微量酸素分析計　MonoExact DF310E

SERVOPRO MonoExact DF310E 微量酸素分析計 産業ガスアプリケーションに特化した次世代のデジタル酸素分析計 微量測定を可能とし、新機能を追加、操作性を刷新 特長 • 従来のDF310Eの技術をアップ グレードさせた進化型分析計 • オプションのAquaXact水分センサー を接続することで微量水分の測定も 可能 • 耐酸性ガスセンサー（Stab-EL）を 標準採用 • 直感的なタッチパネル操作が可能 • 5年保証のクーロメトリックセンサー ガス中の酸素分子と反応し電気信 号を出力 デジタル回路により演算 • クーロメトリックセンサーの他に磁気 ダンベル式センサーが選択可能 MonoExact DF310E • 豊富なインターフェース アナログ出力：0-10V DC MonoExact DF310Eは、窒素、アルゴン、水素 4-20mA DC の製造装置、タンカーへの充填、特殊ガスの 通信方式：RS232 混合、半導体用ガス精製などの様々な産業ガ RS485(Modbus) スのアプリケーションにおける酸素の正確な測 Ethernet(TCP/IP) 定を目的として作られました。 主なアプリケーション Servomexの最新のセンサー/アナライザ機能 • 窒素製造プラント と高度な新しいプラットフォームを組み合わせ • アルゴン製造プラント たMonoExact DF310Eは、操作が簡単で、 • 水素製造プラント 幅広いシステムに導入できます。 • タンカー充填設備 • 特殊ガスの混合 • 半導体ガス 他 Learn more about the SERVOPRO MonoExact DF310E Visit servomex.com/MonoExactDF310E

PRODUCTDATA : MonoExact DF310E MonoExact DF310E検出原理 MonoExact DF310Eの新機能 クーロメトリック式微量酸素センサー オプションのマルチセンサー 高感度なクーロメトリック式センサーに加え、幅広い レンジで酸素分析が可能な磁気ダンベルセンサー、 微量水分測定に適したAl2O3静電容量式センサーが利 用できます。 マルチセンサー構成 下記の4種類の構成より選択ください。 Case① 微量酸素センサー Ch 1 : 微量酸素測定 13 デジタル回路を採用した クーロメトリック式微量酸素 センサー センサー原理 電解質溶液中に拡散されたサンプルガス中の O2分子は、検出電極（カソード）を通りOH-イオン を生成します。それぞれのO2分子が電子（4e-） Case② の流れを生成し、その結果としてサンプルガス 中に含まれる酸素分子の量に比例した電流が Ch 1 : ％酸素測定 発生します。 ％酸素センサー 磁気ダンベルセンサーに 13 より25％までの酸素濃度を MonoExact DFシリーズのクーロメトリック式セン ％ 測定可能 サーは、PPBからPPMレベルまで測定することが できます。 微量水分 センサー Case③ Ch 1 : 微量酸素測定 微量酸素センサー Ch 2 : 微量水分測定 二次電極 ppm 微量酸素と微量水分が同時 に分析可能 ppm 1.3V電圧 微量水分 サンプルガス センサー Case④ Ch 1 : ％酸素測定 ％酸素センサー アノード Ch 2 : 微量水分測定 カソード ％酸素と微量水分が同時に 分析可能 TECHNOLOGIES

