.85 0.85 0.85 8.85 接触圧（N）（測定レンジの中心から±20% の範囲） スプリングプッシュ 0.70 0.70 0.70 0.70 0.70 0.70 0.70 0.85 0.70 厳しい環境で使用するための堅牢な プローブ 0.80 0.80 エアープッシュ at 0.4 bar Minimum (注 N/A N/A 0.70 0.70 0.70 0.70 0.70 N/A 0.70 6) エアープッシュ at 1 bar Maximum (注 N/A N/A 2.60 2.60 2.60 2.60 2.60 N/A 2.60 6) エアープッシュ ±30% at 1 bar N/A N/A 0.85 0.85 0.85 0.85 0.85 N/A 0.85 温度係数 %FS/ºC 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.03 0.01 環境 プローブのシーリング IP65（ゲータ付き）；IP50（ゲータなし） プローブインターフェースエレクトロニク スのシーリング IP43（モジュール及びTCON） 保管温度（ºC） -20 to +80 プローブ（ゲータ付き）の使用可能温度 （ºC） +5 to +80 プローブ（ゲータなし）の使用可能温度 （ºC） -10 to +80 ELECTRONICS OPERATING エレクトロニクスの使用可能温度（ºC） 0 to +60 EMC エミッション EN61000-6-3 EMC イミュニティ EN61000-6-2 プローブ寿命（摺動回数） 1億回（横荷重なしの場合）、ほとんどのアプリケーションで1000万回以上 素材 プローブボディ ステンレススチール プローブのティップ（オプション） ナイロン、ルビー、窒化ケイ素、タングステンカーバイド ゲータ（注5） フッ素エラストマまたはシリコン ケーブル PUR エレクトロニクスモジュール ABS エレクトロニクスインターフェース (OR- BIT®) Orbit®インターフェースのオプション PC: USB, Ethernet®, RS232, R5485, Bluetooth™, PLC: MODBUS® TCP/IP, EtherNet/IP®, Profinet®, EtherCat®, CC-Link® データ読み取り速度 3906 データ/秒 エレクトロニクスの帯域幅（Hz）　ユーザ 選択可 460, 230, 115, 58, 29, 14, 7, 4 電力 5±0. 25 VDC @ 0.06 A typical f 注1：精度0.1 µmまたは%読み値のいずれか大きい方。 f 注2：超硬ターゲットに対して、max-minでベアリングに横荷重をかけながら繰り返し動作させた場合。 f 注3：超硬ターゲットに対する繰り返し測定で、平均からの標準偏差（68%）。 f 注4：直径8h6の標準プローブには、測定範囲2mm～20mmに対応するライトアングル・アウトレットタイプがあります。 f 注5：特定の用途向けに、さまざまなゲイター材質をご用意しています。 f 注6： 空気圧アクチュエーション：信頼性の高い動作を継続し、寿命を最大限に延ばすためには、供給空気は清浄で乾燥したものでな ければなりません。最大相対湿度60％、粒子径5µm以上にろ過されていること。 f 注7：真空作動：絶対圧0～0.27バール。 15

ORBIT® LOW TIP FORCE PROBES DT - フェザータッチ - スプリングおよびエアー f 低接触圧　最小0.18N（オプションあり） f 2、5、10、20、および30mmの測定レンジ f さまざまなティップを使用可能 f エアーまたはスプリング作動 f IP50準拠のシーリング f 優れた横荷重耐性 フェザー・タッチ・トランスデューサは、特に自動車のフロントガラスや薬品用ボトル、電気機械部品やプラスチッ ク部品などのデリケートな面を測定するために設計されています。従来のトランスデューサでは約0.7Nの接触 圧がかかるのに対し、フェザータッチを水平位置で使用した場合にかかる接触圧はわずか0.18Nです。この接触 圧は、ゲータを精密グランドパッキンと取り換えることで可能になります。 少ないエアーフロー量でも、ベアリングは常にほこりが蓄積されないように保たれています。 