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ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッチング機能を有しています。また、タイマー機能を使うことにより行程を自動で行うことができるため、作業者の負担がありません。操作部は、手動により容易に行えるよう設計されているため、操作ミスが軽減されています。卓上型のコンパクト設計により取り扱いが簡単で、持ち運びが容易にできます。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 176.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 有限会社バックフィールド (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログ（簡易型DCスパッタ装置 VSE-150DR 製品案内）の内容
Page 1:VSE-150DR 簡易型DCスパッタ装置当社製の簡易型DCスパッタ装置（VSE-150DR）は、ロータリーポンプを主排気系とし、ターゲット材及びサンプルをセットするだけで、容易にスパッタリングを行えます。真空チャンバーにはガラスを採用しており、チャンバー内の状態を容易に観察することができます。本装置は、DCスパッタリング、DCエッチング及びACエッチング機能を有しています。また、タイマー機能を使うことにより行程を自動で行うことができるため、作業者の負担がありません。操作部は、手動により容易に行えるよう設計されているため、操作ミスが軽減されています。卓上型のコンパクト設計により取り扱いが簡単で、持ち運びが容易にできます。＜性能＞１）真空チャンバー φ １４０×H１１０ｍｍ２）ターゲットサイズ φ ５０ｍｍ３）サンプルホルダー φ ６０ｍｍ（水冷機能付き）４）電極間距離 ４０ｍｍ５）到達真空度 ５×１０-1Pa６）DC/AC電圧 ０～２０００V（連続可変）７）電流 ２０ｍA（電流計表示）８）真空計 ピラニー真空計９）サイズ W４００×D２５０×H３５０mm１０）ターマー 手動設定１１）ガス導入 ニードルバルブ及びガス導入ポート（Rc1/8）付き１２）サンプル台 水冷機能付き１３）信号線導入 真空導入コネクター（オプション）１４）サンプル劈開 サンプル劈開用ロッド（オプション）営業品目・極低温装置及び関連製品・超高真空装置及び関連部品・薄膜作成装置各種及び部品・真空用各種ユニット及び部品VAC FIELD 有限会社バックフィールド〒187-0013東京都小平市回田町42番地TEL 042-328-6770 FAX 042-328-6785URL：http://www.vacf.jpe-mail ：infom@vacf.jp