PRODUCTDATA : MonoExact DF310E MonoExact DF310E微量酸素センサー 共通部仕様 センサー性能 機械的仕様 非消耗型クーロメトリックセンサー 寸法（奥行 x 高さ x 幅） センサータイプ （電解液補充型） （足、ハンドル部を含む） ppm O2 236 x 193 x 205 mm ・ ラックマウント型 ディスプレイ表示 ・ 高精度：小数点以下3桁まで （19”ラック取付ブラケットを含まず） ・ 標準精度：小数点以下2桁まで 236 x 266 x 483 mm ・ ラックマウント型 下記よりご発注時に選択ください。 （19”ラック取付ブラケット付き） ・ 0～100 ppm （高精度） ・ ベンチマウント型 240 x 193 x 205 mm 測定レンジ ・ 0～100 ppm （標準精度） 重量 5㎏未満 ・ 0～1,000 ppm （標準精度） 電気的仕様 ・ 0～10,000 ppm （標準精度） 電圧出力（標準） フルスケールの0.05%または指示値の 精度 （標準精度） ±3%の大きい方 ・ 出力レンジ 通常測定 0 ～ 10 V DC ±10ppbまたは指示値の±3%の大きい 精度 （高精度） 方 フォルト時の出力はオプションとなり フォルト時 約30秒以下（T90） ますのでご発注時に選択ください。 応答速度 平衡状態になるまでの時間はアプリ ・ 最小負荷 100 kΩ ケーションによる ・ アイソレート電圧 250 V (DCまたは AC) 3 ppb （高精度） （対アース） 最小検出感度 50 ppb （標準精度） mA出力（オプション） 0.005ppm：100 ppm レンジ（高精度） ・ 出力レンジ 0.01 ppm：100 ppm レンジ（標準精度） 通常測定時 4～20 mA DC 分解能 0.1 ppm：1,000 ppm レンジ（標準精度） フォルト時 0 mA, 2 mA ユーザー設定可能 1 ppm：10,000 ppm レンジ（標準精度） ・ 最大負荷 1 kΩ サンプルガス温度 0℃～45℃ ・ アイソレート電圧 500 V (DCまたは AC) センサー温度 0℃～45℃ （対アース） 電気回路部温度 0℃～45℃ 30 V (DCまたは AC) / 1A インターフェース信号リレー 保管温度 0℃～45℃ 注：リレー出力は無電圧信号 信号/電圧/mA/RS485出力 センサー保証期間 メーカー出荷時より5年間 ターミナルは下記に適応 交換用のセンサーは9か月以上保管し ・ フレキシブルコンダクタ 0.5 to 1.5 mm2 (20 ～ 16 AWG) 部品の消費期限 ないでください。電極が劣化し保証外と なる可能性があります。 ・ ソリッドコンダクタ 0.5 to 1.0 mm2 (20 ～ 18 AWG) 校正は適宜行い、センサー内部の電解 供給電源 100～240 VAC(±10%), 50 ～ 60 Hz 推奨メンテナンス周期 液の液面が基準より下がった場合には、 ヒューズ T3.15 AH / 250V. サイズ 20 x 5 mm 随時、専用の補充液を供給してください。 最大消費電力 40 VA サンプルガス 周囲環境 流量 300 ～ 700 ml/min (*) ・ 設置場所 屋内使用のみ可 パーティクル 2μ未満 ・ 周囲温度（動作時） 5 ～ 45℃ 上記の流量はフロードリブン型(**)のフ ・ 周囲温度（保管時） 0 ～ 50℃ ローシステムのみに適用されます。 備考(*) ・ 周囲圧力許容値 101.3 kPa ± 10% (1.013 bar ± 10%) プレッシャードリブン型(**)に関しては、 サンプル圧力が14～56kPaの範囲にあ ・ 周囲湿度許容値 10 ～ 90% RH、結露の無いこと るときに適用されます。 ・ 使用場所の海抜 -500 m ～ 2000 m 備考(**) ・ 保護等級 IP20 フロードリブン 外部で圧力、流量を上記の範囲内で一 （標準フロースルー型） 定にして分析計に導入してください。 プレッシャードリブン 圧力変動による影響を押さえます。 （バイパス型オプション） ポンプドリブン 内蔵ポンプによるサンプリング （内蔵ポンプオプション）

PRODUCTDATA : MonoExact DF310E 磁気ダンベル式 ％酸素用センサー （オプション） AquaXact微量水分センサー （オプション） センサー性能 センサー性能 センサータイプ 磁気ダンベル式センサー センサータイプ Al2O3薄膜、静電容量型 ディスプレイ表示 % O2 測定レンジ -100℃dp～+20℃dp 測定レンジ 0～25% 精度 ±3℃dp アナログ出力レンジ 最小設定幅：0.5%O2以上で設定可能 繰り返し性 ±0.5℃dp 分解能 0.1% O2 約15分（48時間の安定後に-39.4℃dpから 応答速度 （T90） 繰り返し性 0.1% O2 62.2℃dpまで上げた場合） 精度 ± 0.1% O2 サンプルガス温度 -10℃～+70℃ ゼロドリフト ± 0.05% O2／週 サンプルガス圧力 0～700kPaG (100psig) スパンドリフト ± 0.1% O2／週 サンプル流量 2～15 l/min 出力のばらつき ± 0.05% O2 保管時の温度 -40℃～+80℃ 10秒 （流量 200ml/minまたはサンプル圧 センサー外形 100μ焼結ステンレスにより保護 応答速度 （T90） 力 68.9kPaGの場合） 米国メーカーによるNIST/NPLトレーサブルな 校正方法 多点校正 低スパン：2週間毎 推奨校正周期 高スパン：1ヶ月毎 流量特性 センサーチップは工場 フロードリブン ± 0.1% O2 （サンプル流量を100ml/minから 出荷時に校正済です （一般用） 250ml/minに変化させた場合） ので、現場校正は不要 プレッシャードリブン ± 0.1% O2 （サンプル入口圧を14kPaから です。 （圧力変動のある場合に 55kPaに変化させた場合） 有効） 温度変化によるゼロ点 10℃毎に± 0.1% O 変動 2 温度変化によるスパン 10℃毎に± 0.1% O2または指示値の1% O2 MonoExact DF310とトランス 変動 の大きい方 ミッター間の標準ケーブル長 圧力の影響 周囲圧力の変化に比例して指示が変動 は5m、10m、100mの3種類 オプションとして最長200m迄 サンプルガス 可能 流量 100 ～ 250 ml/min (*) 露点温度 周囲温度より5℃以下 パーティクル 2μ未満 温度 5 ～ 45℃ 上記の流量はフロードリブン型フローシステ ムのみに適用されます。 画面上で酸素濃度と水分 備考(*) プレッシャードリブン型に関しては、サンプル 濃度が同時に確認可能 圧力が14～56kPaの範囲にあるときに適用さ れます。 本カタログは2017年12月現在の内容であり、予告なく変更されることがあります。 本分析計は93/42 EEC医療機器指令に記述される様な人命に係る使用や医療用途にはご使用できません。 販売店