超高速ワイドフィールド共焦点顕微鏡 ZEISS Smartproof 5

●記載製品は研究用です。臨床診断や治療等の目的にはご使用できません。●本製品の構成、仕様、外観等は予告なく変更する場合があります（カタログ記載内容：2016年5月現在）。 ●製品の色彩は印刷のため実物とは異なることがあります。●本カタログではTM、®マークは明記していません。システム名、製品名は各開発会社の登録商標または商標です。 ZEISS Smartproof 5 カールツァイスマイクロスコピー株式会社 Your Integrated Widefield Confocal Microscope 7 for Surface Analysis in Quality Assurance and Quality Control Tel 03-3355-0332 Fax 03-3359-2118 E-mail microscopy.ja@zeiss.com http://www.zeiss.co.jp/microscopy ●詳しくは、カールツァイスマイクロスコピー各営業所、または弊社機器製品取扱店へお問い合わせください。 ●本カタログは、環境に配慮した植物インキを使用しています。 Printed in Japan P16 MIC 050 PR SK-05/16

Dedicated Design. Guided Workflow. Trusted Output. ZEISS Smartproof 5 多用途のZEISS Smartproof 5 ワイドフィールド共焦点顕微鏡は、高速かつ高精細で再現性の高い表面解析のための Your Integrated Widefield 統合システムです。 Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality QA/QC部門、生産環境、R&D研究所で日常的に行われる表面粗さやトポグラフィー解析など幅広い工業用途の研究に Assurance and Quality Control ご利用いただけます。 生産性の高いこの多用途共焦点システムはパワフルなZEISS Efficient Navigation（ZEN）ソフトウェアで操作します ので、ユーザー親和性が非常に高く、生産性向上につながるなどの利点があります。 › Smartproof 5とは › 特長 › アプリケーション › システム構成 › 技術仕様 2

Simpler. More Intelligent. More Integrated. 統合された頑丈な設計 ガイド付きワークフロー 信頼できるアウトプット ZEISS Smartproof 5 Your Integrated Widefield Smartproof 5 は完全に統合されたシステム設計が システムを操作しやすいよう、ソフトウェアにルーチ 特許を取得したスピニングディスク、アパーチャ Confocal Microscope for 特長の1つで、光学系、電子機器、そしてカメラがすべ ン用のワークフローが組み込まれているため、生産 コリレーション技術により、Smartproof 5 は短時間 Surface Analysis in Quality て顕微鏡に内蔵されており、ケーブルの数が少なく やプロセスのモニタリングに最適です。学習機能の で結果が得られ、高分解能と高速データ取得とを Assurance and Quality Control 煩雑になりません。システム全体がシンプルな作り ある検査ジョブとワークフロー指向のグラフィカル 見事に両立。専用のZ E I S S光学系と実績のあるコン で、内蔵された除振機能と頑丈な構造により振動に ユーザーインターフェース（GUI）で繰り返し作業を ポーネントにより、幅広い用途で効果的に作業ができ 対し十分に耐えることができます。 ガイドするため、ユーザーを選ばず精密で再現性のある ます。 データ取得が可能です。 Smartproof 5 には表面性状解析ソフトウェアの › Smartproof 5 とは 金字塔となっているMountainsMapのZEISSバー ジョンConfoMapが付属しています。ConfoMapに › 特長 よりデータを国際規格に従って解析し、レポート作成も 簡単なため、トポグラフィーや粗さ測定といった ルーチン作業に › アプリケーションSmartproof 5 が適しています。 › システム構成 › 技術仕様 3