DW - ウルトラフェザータッチ - スプリングおよびエアー f 超低接触圧　0.03～0.06N f 10mmの測定レンジ f ナイロン製およびルビー製のティップを使用可能 f エアーまたはスプリング作動 f IP50準拠のシーリング ウルトラフェザータッチプローブの接触圧は非常に小さく、非接触センサの代わりとして多くのアプリケーション で使用可能です。ウルトラフェザータッチはナイロン製およびルビー製のさまざまなティップを使用でき、ガラ ス、ゴム、半導体ウェハ、およびその他のデリケートな素材を確認するために使われています。 アプリケーション：　ガラスの厚さ測定 アプリケーション：　半導体ウェハ測定 アプリケーション：　ハードディスク ドライブの筐体測定 アプリケーション　 ガラスの曲率と形状 アプリケーション　 角形電池セルの膨張チェック 16

技術仕様 製品 (注 4) フェザータッチ ウルトラフェザー タッチ スプリングプッシュ DT/2/S DT/5/S DT/10/S DT/20/S N/A DT/10/2/S DW/10/S エアープッシュ DT/2/P DT/5/P DT/10/P DT/20/P DT/30/P DT/10/2/P DW/10/P ボディ外径 8h6 測定性能 測定レンジ (mm) 2 5 10 20 30 2 10 正確度 (% of Reading) (注1) 0.05 0.05 0.06 0.07 0.10 0.05 0.06 正確度 (% of Reading) (注1) - インライン コネクタ付き 0.20 0.15 0.15 0.15 0.20 0.20 0.15 繰り返し精度（最低時）µm（注2） 0.15 0.15 0.15 0.25 0.50 0.15 0.15 繰り返し精度（通常）µm（注3） 0.05 0.05 0.07 0.10 0.25 0.05 0.05 分解能（µm） 0.01 0.02 0.04 0.08 0.12 0.01 0.04 プレトラベル（mm） 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 ポストトラベル（mm） 0.85 0.85 0.85 0.85 0.85 8.85 0.85 接触圧（N）（測定レンジの中心から ±20%の範囲） スプリングプッシュ 0.30 0.30 0.30 0.30 N/A 0.30 0.03 to 0.06 エアープッシュ Feather Touch ±30% at 0.3 bar (Note 6) (Note 7) 0.18 0.18 0.18 0.18 N/A 0.18 0.06 エアープッシュ Feather Touch ±30% at 1 bar (Note 6) (Note 7) 1.10 1.10 1.10 1.10 0.85 1.10 0.25 温度係数　%FS/ºC 0.01 0.01 0.01 0.01 0.03 0.01 0.01 環境 プローブのシーリング IP50 プローブインターフェースエレクトロニク スのシーリング IP43（モジュール及びTCON） 保管温度（ºC） -20 to +80 プローブ（ゲータ付き）の使用可能温度 （ºC） -10 to +80 プローブ（ゲータなし）の使用可能温度 （ºC） 0 to +60 EMCエミッション EN61000-6-3 EMCイミュニティ EN61000-6-2 プローブ寿命（摺動回数） 1億回（横荷重なしの場合）、ほとんどのアプリケーションで1000万回以上 > 1000万回 素材 プローブボディ ステンレススチール プローブのティップ（オプション） ナイロン、ルビー、窒化ケイ素、タングステンカーバイド ケーブル PUR エレクトロニクスモジュール ABS エレクトロニクスインターフェース (Or- bit®) Orbit®インターフェースのオプション PC: USB, Ethernet®, RS232, R5485, Bluetooth™ PLC: MODBUS® TCP/IP, EtherNet/IP®, Profinet®, EtherCat®, CC-Link® データ読み取り速度 3906 データ/秒 電力 5±0.25 VDC @ 0.06 A typical f 注1：精度0.1 µmまたは%読み値のいずれか大きい方。 f 注2：超硬ターゲットに対して、max-minでベアリングに横荷重をかけながら繰り返し動作させた場合。 f 注3：超硬ターゲットに対する繰り返し測定で、平均からの標準偏差（68%）。 f 注4：直径8h6の標準プローブには、測定範囲2mm～20mmに対応するライトアングル・アウトレットタイプがあります。 f 注5：特定の用途向けに、さまざまなゲイター材質をご用意しています。 f 注6： 空気圧作動： 信頼性の高い動作を継続し、寿命を最大限に延ばすためには、供給空気は清浄で乾燥したものでなければなりま せん。最大相対湿度60％、粒子径5µm以下に濾過されていること。 f 注7：ウルトラフェザータッチの最大圧力は1バールです。 17

