FS-SD 二次希釈モジュールは、浸透管から得られた濃度範囲をさらに拡大するための装置です。
このモジュール（一種の特殊高純度希釈システム）は、厳密に測定された較正ガスフローを浸透管システムから取り出してより大きな清浄希釈ガスのフローと結合させ、低濃度の混合気をつくり出します。標準ユニットでは、3.5:1から1000:1 までの希釈比の実現が可能です。したがって、浸透管からの混合気が 100ppb の場合は、それを 100pptr まで希釈できることになります。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 二次(三次)希釈モジュール FlexStream(TM) SD |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 八洲貿易株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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FlexStream™ SD
二次(三次)希釈モジュール
製品概要
FS-SD 二次希釈モジュールは、浸透管か
ら得られた濃度範囲をさらに拡大するため
の装置です。このモジュール（一種の特殊
高純度希釈システム）は、厳密に測定された
較正ガスフローを浸透管システムから取り出
してより大きな清浄希釈ガスのフローと結合
させ、低濃度の混合気をつくり出します。標
準ユニットでは、3.5:1 から1000:1までの希釈比の実現が可能です。したがって、浸透
管からの混合気が 100ppb の場合は、それを 100pptr まで希釈できることになります。
また、このシステムは、浸透管の濃度範囲を拡大する機能も備えています。上流の浸
透ユニットからの要素の濃度は 20:1 までの範囲内で変化させることができるため、浸
透ユニットと FS-SD を併用すれば、最大で 20,000:1 までの濃度範囲を実現すること
ができます。つまり、1 本の LFH 管を動作温度の変更なしに 1000ppm から 50ppb
までの濃度範囲に使用することが可能になります。
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動作原理
浸透ユニットからのスパンガス混合気は、FS-SD（校正ガス）へと送られます。そし
て、100ml/分のマスフロー・コントローラが、このフローの一部を再希釈用に分流
させて取り出します（フローダイアグラム参照）。次に、希釈ガスをこの小さな較正ガス
フローと混合することによって、最終希釈スパンガス混合気がつくり出されます。実現
可能な最終希釈比は、希釈ガスフロー流量（質量流量計）と較正ガスフロー流量（マ
スフロー・コントローラ）の変動に左右されます。
背圧調整器 較正ガス
排出口 IN
マスフロー・コントローラ
（5～100 CC/分）
質量流量計（0.25～5.0 L/分）
希釈ガス 逆止め弁
IN （テフロン）
希釈済み混合気
フロー・コントローラ OUT
オーブン・フローB
（メーター制御なし）
注：
オーブン・フローA (1) フロントパネル接続
(2) バックパネル接続
（メーター制御あり）
フローダイアグラム
FS-SD 二次希釈モジュール
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