Your Insight into the Technology Behind It ZEISS Smartproof 5 高効率パフォーマンスのための Your Integrated Widefield 統合された頑丈な設計 Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality Smartproof 5 は設置場所や作業環境を気にせずお使 Smartproof 5 は内蔵の機械構成部品の状態をモニタ この高開口数レンズは、ワイドフィールド共焦点イメー Assurance and Quality いいただくために、頑丈な設計が特長。除振装置を追 リングするので、作業に最適な性能を発揮し、サービス ジングに使用される波長の紫色光（405nm）に合わせ Control 加せずに研究所、工場に設置ができます。スキャニング が必要となりそうな問題を事前に検出。新型のZEISS て最適化。可視光でも優れた性能を発揮し、得られた ステージ表面積は300mm x 240mmでネジ穴が付い レンズクラスCエピプラン-アポクロマートは共焦点 像がトポグラフィーを生成する基となります。ワイド ているため、測定する部品を固定するためのホルダー システム用に特別に設計されています。 フィールドイメージングによって生成されるRGBテク › Smartproof 5 とは や固定具を取り付けることが可能です。移動範囲が スチャー情報を重ね合わせることによって、実物そっく 150mmx150mmと大きく、大型部品の別の箇所や りの表面再構成を生成することができます。 複数の部品を1回で解析できます。 › 特長 › アプリケーション › システム構成 › 技術仕様 4

Your Insight into the Technology Behind It ガイド付きワークフローで正確な ZEISS Smartproof 5 ナビゲーション Your Integrated Widefield Confocal Microscope for Smartproof 5 はZEISS Efficient Navigation（ZEN） Surface Analysis in Quality ソフトウェアに基づくグラフィカルユーザーインター Assurance and Quality Control フェースが統合されていますので、位置把握は常に 簡単に実行可能。このソフトウェアはマクロ観察 から細部の観察までのワークフローをシームレスに サポートします。 › Smartproof 5 とは オーバービュー画像のサイズは4mmx4mmで、測定 A）オーバービュー画像で、サンプルの表面を簡単にナビゲート。 B）ウイザードが画像取得まで完全にガイド。 する位置を簡単に規定することができます。同一ア イテムの検査を繰り返し実行するための座標系を › 特長 セットアップすることも可能です。取得データは自 動的にConfoMapソフトウェアに転送されるので、 › アプリケーション サンプルの3D特性を処理・解析することができます。 同じ顕微鏡3D解析を繰り返すためのワークフロー保存 › システム構成 が可能です。 › 技術仕様 C） ConfoMapのパワフルな測定ツールを利用して、取得データを D） 実行した作業は構造化されたアーカイブでいつでもアクセスでき、 解析。 連続解析のために再利用することが可能。 5

Your Insight into the Technology Behind It ZEISS Smartproof 5 何度繰り返しても信頼できるアウトプット Your Integrated Widefield Confocal Microscope for Smartproof 5 の構成部品は電動化されていますの Surface Analysis in Quality で、ソフトウェアから各部品の状態をモニタリングす Assurance and Quality ることができます。そのため、繰り返し解析するため Control のワークフローを簡単にセットアップすることが可能 です。パワフルなConfoMapソフトウェアを使って、 サンプルの幾何学パラメーターを解析したり、粗さ解析 › Smartproof 5 とは を2D（断面プロファイル）と3D（面粗さ）で実行できま す。粗さ解析はISO規格に準拠しており、さらに内蔵の レポーティングツールで、レポートが簡単に作成可能 › 特長 です。 › アプリケーション 新規格に準拠した粗さパラメータ › システム構成 › 技術仕様 3D面積と2D断面プロファイルによるレポート ハイトマップ（高さ分布）表示 6 コア粗さ解析による高度表面粗さ解析例