ORBIT® コンパクトプローブ D6P - ディ外径6mm - スプリングおよびエアー f 2、5、および12mmの測定レンジ f 直径6mmのボディ f 8mmのプローブと同様の分解能と繰り返し精度 f 近接した多点の測定に最適 f IP65準拠のシーリング D6Pプローブでは、従来のプローブに比べ、ボティ外径を25%削減しながら性能と寿命を維持 しています。長寿命の精密ベアリングにより、プローブは測定を何百万回行ってもその性能を維 持できます。 6 mm プロー ブでのコイン 厚さ測定 D3P/D3T - ボディ外径 3mm - スプリングプッシュ f 1mmの測定レンジ f 直径3mmのボディ f IP50準拠のシーリング f フェザータッチのオプションもあります。 3 mm Probe 世界最薄プローブと言えるボディ外径3mmのプローブは、複雑な部品の小さ なエリアを測定可能 DZ - ウルトラショートスプリング f 1mmまたは2mmの測定レンジ f 接触圧　0.7N（オプションあり） f IP65準拠のシーリング f スプリング作動 f 直角アウトレットを使用可能 DZR/P f 制限のある空間で使用 DZプローブは、1mmまたは2mmの完全校正済み測定レンジです。おそらく市場で入手可能な最も短いプロ ーブです。この独特なベアリング設計により、標準プローブの性能を維持したまま非常に短いプローブボディ を可能にしています。 アプリケーション　 3MMチェックリッジ アプリケーション　 DZプローブによるリングの内径検査 18

技術仕様 製品 (注 4) コンパクト 狭い スプリングプッシュ DZ/1/S DZ/2/S D6P/2/S D6P/5/S D3P/1/S フェザータッチ - スプリング N/A D6T/2/S N/A D3T/1/S エアープッシュ N/A N/A N/A DZR/2/P N/A N/A エアープッシュ N/A D6J/2/P D6J/5/P D6J/12/P N/A ボディ外径 8h6 6h6 3h6 測定性能 測定レンジ (mm) 1 2 2 2 5 12 1 正確度 (% of Reading) (注1) 0.10 0.10 0.1% or 0.5 0.05 0.05 0.10 0.20 µm 正確度 (% of Reading) (注1) - インラインコネ クタ付き 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.50 0.30 繰り返し精度（最低時）µm（注2） 0.05 0.05 0.25 0.05 0.05 0.25 0.5 繰り返し精度（通常）µm（注3） 0.01 0.01 0.01 0.01 0.05 0.1 0.25 分解能（µm） 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.05 0.01 プレトラベル（mm） 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.15 0.075 ポストトラベル（mm） 0.35 0.35 0.45 0.85 0.85 0.85 0.30 接触圧（N）（測定レンジの中心から±20%の範 囲） スプリングプッシュ 0.70 0.70 N/A 0.70 0.70 N/A 0.50 エアープッシュ 0.4 bar Minimum N/A N/A 0.7 N/A N/A N/A N/A エアープッシュ 1 bar Maximum N/A N/A 2.6 N/A N/A N/A N/A エアープッシュ ±30% at 1 bar (Note 6) N/A N/A N/A 0.70 0.70 0.50 N/A (Note 7) 温度係数　%FS/ºC 0.01 0.01 0.03 0.01 0.01 0.01 0.03 環境 プローブのシーリング IP65（ゲータ付き） IP40 with Feather Touch, no IP rating for Jet probes IP50 (Std), IP40 (FT) プローブインターフェースエレクトロニクスのシ ーリング IP43 for module and TCON 保管温度（ºC） -20 to +80 +5 to +65 プローブ（ゲータ付き）の使用可能温度（ºC） +5 to +80 +5 to +65 プローブ（ゲータなし）の使用可能温度（ºC） -10 to +80 N/A エレクトロニクスの使用可能温度（ºC） 0 to 60 EMCエミッション EN61000-6-3 EMCイミュニティ EN61000-6-2 プローブ寿命（摺動回数） > 1000万回 素材 プローブボディ ステンレススチール プローブのティップ（オプション） ナイロン、ルビー、窒化ケイ素、タングステンカーバイド ゲータ（注5） フッ素エラストマまたはシリコン ケーブル PUR エレクトロニクスモジュール ABS エレクトロニクスインターフェース (Orbit®) Orbit®インターフェースのオプション PC: USB, Ethernet®, RS232, R5485, Bluetooth™ PLC: MODBUS® TCP/IP, EtherNet/IP®, Profinet®, EtherCat®, CC-Link® データ読み取り速度 3906 データ/秒 エレクトロニクスの帯域幅（Hz）　ユーザ選択可 460, 230, 115, 58, 29, 14, 7, 4 電力 5±0.25 VDC @ 0.06 A typical f 注1：精度0.1 µmまたは%読み値のいずれか大きい方。 f 注2：超硬ターゲットに対して、max-minでベアリングに横荷重をかけながら繰り返し動作させた場合。 f 注3：超硬ターゲットに対する繰り返し測定で、平均からの標準偏差（68%）。 f 注4：直径8h6の標準プローブには、測定範囲2mm～20mmに対応するライトアングル・アウトレットタイプがあります。 f 注5：特定の用途向けに、さまざまなゲイター材質をご用意しています。 f 注6： D6P/2/P@0.8bar、D6J/5/PおよびD6J/12/P@0.9bar f 注7：ニューマチックアクチュエーション：信頼性の高い動作を継続し、寿命を最大限に延ばすためには、供給空気は清浄で乾燥した ものでなければなりません。最大相対湿度60％、粒子径5µm以下にろ過されていること。 19

ORBIT® デジタルスペシャリストトランスデューサ ソーラトロンのゲージングおよび測定用のスペシャリストトランスデューサは、標準のペン型プローブを使用す るのが難しいアプリケーションで使用可能です。 DK - ブロックゲージ f 正確度　1µm　以上 f 繰り返し精度　0.25µm f 2、5、および10mmの測定レンジ f スプリングまたはエアー作動 f ティップキャリア、ツールホルダの設定により複数のコンタ クト方法が設定可能 ソーラトロンのブロックゲージは、内径や空洞の精密な測定プロセスを簡単かつ信頼性の高いものにします。一 般的に、ブロックゲージは、標準ペンシル型プローブがアクセスできない点やスペースが 限られる点を測定するアプリケーションでの使用を推奨します。測定レンジ2mmのブロックゲージの 幅はわずか8mmです。 ブロックゲージの堅牢性や正確度、および繰り返し精度は他に類を見ません。3つのユニットはすべて汎用性が 非常に高く、データム面を提供し、また精密なゲージングアプリケーションで必要なすべての調整を行うことがで きます。ブロックゲージには最小クリアランスの堅牢かつ精密なリニアベアリングが使用されており、これにより 計測されない動きを最小に抑え、接触ティップが中心から外れた位置に取り付けられている場合でも、高い繰り 返し精度を維持することができます。 スプリングとエアーシリンダの設定 スプリングオン スプリングオン 取り付けネジ アジャスタ スプリング作動(標準) スプリング作動(逆向き) Oリング Oリング スプリング トラベリングガイド 空気圧オフ、スプ 空気圧オン、スプ 空気圧オン、スプ 空気圧オフ、スプ リングオン リングリターン リングリターン リングオン アジャスタ エアー作動(標準) Oリング エアー作動(逆向き) 空気圧アクチュ エータ スプリング トラベリングガイド スプリングとエアーシリンダを使用することで、測定対象部品の自動ローディングが可能です。エアー作動とスプ リングの組み合わせることにより、接触圧を調整して高精度の測定を行うことができます。 20