残留粒子分析計　Particle Analyzer

●本製品の構成、仕様、外観等は予告なく変更する場合があります（カタログ記載内容：2013年9月現在）。●製品の色彩は印刷のため実物とは異なることがあります。 ●本カタログではTM、®マークは明記していません。システム名、製品名は各開発会社の登録商標または商標です。 Product Information Particle Analyzer カールツァイスマイクロスコピー株式会社 Analyze Tiny Particles: Accurately and Reproducibly 7 Tel 03-3355-0332 internet-Link Fax 03-3359-2118 E-mail microscopy.ja@zeiss.com video/AnimAtion http://www.zeiss.co.jp/microscopy ●詳しくは、カールツァイスマイクロスコピー各営業所、または弊社機器製品取扱店へお問い合わせください。 Version 1.0 ●本カタログは、環境に配慮した用紙および植物インキを使用しています。 Printed in Japan P13 MIC 071 PR SK-09 /13

Secure Comprehensive Quality into the Nano Range Particle Analyzer 製造プロセスから混入する残留粒子による汚染は、自動車の流体回路部品の品質と信頼性に深刻な影響をあたえかね Analyze Tiny Particles: ません。Particle Analyzer（残留粒子分析計）は品質管理にとって主要なツールになります。Particle Analyzerのソフ Accurately and トウェアは、ISO 16232、VDA 19、及び ISO 4406/07の各規格に対応しています。ZEISSのシステムソリューションを Reproducibly お使いいただけば、顕微鏡に必要な設定が常に正しく選択されるようになります。分析を行うのが誰であれ、信頼性の 高い再現性のある結果が得られます。わずか数回マウスをクリックするだけで、プロジェクトデータの入力、レポートの 作成、結果の取得ができるのです。Particle Analyzerは、ZEISSのAxioVisionソフトウェアのアーキテクチャにシーム レスに統合されています。相関粒子分析を行うと、結果に含まれる情報の範囲は、元素結果や材料特性にまで広がり › Particle Analyzer とは ます。 › 特長 › アプリケーション › システム構成 2

Particle Analyzer: Simpler. More Intelligent. More Integrated. 再現性のある結果： 簡単操作： 相関粒子分析 (CAPA)： Particle Analyzer 必要なのはツールの決定 作業工程を基に 材料特性を解明 Analyze Tiny Particles: Accurately and Particle Analyzerの電動顕微鏡システムは、コントラス Particle Analyzerのワークフローは、お客様のルーチン 相関粒子分析は、光学顕微鏡による分析で得た情報に、 Reproducibly トの方法、対物レンズの選択から、カメラの露出時間や 作業に合わせることができます。わずか数回クリックす 電子顕微鏡による分析結果を付け加えるものです。ボ 照明の設定にいたるまで、設定が常に正しくなるように るだけで、分析の開始、レポートの作成、結果の抽出のす タンをタッチすると、光学顕微鏡で発見した粒子を電子 します。AxioVisionの自動画像解析と連動して、信頼性 べてを行います。結果は、実際の用途に合わせた方法で 顕微鏡にリロケートすることができます。光学顕微鏡で › Particle Analyzer とは の高い再現性のある結果が得られます。個数と粒径と 収集します。 システムは、すべての分類とISOコードとが は、粒子の個数、粒径分布、形態及び色を記録すること の範囲別に項目化して、非金属粒子、金属粒子、他の反 一目で分かるように表示します。ギャラリービューと評価 ができます。また、金属粒子と非金属粒子を区別するこ › 特長 射性粒子や繊維ごとに分類することができます。 ビューでは、反射物、非反射物、繊維といったすべての粒 とができます。電子顕微鏡とEDS（エネルギー分散型分 子の種類の概要を素早く把握できます。ボタンをタッチ 光法）を使用すると、パーセント表示される元素組成と、 › アプリケーション すると、関心のある粒子をリロケートすることができま それから導き出される反射性粒子の材料分類も分かり す。粒子を再分類したり編集したりしたい場合には、変更 ます。 履歴を使用すると便利です。 › システム構成 3

Your Insight into the Technology Behind It Particle Analyzer 分解能：理論的原理 Analyze Tiny Particles: Accurately and 分解能が上がるほど、画像表示は正確になります。分解 Reproducibly 能が上がるほど、画像サイズが大きくなり、そのため分 析にかかる時間も長くなります。最小分解能の理論的基 礎は、ナイキスト・シャノンの標本化定理に規定されてい › Particle Analyzer とは ます。分解する最小の詳細は、最低2個の画素でサンプ リングしなければなりません。円を分析する場合、円が4 › 特長 個の画素でサンプリングされることを意味します。画像 の結果は四角になります。円の直径が100µmだった場 合、最大直径を分析すると、値は141µmになります。こ › アプリケーション のように、分析結果には40％を超える大きな誤差が生じ ることになります。そのため、ガイドラインの中には、最 › システム構成 小の粒子のサンプリングを10画素で行うよう要求して いるものもあります。四角形の分析の結果は102µmと なり、誤差は、許容できる範囲の2％というレベルになり ます。 選択された分解能の分析精度に対する影響； 分解能を上げて粒子の表示を改善 左：直径100µmの円を2個、5個、10個の画素でサンプリングした場合； 右：最大直径の分析結果 4

Your Insight into the Technology Behind It 顕微鏡とカメラの分解能 Particle Analyzer 0.33 Analyze Tiny Particles: カメラの視野には、試料の一部しか入りません。しかし理 別する能力、つまり、認識できる 点間の最小距離を表し オブジェクトレベルの分解能（µm/LP）＝ 2 開口数 Accurately and 想的には、顕微鏡の中間画像はカメラのチップに直接再 ます。これに対して、カメラまたは画像の分解能は、デジ センサレベルの分解能（µm/LP）＝ Reproducibly 現されるべきです。光学顕微鏡では、この中間画像の直 タル画像を構成する画素数を表します。画像分解能が オブジェクトレベルの分解能 x 倍率 x カメラアダプタの倍率 径は18mm、20mm、23mmまたは25mmです。しかし、 上がるほど、顕微鏡画像の表示が詳細になり、分析結果 センサは通常はるかに小さいものであるため、カメラで の精度が上がります。ロスレス画像にとって理想的な分 ロスレス画像記録に必要な最低画素数を計算するには、 › Particle Analyzer とは 記録され、モニタに表示されるのは、接眼レンズで見え 解能は、使用する対物レンズの分解能とカメラのアダプ カメラセンサの長さと幅をともにセンサレベルの分解 る画像の一部だけです。例えば、対角線が8mmの1/2イ タとに左右されます。この状況で、対物レンズによって 能で割って、その結果をさらに2倍します。 › 特長 ンチCCDチップが記録するのは、18mmの面積の1/8だ 再現される各線対を表示するには2個の画素が必要で けです。顕微鏡画像を記録し、分析するときには、分解能 す。カメラアダプタを、画像を縮小する光学系とともに 使用する場合、これを計算に入れなければなりません。 2×センサの長さ（µm） › アプリケーションが重要な役割を果たします。この状況では、顕微鏡の分 画素数 X = センサレベルの分解能（µm/LP） 解能とカメラの分解能とは区別されます。オブジェクト オブジェクトレベル及びセンサレベルで必要な分解能の レベルでの顕微鏡または光学分解能は、微細構造を区 計算は、以下の式に基づきます。 2×センサの幅（µm） › システム構成画素数 Y = センサレベルの分解能（µm/LP） 5

Your Insight into the Technology Behind It 顕微鏡 （ズーム光学系の）倍率 開口数 オブジェクトレベルの センサレベルの 分解能 [µm/LP] 分解能 [µm/LP] 画素数X 画素数Y 対物レンズParticle Analyzer Analyze Tiny Particles: 1.25 0.03 11.0 13.8 1232 1029 EC エピプラン　ネオフルアール Accurately and 2.50 0.06 5.5 13.8 1232 1029 Reproducibly Axio Imager 2 5.00 0.13 2.5 12.5 1360 1136 10.00 0.25 1.3 13.0 1308 1092 › Particle Analyzer とは 20.00 0.50 0.7 14.0 1214 1014 1.00 0.047 7.0 7.0 2429 2029 PlanApo Z 1.0x › 特長 2.00 0.083 4.0 8.0 2125 1775 4.00 0.145 2.3 9.2 1848 1543 › アプリケーション Axio Zoom.V16 5.00 0.175 1.9 9.5 1789 1495 › システム構成 8.00 0.238 1.4 11.2 1518 1268 10.00 0.247 1.3 13.0 1308 1092 1.00 0.022 15.0 15.0 1133 947 PlanS 1.0x 2.00 0.039 8.5 17.0 1000 835 SteREO 4.00 0.067 4.9 19.6 867 724 Discovery.V12 5.00 0.079 4.2 21.0 810 676 8.00 0.116 2.8 22.4 759 634 10.00 0.144 2.3 23.0 739 617 カメラ センササイズ カメラアダプタ AxioCam ICc 5 2/3"; 8.5 mm (L) × 7.1 mm (W) 1.0 × 上の表は、反射光顕微鏡Axio Imager 2、ズーム顕微鏡Axio Zoom.V16、及び実体顕微鏡SteREO Discovery.V12から選択した数値の顕微鏡分解能と画像分解能を示しています。オブジェクトレベルの分解能は、それぞれの対物レ ンズまたはズーム光学系が分解できる2線間の最小距離を表します。「画素X」と「画素Y」の欄は、それぞれの倍率レベルで最適なカメラ画像に必要な最低カメラ画素数を表します。 6

Your Insight into the Technology Behind It MosaiX Particle Analyzer Analyze Tiny Particles: コンポーネントの清浄度を分析する場合、残留粒子の個 ソリューションを採用すれば、試料の分析に電動ステー Accurately and 数、粒径、組成及び出所は、技術部品や電子部品の製造 ジを使用し、個々の画像を記録し、さらにそれらを全部 Reproducibly 工程と承認に不可欠です。現在の技術ガイドラインで推 つなぎ合わせて、1つの大きなMosaiX画像が形成され 奨される微粒子を記録するための分解能では、どうして ます。特殊な分析及び処理アルゴリズムにより、2つの も個々の画像には試料のごく小さな部分しか再現でき 画像にまたがる粒子や画像の縁にある微粒子を正確に › Particle Analyzer とは ないということになります。Particle Analyzerシステム 記録、分析、計測します。 › 特長 › アプリケーション ろ過膜に付着する残留粒子；200を超える個々の画像から構成される タイル画像；顕微鏡： Axio Imager 2；対物レンズ：EC エピプラン　ネオフルアール 5x/0.13； › システム構成 カメラ：AxioCam MRc 7

Tailored Precisely to Your Applications Particle Analyzer 典型的なアプリケーション／試料 課題 Particle Analyzerの機能 Analyze Tiny Particles: コンポーネントの清浄度の評価、つまり、洗浄後の汚染レベルの判定 ISO 16232、VDA 19及び調整後の内部基準に準拠した、個数、粒径分布、形態及 Accurately and び種類（反射物、非反射物、繊維）に関するろ過膜上の汚染レベルの自動分析 Reproducibly コンポーネントの清浄度分析 AxioVision相関粒子分析計ソフトウェアモジュール（CAPA）の追加により：光学 光学顕微鏡／電子顕微鏡の組み合わせによる材料分類 顕微鏡で分析した、選択された粒子を自動的にリロケート。予め選択した反射性粒子のEDX分析。化学元素組成と材料分類に関して、光学顕微鏡／電子顕微鏡の 組み合わせ結果のレポート。 とは オイル分析 新品及び使用済みのオイルと潤滑油の汚染レベルの判定 ISO 4406、ISO 4407に準拠した、個数、粒径分布及び形態に関するろ過膜上の汚 › Particle Analyzer 染レベルの自動分析 欠陥分析 ダイカスト部品の表面欠陥の発見 孔、穴及び空隙の自動分析。個数、粒径分布及び形態による分類。 › 特長 一般的な粒子分析 区別できる物体及び構造の検出と分析 個数、粒径分布、形態及び色による自動分析と分類。 › アプリケーション › システム構成 8

Particle Analyzer at Work 金属粒子の付着したろ過膜 ダイカスト部品 Particle Analyzer B Analyze Tiny Particles: ダイカストコンポーネントの構造的欠陥 Accurately and A 総面積約38mm2のタイル画像 Reproducibly 顕微鏡：Axio Imager 2 C 対物レンズ：EC エピプラン　ネオフルアール 5x/0.13 カメラ：AxioCam MRc › Particle Analyzer とは › 特長 A › アプリケーション › システム構成 欠陥分析:ダイカストコンポーネントの構造的欠陥 異なる種類の粒子が付着したろ過膜 A:金属粒子 ろ過膜に付着した残留粒子： B:非金属粒子 Axio Imager 2；対物レンズ：EC エピプラン　ネオフルアール 10x/0.25 C:繊維 9

Particle Analyzer at Work Particle Analyzer 相関粒子分析 (CAPA)：情報をより多く。品質をより高く。 Analyze Tiny Particles: 工程に重大な影響を与える粒子を特徴付けします。キラー粒子を体系的に識別します――Correlative Particle Analyzer（相関粒子分析計）は、光学顕微鏡と電子顕微鏡のデータを組 Accurately and み合わせます。 Reproducibly 残留粒子を完全に特徴付けします。ZEISSの相関粒子 対話式オーバービュー画面では、経験豊富なユーザと 分析で、電子顕微鏡とEDSとを使用して予め選択した 同じように、光学顕微鏡と電子顕微鏡の組み合わせ分析 › Particle Analyzer とは 反射性粒子を、完全に自動化されたプロセスでリロケー の結果を調べることができます。ボタンをタッチすると トして分析することができます。Correlative Particle 粒子がリロケートし、新たにEDX分析が自動的に始まり、 › 特長 Analyzerは、光学顕微鏡と電子顕微鏡の両方の分析か 自動的にレポートが生成されます。Correlative Particle ら得られた結果を自動的に文書化します。ボタンをタッ Analyzerのおかげで、まず光学顕微鏡で分析を行って チするだけで、情報量の豊富な統合レポートが得られま から次に電子顕微鏡で分析を行う、という手順よりも10 › アプリケーション す。 倍も速く、結果を得ることができるようになります。潜在 的に工程に重大な影響を与えうる粒子に、体系的に焦点 › システム構成 を合わせることができます。2種類の顕微鏡の世界から 得られる材料特性は互いに補い合い、確実性が高まりま す。 100 μm 100 μm 100 μm 光学顕微鏡から得た、金属粒子の画像 電子顕微鏡から得た、同じ金属粒子の画像 2つのシステムの画像の重ね合わせ；EDX分析による化学元素組成； EDX画像の重ね合わせはBruker Espritソフトウェアを使用して作成し 10 た。

Particle Analyzer at Work 典型的なアプリケーション 課題 ソリューション Particle Analyzer 画像記録 Analyze Tiny Particles: Z-スタック及びEDF AxioVision Z-スタックモジュール及び拡張フォーカス Accurately and AxioVision対話式計測モジュール：分析ウィザードを使用した、粒径などのオブ セグメンテーション、二値画像処理 ジェクト記述パラメータの判定；決まった順序での分析タスクの完了；読みやす Reproducibly 自動計測 い結果リストへの結果の表示 対話式計測 AxioVision AutoMeasure Plusモジュール：無制限数の画像の自動分析ルーチンを 自分で作成 AxioVision Layer Thickness Measurement（膜厚測定）モジュール：単層と複数層 膜厚の分析 の分析；色値またはグレースケールによる層の識別；層の数に関係なく、各層の › Particle Analyzer とは 測定軸のコースの精密な個別自動計算；最大及び最小の軸長さ、平均値及び標準 偏差などの、サンプルデータと結果に関する読みやすいレポートでの結果の表示 AxioVision Grains（結晶粒度）モジュール：規格に準拠した結晶粒度分析の様々 › 特長 、 、 に準拠した結晶粒度の分析 な方法：粒界の自動再構築と、個々の結晶粒度の判定；半自動線形切断法；構造ASTM E 112 ASTM E 1382 DIN EN ISO 643 画像と参照図との比較 › アプリケーション 画像処理、画像解析 AxioVision Multiphase（多相物）解析モジュール：サンプルの相分布の分析；粒 及び計測 相と孔隙率の分析 径、形状及び配向の計測；粒径分類または比較として、総面積に対するパーセン ト表示での読みやすい文書化 › システム構成 AxioVision Comparative Diagrams（比較図表）モジュール：構造的パラメータの 顕微鏡を使用した、参照図と材料検査サンプルとの比較調査 便利な対話式スクリーン上評価；お客様自身の参照図を作成可能；各画像に参照図番号と統計評価を付けた表を使用した読みやすい結果；参照図を重ね合わせた 構造画像の出力 AxioVision Graphite（黒鉛）モジュール：EN ISO 945-1に準拠した鋳鉄に含まれ EN ISO 945-1またはSAE J 1887に準拠した鋳鉄の黒鉛粒子の分析 る黒鉛の粒径と形状、及びSAE J 1887に従ったバーミキュラ黒鉛の球状化率の完 全に自動化された判定と分類 AxioVision NMIモジュール：現行の国際規格に従った鋼の非金属介在物分析；画 EN 10247、DIN 50602、ASTM E45、ISO 4967、 JIS G 0555に準拠した鋼の非金属介在物試験；非金属介在物のパーセンテージの 像の結果のオーバービューとチャート形式；すべての分析及び分類データによる 判定 様々なギャラリービューの選択；チャート、画像、レポート、試験手順などのすべての分析データのアセットアーカイブへの保存と管理 11

Particle Analyzer : Your Flexible Choice of Components 4 Particle Analyzer 5 ソフトウェア Analyze Tiny Particles: 3 ● AxioVision Accurately and ● AxioVision Particle Analyzer Projects Reproducibly ● AxioVision MosaiX 1 5 オプション : AxioVisionオートフォーカス › Particle Analyzer とは 2 相関粒子分析（CAPA） › 特長 光学顕微鏡 : › アプリケーション ● AxioVision Particle Analyzer Projects AxioVision MosaiX、 AxioVision　Correlative Particle Analyzer › システム構成 電子顕微鏡 : ● SmartPI、SmartSEM、 1 顕微鏡 3 照明装置 AxioVision　Correlative Particle Analyzer Particle Analyzer Projects ● SteREO Discovery.V8;SteREO Discovery.V12 ● HAL 100（ハロゲン） オプション : 最低粒径50µm ● CL 6000 LED（冷光） ● AxioVision Shuttle ＆ Find ● AxioのZoom.V16 ● CL 9000 LED（冷光） 最低粒径5µm ● 分割照明可能なリングライト 6 アクセサリ ● Axio Imager.M2m;Axio Imager.Z2m ● microLED（LED） 最小粒径2µm ● 粒子分析の校正標準 4 カメラ （ご要望により、証明書提供） 2 対物レンズ ● ステージマイクロメータ（ご要望により、証明書提供） 推奨カメラ : ● 円形粒子フィルタ用のプレートキャリアと試料ホルダ ● Achromat S（SteREO Discovery.V8） ● AxioCam ICc 1（SteREO Discovery.V8） particle filters ● Plan S（SteREO Discovery.V12） ● AxioCam ICc 5（SteREO Discovery.V12、 ● 準反射鏡検査用プレパラート ● Apo、PlanApo（Axio Zoom.V16） Axio Zoom.V16、Axio Imager.M2m、Axio Imager. ● EC エピプラン　ネオフルアール（Axio Imager.M2m、 Z2m） 相関粒子分析 Axio Imager.Z2m） ● AxioCam MRc（Axio Imager.M2m、 Axio Imager.Z2m） ● SEM記録付きアダプタプレート ● AxioCam MRm（Axio Imager.M2m、 ● 試料ホルダ「CorrMic MAT」粒子分析 12 Axio Imager.Z2m） ● キャリブレーションマーカー「CorrMic」、3個

Particle Analyzer : System Overview Particle Analyzer デジタルカメラ Analyze Tiny Particles: Accurately and Reproducibly カメラアダプタ › Particle Analyzer とは ハイエンド › 特長 イメージアナリシス › アプリケーション フラットモニタ ワークステーション 図なし › システム構成 開口絞りスライダ 反射照明用 ダブルフィルタホイール リフレクタモジュール 明視野 リフレクタモジュール 視野絞りスライダ スキャニングステージ ステージコントローラ ジョイスティック メカニカルステージ 図なし 同軸エレクトロニクスドライブ 図なし インサートフレーム プレート 図なし 13

Particle Analyzer : System Overview Particle Analyzer Analyze Tiny Particles: デジタルカメラ Accurately and Reproducibly ヒューマンインターフェースパネル カメラアダプタ 電源ユニット付き › Particle Analyzer とは コントローラ › 特長 システムオペレータパネル イメージアナリシス › アプリケーション フラットモニタ ワークステーション 対物レンズ › システム構成 三眼鏡筒 中間鏡筒アナライザ 対物レンズレボルバ スリットリングライトガイド 偏光フィルタセット 冷光光源 メジャーリングステージ インサートフレーム プレート 14

Particle Analyzer : System Overview Particle Analyzer Analyze Tiny Particles: デジタルカメラ Accurately and Reproducibly カメラアダプタ ヒューマンインターフェースパネル 電源ユニット付き ハイエンド › Particle Analyzer とは コントローラ › 特長 イメージアナリシス フラットモニタ ワークステーション システムオペレータパネル › アプリケーション 対物レンズ 中間鏡筒アナライザ › システム構成 対物レンズレボルバ スキャニングステージ ステージコントローラ 図なし スリットリングライトガイド ジョイスティック 図なし アダプタ 偏光フィルタセット 冷光光源 図なし メカニカルステージ 図なし コンバータ 図なし 同軸エレクトロニクスドライブ 図なし ステージキャリア 図なし インサートフレーム プレート 図なし 15

●本製品の構成、仕様、外観等は予告なく変更する場合があります（カタログ記載内容：2013年9月現在）。●製品の色彩は印刷のため実物とは異なることがあります。 ●本カタログではTM、®マークは明記していません。システム名、製品名は各開発会社の登録商標または商標です。 スタンダードマニュアル倒立顕微鏡 カールツァイスマイクロスコピー株式会社 Axio Vert.A1 7 Simply Get All Information from Your Cells Tel 03-3355-0332 Fax 03-3359-2118 E-mail microscopy.ja@zeiss.com http://www.zeiss.co.jp/microscopy ●詳しくは、カールツァイスマイクロスコピー各営業所、または弊社機器製品取扱店へお問い合わせください。 ●本カタログは、環境に配慮した用紙および植物インキを使用しています。 Printed in Japan P13 MIC 097 PR SK-09 /13