Tailored Precisely to Your Applications ZEISS Smartproof 5 アプリケーション 課題 ZEISS Smartproof 5 の機能 マイクロ・マニュファクチャリング 3D幾何形体の測定 オーバービュー画像で関心領域に簡単にナビゲート。多様な 粗さ及び測定ツールセットは、 Your Integrated Widefield 3D 従来の測定機器ではアクセスしづらい小さな表面領域の解析に理想的な手段となります。 Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality 医療機器 インプラントの粗さの測定 非常に高精細で用いられる共焦点法により、セラミックや金属の表面を非接触で粗さ測定 Assurance and Quality することが可能。3D粗さパラメーターは、自社製品の最適な性能を保証する重要な追加情報 Control となります。 マイクロ光学系 形状パラメーターの定量化 共焦点イメージングで結果を修正しなくても、柔らかい表面や傷つきやすい表面の形状測定 が可能。ConfoMapソフトウェアは多数の表面特徴付けパラメーターを提供します。 電子機器 配線の認定 パワフルなHDR機能により、暗い基板の高反射性トレースも一度に撮像が可能。幾何学形状の 有効な認定も簡単に実行できます。 › Smartproof 5 とは 自動車＆航空宇宙産業 粗さ、仕上げ加工量及び摩耗の測定 高速で広視野の開口相関共焦点解析は、超高感度の検出器を組合わせて、精密で正確な測定 結果を素早く取得。通常の2D粗さ値の他に、3Dパラメーターで表面特性をはるかに把握しや › 特長 すくなります。 › アプリケーション › システム構成 › 技術仕様 7

ZEISS Smartproof 5 at Work ZEISS Smartproof 5 Your Integrated Widefield Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality Assurance and Quality Control › Smartproof 5 とは › 特長 レーザー構造化表面、カラーコード化した高さマップにテクスチャー 8nm間隔の高さ基準、ハイトマップ、C Epiplan-Apochromat 50x/ 0.95 回路基板のプロファイル測定、トゥルーカラーを重ね合わせた3D を重ね合わせた3D画像、CEpiplan-Apochromat 50x/ 0.95 画像、C Epipnan-Apochromat 10x/ 0.4 › アプリケーション › システム構成 › 技術仕様 圧延アルミニウムの表面、テクスチャーを重ね合わせた3D画像、 太陽電池表面の銀電極、カラーコード化した高さマップにテクス 回折光学素子、カラーコード化したハイトマップ、 C Epiplan-Apochromat 20x/ 0.7 チャーを重ね合わせた3D画像、C Epiplan-Apochromat 50x/ 0.95 C Epiplan-Apochromat 10x/ 0.4 8

Your Flexible Choice of Components 1 ZEISS Smartproof 5 Your Integrated Widefield 4 Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality Assurance and Quality Control › Smartproof 5 とは 3 2 › 特長 › アプリケーション › システム構成 › 技術仕様 　1 顕微鏡 　2 対物レンズ 　3 ステージ Smartproof 5 の構成部品 ： ■ EC Epiplan-Neofluar 2.5x/ 0.06（標準装備） ■ スキャニングステージ、150mm x 150mm ■ ス キャンヘッド、微動 Zドライブと2k x 2kカメラ付き ■ C Epiplan-Apochromat 5x/ 0.2 ■ 固定ステージ ■ 鏡基、粗動 Zドライブ付き ■ C Epiplan-Apochromat 10x/ 0.4 ■ C Epiplan-Apochromat 20x/ 0.7 ■ C Epiplan-Apochromat 50x/ 0.95 　4 コンピューターシステム ■ LD C Epiplan-Apochromat 50x/ 0.6（長作動距離） ■ LD C Epiplan-Neofluar 100x/ 0.75（長作動距離） ■ Smartproof ZENソフトウェア搭載PCシステム ■ モニター ■ XYZ軸の制御用3Dマウス 9

System Overview ZEISS Smartproof 5 207 Your Integrated Widefield Confocal Microscope for Surface Analysis in Quality Assurance and Quality Control › Smartproof 5 とは › 特長 322 420 289 680 390 › アプリケーション システムコンポーネント › システム構成 光学ユニット 微動 Zドライブ、405nm／赤／緑／青色光のLED照明装置、ワイドフィールドスピニングディスク・アパーチャコリレーションモジュール、2k x 2kカメラ、6ポジション対物レンズレボルバーを 内蔵。 › 技術仕様 対物レンズ オーバービューとナビゲーション用の2.5xレンズ、405nm及び白色光用に特別に設計した5～100倍の高開口数レンズ。 ステージ コントローラー内蔵のステッパーモーターにより駆動することで、サンプルの関心領域に再現性をもって移動が可能。固定ステージも選択可能。 鏡基 サンプルの高さ調整のために電動 Zドライブで駆動、制御用電子機器を内蔵。 3Dマウス 粗動及び微動 Zドライブを含むXYZ すべての軸で直観的操作が可能。 PC Smartproof 5 アプリケーションソフトウェアを内蔵し、USB 3でカメラに、USB 2で鏡基に接続。 10 657,5 - 757,5 273 - 278 97,5 604,5 657,5 - 757,5 173,5 479,5 - 484,5 409

