純水加熱器 SP型

商品名 型 式 写 真 純水加熱器 ＳＰ型 説 明 半導体や液晶等の洗浄に使用する純水を加熱 特 長 1.ヒーターエレメントおよび接液部のステンレス表面処理として、 電解研磨を施し純水への不純物溶出を抑えています。 2.石英ヒーター・石英槽を使用した加熱装置に比べ、堅牢でかつ 大幅なコストダウンを実現します。 3.４ケ所のキャスター（アジャストボルト付き）により、設置 およびメンテナスや定期点検等での移動が容易です。 用 途 純水を 70～90℃まで加熱して洗浄効果を高める、高性能純水加熱 器です。フロン等の溶剤に替わって純水が使用される、半導体や液 晶製造の洗浄工程に用いられます。全面パネル式でクリーンルーム 対応。洗浄装置に連結し、遠隔操作することもできます。 写真１ ヒーター側パネル内部 仕 様 1.法 規：簡易ボイラー(適用区分参照) 2.電 源：3相200V 3.形状 加熱器（シェル型ヒーター）と温度制御盤のユニット品 4.使用圧力：0.1MPa･G以下 5.材 質：接液部 SUS316L 電解研磨 IN･OUT形状 JIS5K 板フランジまたは管継手 パネル･フレーム SS(焼き付け塗装 マンセルNo.7.5Y 9/1) 目 的 水、洗浄液等で記載の材質で腐食されない液体加熱 種 類 表１ 型番表 容量 流量 温度差 寸法 mm 質量 型 番 連結 kW L/min Δｔ℃ L×W×H kg SP- 40 40 10 600× 800×1430 1連 185 SP- 60 60 15 600× 850×1600 1連 230 SP- 80 80 20 600× 850×1600 1連 240 50℃ SP-100 100 25 900×1000×1690 2連 330 SP-120 120 30 900×1000×1690 2連 340 SP-160 160 40 900×1000×1690 2連 400 制御盤仕様 写真２ 制御盤内部 1.温度制御：PIDサイリスタ制御とON－OFF制御 図 面 2.安全装置 フロートスイッチ：液面レベル低下によりヒーター電源をＯＦＦ 温度過昇防止装置：純水出口温度のコントロールと、ヒーター表面 の温度過昇防止を監視する二重安全装置によ り、異常高温時にヒーター電源をＯＦＦ 特注品 1.電 源：単相電源や200Ｖ以外の電圧 2.材質変更：接液部の材質、パネル材質 3.使用温度：最高使用温度は 100℃です。 100℃を超えてご使用の 場合はご相談下さい。 4.使用圧力変更：0.1MPa･Gを超えるもの 5.入り口出口部の位置、形状（フランジ・管継手の種類、サイズ） 6.ヒーター断線警報機 7.カレンダータイマー 8.IN側温度センサー追加（温度モニタ、コントロール用） 9.ダブルエレメント温度センサーにもできます。 10.外部接点出し、警報装置・警報表示灯の追加など 型番説明 ＳＰ-４０ ４０：４０kW 図１ 参考図：200V 40kW IN・OUT管継手G1(25A) ＳＰ：純水加熱器

特注品の例 １） ＩＮ・ＯＵＴの位置と形状・サイズ 使用状況に合わせて、フランジ・管継手としたり、位置を変更 することが可能です。 ドレン抜きやバルブを付けることもできます。 ２） 制御機器等の追加 断線警報器や警報装置など、追加する機器によっては制御盤の 寸法を大きくする必要がある場合もあります。 図２ 参考図：200V 120kW 2連式 IN・OUT管継手G1(25A) 結線図 図３ 3相200V 80kW IN・OUT JIS10K 40A 図３ 結線図（ヒーター３回路の例） 注 記 ① 温度センサーＡ：温度コントロール用Pt100Ω測温抵抗体 ② 温度センサーＢ：温度過昇防止用K(CA)熱電対 ③ 制御方式 ：１回路はサイリスタ制御、２回路はON-OFF制御 特注品 仕様打ち合わせ内容 この純水加熱器は受注生産品です。お客様の仕様に合わせ、加熱温 度や流量、IN・OUT の位置、形状など詳細な打ち合せが必要となり ます。下記項目について、ご確認下さい。 仕 様 1. 使用場所 例 クリーンルーム内クラス100 2. 加熱液 例 純水 入り口温度は20℃ 3. 加熱量 例 20㍑/min 4. 出口温度 例 70℃（温度差Δt=50℃） 5. 設計温度 例 Max.100℃ 6. 使用圧力 例 0.098～0.294MPa Gauge (1～3kgf/cm2･G) 図４ 3相200V 150kW IN・OUT JIS10K 100A 7. 温度精度 例 設計出口温度±2℃目標 8. 適用法規・規格 例 JIS 純水って純粋？ 9. 電 源 例 3相200Ｖ 電圧のかかった電線が水の中に入っていて指を突っ込んだら感電し 10. 操作盤電源 例 単相200Ｖ 60Hz てしまいます。超純水は電気の不良導体なので感電しません。 11. ヒーター容量 例 80ｋＷ また、純水には雑菌も入っていませんが、一日放置しておくと雑菌 12. 予定数量 例 2台 がはびこってしまいます。純情な箱入娘みたいですね。 13. 塗装色 例 焼き付け塗装 マンセルNo.7.5Y 9/1 14. 寸法制限 例 高さ1700㎜以下 15. パネル文字 例 操作面 英文 16. ＩＮ－ＯＵＴ 例 フランジJIS10K25A（取付寸法指定） 17. 制御回路数 例 ON-OFF側を2回路にしたい 18. 外観 例 全面パネル式