半導体製造装置（前工程用）は、デザインルール微細化とウェーハ―の大口径（Φ300mm以上）への対応が求められています。それには、装置を構成する材料の部品選定が極めて重要になります。窒化アルミニウム（AIN）は、熱伝導性、熱放射性（放熱）、耐衝撃性、電気絶縁性に優れ、Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 半導体製造装置用AIN部品 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 244.6Kb |
| 取り扱い企業 | 松尾産業株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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