Technical Specifications ZEISS Smartproof 5 対物レンズの倍率に応じた視野サイズ 対物レンズの倍率/ 開口数 視野サイズ（µm x µm） 作動距離（mm） 5x/ 0.2 2250 x 2250 21 Your Integrated Widefield Confocal Microscope for 10x/ 0.4 1125 x 1125 5.4 Surface Analysis in Quality 20x/ 0.7 562 x 562 1.3 Assurance and Quality Control 50x/ 0.95 225 x 225 0.22 50x/ 0.6 225 x 225 7.6 100x/ 0.75 112 x 112 4.0 有効画素数 2048 x 2048 pixels › Smartproof 5 とは 水平分解能 （対物レンズ50x/ 0.95使用時） 0.13 µm （ラインアンドスペースパターン） › 特長 水平方向測定の不確かさ 1） ±0.1 µm ±0.008 x （L 以上） 縦方向測定の不確かさ 1）、2） ±0.1 µm ±0.012 x （L 以上） › アプリケーション Zドライブの移動分解能 1 nm 照明 共焦点イメージング用の405 nm LEDとカラーイメージング用のRGB LED › システム構成 カメラフレームレート USB 3を用いて2048 x 2048pixelsで50fps 色深度 10 bit › 技術仕様 高さスキャニング範囲 最大5 mm（実質測定レンジは、サンプル形状及び対物レンズの作動距離に依存） 最高被検物高さ 100 mm 最大被検物重量 5 kg スキャニングステージのテーブルサイズと可動範囲(XY) 300 mm x 240 mm 150 mm x 150 mm 画像データ処理及び測定 2D ： 距離、高さ、角度、構成要素、線粗さは ISO 4287に準拠 3D ： 水平距離、3D距離、高さ、段差、角度、構成点、表面積、体積、面粗さは ISO 25178に準拠 その他 ： 位置合わせ、形状除去、フィルター、ノイズカット、レポート機能 1） ユーザーマニュアルで推奨されるセットアップ条件で、C Epiplan-Apochromat 50x/ 0.95を用いて標準サンプルを測定した場合 2） 取得に「精密」モードを使用した場合 11

●本製品の構成、仕様、外観等は予告なく変更する場合があります（カタログ記載内容：2017年10月現在）。●製品の色彩は印刷のため実物とは異なることがあります。 ●本カタログではTM、®マークは明記していません。システム名、製品名は各開発会社の登録商標または商標です。 カールツァイスマイクロスコピー株式会社 〒160-0003 大阪営業所 〒564-0062 大阪府吹田市垂水町3-35-22 Tel 06-6337-5465 Fax 06-6337-8017 東京都新宿区四谷本塩町2番8号 名古屋営業所 〒465-0043 名古屋市名東区宝が丘25 Tel 052-777-1415 Fax 052-777-1417 Tel 03-3355-0332 福岡営業所 〒810-0062 福岡市中央区荒戸2-1-5 Fax 03-3359-2118 Tel 092-713-7662 Fax 092-711-0776 E-mail microscopy.ja@zeiss.com 仙台営業所 〒980-0014 仙台市青葉区本町1-12-7 URL http://www.zeiss.co.jp/microscopy Tel 022-224-5655 Fax 022-224-5626 ●詳しくは、カールツァイスマイクロスコピー各営業所、または弊社機器製品取扱店へお問い合わせください。 Printed in Japan P18 MIC 027 PR TP-10/17