最高性能　加工用システム　PicoBlade(R)2ピコ秒微細加工レーザー

Page 1:Data Sheetwww.lumentum.comPicoBlade®2ピコ秒微細加工レーザー高精度＆高い柔軟性で理想的な加工を実現̶ 最高性能 加工用システム

Page 2:PicoBlade Gen 2 Picosecond Micromachining Laserwww.lumentum.com 2PicoBlade 2 レーザーシステムは、あらゆる素材に対して高精度・高信頼性の加工を実現する汎用ツールです。特長• コンパクトな産業向けデザイン• 大量生産対応• 完全着脱可能アンビリカルケーブル• システム統合が容易• 高い生産性：　− 広い繰返し周波数範囲, シングルショットから標準 8 MHz　− A/Dパワー変調機能　− FlexBurstTM技術　− プロセスシャッタ＆セーブティ―シャッタアプリケーション写真提供：Lightmotif新たにデザインを改良したPicoBladeプラットフォームは、旧世代よりさらに小型のパッケージでありながら、同等の柔軟性を有して、省スペースなシステム統合をサポートします。PicoBladeシステムは、レーザーヘッド、電子コントローラ、クローズドループ水冷チラーで構成されます。光学部品は温度安定化ハーメチックシールド・ハウジングに取り付けられており、レーザーの堅牢さと優れた長時間安定性を保証します。レーザーヘッドは、Lumentum社独自の摩耗無し 半導体過飽和吸収ミラー(SESAM®)技術を用いた、超高安定性パッシブ・モードロック・シードオシレータを内蔵しています。SESAMはPicoblade用に、長時間劣化を避けるよう設計・最適化されています。本レーザーはマスタオシレータ・パワーアンプ(MOPA)デザインをベースとしており、背面反射がありません。レーザーヘッドと電子コントローラは、両端とも着脱可能なアンビリカルケーブルで接続します。また本レーザーは広い繰返し周波数を、精密に調整できます。繰返し周波数は、ボタンを押すか、コンピュータからコマンドを送信することで即時変更でき、その際空間ビーム特性の変動はごくわずかに抑えられます。パルス・オンデマンド (PoD)PoDは、単純なTTLコントロールシグナルを印加することでパルスを個々に選択する機能です。PoDの状態(high/low)により与えられたパルスがレーザーヘッドを出力するかどうかが決定されます。このゲーティングはアンプ後に実行され、選択パルスのエネルギーは任意のパルスシーケンス下でも一定です。いわゆる「ファーストパルス効果」は発生しません。さらにPoDにはアナログコントロールシグナルの印加による高速減衰/変調機能があります。減衰/変調の深さは、繰返し周波数全域において数％まで可能です。レーザーの出力はバーストの生成で増強できます。FlexBurst技術でパルス時間幅 12ns の「マイクロバースト」を発生できます。1つのパルスエネルギー(シングルパルスモード)をパルス群(バーストモード)に分割できます。加えてLumentum社のFlexBurst技術は、この”マイクロ”バースト内では各パルスのエネルギーを自由に定義できますので、自由度が高く加工プロセスを最適化できます。こういったFlexBurstの機能は、アブレーション率の向上や、透過素材に適用できる独自の加工を実現します。最後に、PicoBladeは基本周波数1064nmのほか、グリーン(532nm)及びUV(355nm)モデルがあり、いずれも同じパッケージサイズです。適切な非線形変換モジュールデザインを元に、他に類を見ない高い信頼性を獲得しています。デフォルトでは、変換効率は200kHzで最大エネルギーが得られるよう最適化していますが、変換効率ピークは他の繰返し周波数でもご指定可能です。このオプションは特に、MHzレンジでの高速スキャニングで重要です。オプション• 低出力/中出力モデル• アンビリカルケーブル長さご指定• AccuTrigTMトリガー機能• MrgaBurstTM高エネルギー・バースト• SYNC 高速ラインスキャナ用応用例• ガラスの切断・溶接・スクライビング• サファイアの切断・スクライビング• ディスプレイ製造• 高速＆精密金属加工• 選択的薄膜アブレーション• 半導体ダイシング• 超硬素材加工(ダイアモンド、サファイア、　カーバイド、セラミック、CVD)

Page 3:PicoBlade Gen 2 Picosecond Micromachining Laserwww.lumentum.com 3* グリーン及びUV波長の出力パワーは異なる繰返し周波数で最適化できます。100 1000 10000Repetition rate (kHz)Power(W)504030201001064 nm532 nm355 nm1064, 532, 355 nm* 高出力 PicoBlade出力パワー vs. 繰返し周波数 (例)1064, 532, 355 nm* 高出力 PicoBladeパルスエネルギー vs. 繰返し周波数 (例)1064, 532, 355 nm* 中出力 PicoBlade出力パワー vs. 繰返し周波数 (例)1064, 532, 355 nm* 中出力 PicoBladeパルスエネルギー vs. 繰返し周波数 (例)1064, 532, 355 nm* 低出力 PicoBlade出力パワー vs. 繰返し周波数 (例)1064, 532, 355 nm* 低出力 PicoBladeパルスエネルギー vs. 繰返し周波数 (例)

Page 4:PicoBlade Gen 2 Picosecond Micromachining Laserwww.lumentum.com 4寸法図 (mm)989276177.625027.5352.5322.567578139.7Beam Exit出力ビームプロファイル高出力 PicoBlade 出力ビーム 中出力 PicoBlade 出力ビーム 低出力 PicoBlade 出力ビーム

Page 5:PicoBlade Gen 2 Picosecond Micromachining Laserwww.lumentum.com 5*レーザーコントローラ＆チラー仕様一般仕様レーザヘッド寸法 (L x W x H) 989 x 276 x 177.6 mm (38.9 x 10.9 x 7.0 in)ビーム出射位置＆リファレンス (W x H) 78 x 139.7 mm (3.1 x 5.5 in)重量 <75 kg (<165 lb)寸法 (L x W x H) 399 x 483 x 133 mm (3RU)重量 14 kg (30.9 lb)寸法 (L x W x H) 640 x 483 x 267 mm (6RU)重量 42 kg (92.6 lb)パラメータ出力パワー PicoBlade, 高出力 代表値は３ページ目のグラフをご参照くださいPicoBlade, 中出力PicoBlade, 低出力繰返し周波数 Single shot to 8 MHzパルスエネルギー安定性 (>1 kHz) <0.75% rms for 1064 nm<1% rms for 532/355 nmパルス幅 ＠1064 nm 10 ps空間モード TEM00, M2<1.3ポインティング安定性, 定温下 /-2°C <50 μrad/ °Cウォームアップ時間, コールドスタート <40 分電圧 (単相) 100 – 240 V AC周波数 50 – 60 Hz入力電力 (単相)* 2400 VA偏光 >100:1 直線横偏光コントローラ (19インチラック)チラー (19インチラック)規制順守本データシート掲載の製品は、下記の規制基準を順守し、認証及びレーザーセーフティーマークを下に表示します。製品や構成についての詳細な情報は、(株)日本レーザーまでお問合せください。規制基準IEC/EN 61010-1IEC/EN 60825-1IEC/EN 61000-6-2IEC/EN 61000-6-4CDRH 21 CFR 1040.10Laser safety warning labelSafety certification markings

Page 6:www.lumentum.comAccuTrig, MegaBurst, SYNC オプションについてはお問合せください。North AmericaToll Free: 844 810 LITE (5483)Outside North AmericaToll Free: 800 000 LITE (5483)ChinaToll Free: 400 120 LITE (5483)© 2016 Lumentum Operations LLCProduct specifications and descriptions in thisdocument are subject to change without notice.東京本社東京都新宿区西早稲田2-14-1TEL 03-5285-0863　FAX 03-5285-0860大阪支店大阪市東淀川区東中島1-20-12 ユニゾーン新大阪2階TEL 06-6323-7286　FAX 06-6323-7283名古屋支店名古屋市中区錦3-1-30 錦マルエムビルTEL 052-205-9711　FAX 052-205-9713販売代理店www.japanlaser.jp – lase@japanlaser.jppicoblade2-ds-cl-ae 30176136 901 0216PB2-H-0200-R-0000R (高出力 1064 nm)PB2-PS-H-0000 (コントローラ)PB2-PS-A30R (3 m アンビリカルケーブル)CH-M-A220 (チラー, 空水冷, 220 V AC 欧州規格)PB2-CH-A30S (3 m チラーホース)ご注文コード ご注文例製品のさらなる詳細や納期については、(株)日本レーザーへお問合せください。PB2- - - - 0000R50 kHz200 kHz00500200高中低エネルギーHMLE1064 nm532 nm355 nmRGVコード出力レベル コード NLO コードPRF項目 製品コードコントローラコントローラ PB2-PS-H-0000チラー水-水冷, 米国規格 110 V AC CH-M-W110水-水冷, 欧州規格 220 V AC CH-M-W220空-水冷, 米国規格 110 V AC CH-M-A110空-水冷, 欧州規格 220 V AC CH-M-A220アンビリカルケーブル3 m 標準 PB2-PS-A30R5 m 標準 PB2-PS-A50Rチラーホース3 m チラーホース PB2-CH-A30S5 m チラーホース PB2-CH-A50Sアクセサリゼロエアジェネレータ (UVのみ) PB-ZAアクセサリ