・測定流体:各種半導体用プロセスガス
・接続継手:VCR対応一体形継手、UJR継手
・接ガス部材質:圧力センサ:Co-Ni系合金、SUS316L、継手:SUS316L
・圧力レンジ:0~0.3MPa→20MPa
-0.1~0.3MPa→2MPa
・電源電圧:15~24V DC±10%
・出力:4~20mA DC(2線式)
・総合精度:±0.5%F.S. at 23℃
・使用温度範囲:-20~70℃
・CEマーキング適合
・電気接続:M12コネクタ接続(4ピン)
・ケース構造:IP67
・グレード:UC(オプション)、EP、GP
このカタログについて
ドキュメント名 | ZT11 半導体産業用小型圧力トランスミッタ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 336.6Kb |
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登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 長野計器株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |