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UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルのフォトリソグラフィー、ウエハーボンディングなど幅広い分野の研究開発に利用されています。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 露光装置+長寿命LED+UV全面露光 超小型LED露光装置 UV-KUB シリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 475Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ビーム株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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